本技术涉及半导体芯片设备,特别涉及一种料仓上下料装置。
背景技术:
1、在半导体芯片制造过程中,为保护芯片不受外部环境的污染或损伤,通常会将多个芯片料条依次放入料仓中,通过转移料仓实现芯片料条的批量转运。
2、料仓一般呈两端开口的盒体,其中两侧壁上自上而下按照芯片料条的厚度对称设置有多个卡条,相邻卡条之间用于放置芯片料条,如此,一个料仓可以存储有多个芯片料条。
3、目前,在料仓与芯片料条自动转运及上下料的设备中,中无法兼容不同尺寸的料仓转运,以及在将料仓中的芯片料条推出进行下一道加工程序时,推杆容易将芯片料条倾斜顶出,或存在在推出芯片料条的过程中,由于倾斜导致芯片料条与料仓之间卡涩,在此过程中可能存在芯片料条的磕碰伤或划伤,以及上料精准度较差,导致生产效率不高。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种上料装置,以至少解决现有芯片料条上料自动化程度不高造成的生产效率低下的问题。
2、为解决上述技术问题,本实用新型提供一种料仓上下料装置,包括:
3、传送机构,所述传送机构用于输送放置在所述传送机构上的料仓;
4、送料机构,位于所述传送机构运动方向的一端,所述送料机构用于移动所述料仓并将所述料仓内的料条移送至目标位置。
5、可选的,在所述的料仓上下料装置中,所述传送机构包括上料层和下料层;所述上料层用于运输有料料仓,所述下料层用于运输所述有料料仓内的所述料条被推空时的空料料仓;所述上料层上包括传送带,所述传送带用于将所述有料料仓传送至第一位置。
6、可选的,在所述的料仓上下料装置中,所述上料层设有缺料检测组件;当所述上料层上的所述有料料仓剩余第一预设件数或所述上料层的空位大于第一预设空间值时,所述缺料检测组件发出缺料信号。
7、可选的,在所述的料仓上下料装置中,所述下料层设有满料检测组件;当所述下料层上的所述空料料仓达到第二预设件数或所述下料层剩余空位小于第二预设空间值时,所述满料检测组件发出满料信号。
8、可选的,在所述的料仓上下料装置中,所述送料机构包括夹取组件和推送组件;所述推送组件包括滑台、推杆和回弹组件,所述推杆通过所述回弹组件滑动于所述滑台;当所述夹取组件夹取所述料仓至第二位置后,所述推杆将所述料仓中的料条推出。
9、可选的,在所述的料仓上下料装置中,所述推杆包括横梁部和抵推部;所述抵推部位于所述横梁部的两端且沿所述推杆抵推所述料条的方向伸出所述横梁部;所述抵推部具有夹槽,所述夹槽用于卡合所述料条。
10、可选的,在所述的料仓上下料装置中,所述上料层包括驱动组件,所述驱动组件用于驱动所述传送带沿预设方向移动;所述驱动组件具有不同的驱动速度。
11、可选的,在所述的料仓上下料装置中,所述下料层位于所述上料层的上方;所述传送机构侧边设有挡板,所述挡板抵挡所述上料层和所述下料层的一侧空间;所述传送带远离所述挡板一侧设有沿传送方向延伸的第一导向件,所述下料层远离所述挡板一侧设有沿所述传送方向延伸的第二导向件。
12、可选的,在所述的料仓上下料装置中,所述上料层设有到位检测组件,所述有料料仓移动至所述第一位置时,所述送料机构接收所述到位检测组件发出的信号并移动至第一目标位置。
13、本实用新型提供的料仓上下料装置,通过传送机构上料层自动传送有料料仓,送料机构的夹取组件将所述有料料仓中的料条推出至目标位置,送料机构的推送组件再将无芯片料条的空料料仓移送至下料层,可以实现不同尺寸料条对应料仓的自动上下料,同时设置缺料传感器以及满料传感器解决了现有芯片料条上料自动化程度不高造成的生产效率低下的问题。
1.一种料仓上下料装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的料仓上下料装置,其特征在于,所述传送机构还包括下料层;所述下料层用于运输所述有料料仓内的所述料条被推空时的空料料仓;所述上料层上包括传送带,所述传送带用于将所述有料料仓传送至第一位置。
3.根据权利要求2所述的料仓上下料装置,其特征在于,所述下料层设有满料检测组件;当所述下料层上的所述空料料仓达到第二预设件数或所述下料层剩余空位小于第二预设空间值时,所述满料检测组件发出满料信号。
4.根据权利要求1所述的料仓上下料装置,其特征在于,所述送料机构包括夹取组件和推送组件;所述推送组件包括滑台、推杆和回弹传感器,所述推杆和所述回弹传感器滑动于所述滑台;当所述夹取组件夹取所述料仓至第二位置,所述推杆将所述料仓中的料条推出。
5.根据权利要求4所述的料仓上下料装置,其特征在于,所述推杆包括横梁部和抵推部;所述抵推部位于所述横梁部的两端且沿所述推杆抵推所述料条的方向伸出所述横梁部;所述抵推部具有夹槽,所述夹槽用于卡合所述料条。
6.根据权利要求2所述的料仓上下料装置,其特征在于,所述上料层包括驱动组件,所述驱动组件用于驱动所述传送带沿预设方向移动;所述驱动组件具有不同的驱动速度。
7.根据权利要求2所述的料仓上下料装置,其特征在于,所述下料层位于所述上料层的上方;所述传送机构侧边设有挡板,所述挡板抵挡所述上料层和所述下料层的一侧空间;所述传送带远离所述挡板一侧设有沿传送方向延伸的第一导向件,所述下料层远离所述挡板一侧设有沿所述传送方向延伸的第二导向件。
8.根据权利要求2所述的料仓上下料装置,其特征在于,所述上料层设有到位检测组件,所述有料料仓移动至所述第一位置时,所述送料机构接收所述到位检测组件发出的信号并移动至第一目标位置。
