本发明涉及晶圆切割保护膜,具体涉及晶圆切割pvc保护膜。
背景技术:
1、晶圆是硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆,硅晶片可经加工制作成各种电路元件结构,成为有特定电性功能的集成电路产品。在半导体制造过程中,将半导体晶圆固定在晶圆切割保护膜上,对晶圆进行设计加工,再进行分段和减薄加工,然后通过切割将晶圆分成较小的晶片,通过粘结将晶片粘附到支撑元件上,可制作得到所需芯片;
2、现有技术cn113214572 b公开了一种电子元件pvc保护膜,涉及高分子材料技术领域。本发明所述电子元件pvc保护膜包含如下重量份的成分:pvc树脂粉100份、普通增塑剂18~26份、直链型增塑剂6~14份、弹性体6~9份和环氧大豆油0~4份;
3、现有的pvc保护膜,其一存在不耐高温问题:pvc薄膜在高温环境下可能会软化变形;其二存在抗黄变能力差:pvc抗氧能力差,几乎没有什么抗黄变能力,容易发黄;所以如何基于对pvc改性,同时提高耐高温和抗氧化性能,进而来晶圆切割pvc保护膜的性能,是目前急需要解决的问题。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供晶圆切割pvc保护膜,本发明所解决的技术问题为:其一存在不耐高温问题:pvc薄膜在高温环境下可能会软化变形;其二存在抗黄变能力差:pvc抗氧能力差,几乎没有什么抗黄变能力,容易发黄。
2、本发明的目的可以通过以下技术方案实现:
3、晶圆切割pvc保护膜,包括如下重量份的成分:改性聚氯乙烯100份、普通增塑剂20份、直链型增塑剂12份、弹性体7-9份和环氧大豆油1-3份;包括以下步骤:
4、改性聚氯乙烯的制备工艺,包括以下步骤:
5、步骤1:将2,6-二叔丁基对甲酚,亚硝酸钠,1-氯丙醇,乙酸混合搅拌,并在温度75℃条件下,反应8-10h,得到中间体1;
6、反应过程如下:
7、
8、步骤2:在冰水浴条件下,将正丁基锂混合溶液逐滴加入到间位碳硼烷混合溶液,滴加完成之后撤去冰水浴,室温下继续反应4小时;
9、再在冰水浴条件下,加入碳酸铯和碘化亚铜,继续反应30分钟,再加入吡啶,继续反应30分钟,缓慢加入中间体1,控制温度100℃回流反应24小时;得到中间体2;
10、反应过程如下:
11、
12、其中,r为间位碳硼烷;
13、步骤3:在冰水浴条件下,向中间体2加入碳酸铯和碘化亚铜,继续反应30分钟,再加入吡啶,继续反应30分钟,缓慢加入聚氯乙烯,控制温度100℃回流反应24小时,得到改性聚氯乙烯;
14、反应过程如下:
15、
16、作为本发明进一步的方案:在步骤1中,控制2,6-二叔丁基对甲酚,亚硝酸钠,1-氯丙醇,乙酸的用量比为1-1.2mol:1-2g:1mol:20-24ml。
17、作为本发明进一步的方案:在步骤2中,控制间位碳硼烷、超干乙二醇二甲醚、正丁基锂、碳酸铯、碘化亚铜、吡啶、中间体1的用量比为5mmol:8ml:4.6-6.4ml:11mmol:3.07mmol:11mmol:3-5ml:5mmol。
18、作为本发明进一步的方案:在步骤3中,控制中间体2、碳酸铯、碘化亚铜、吡啶、聚氯乙烯的用量比为5mmol:3.07mmol:11mmol:3-5ml:5mmol。
19、作为本发明进一步的方案:正丁基锂混合溶液的制备过程为:
20、在氮气保护条件下,将间位碳硼烷与超干乙二醇二甲醚混合搅拌,得到间位碳硼烷混合溶液。
21、作为本发明进一步的方案:间位碳硼烷混合溶液的制备过程为:
22、在氮气保护条件下,正丁基锂与正己烷溶液溶解,制备得到质量分数为5.7%的正丁基锂混合溶液。
23、作为本发明进一步的方案:普通增塑剂为邻苯二甲酸二异壬酯或对苯二甲酸二辛酯。
24、作为本发明进一步的方案:直链型增塑剂为邻苯二甲酸二壬酯。
25、作为本发明进一步的方案:弹性体包含乙烯-醋酸乙烯共聚物。
26、作为本发明进一步的方案:晶圆切割pvc保护膜的厚度为60-100微米。
27、本发明的有益效果:
28、本发明以2,6-二叔丁基对甲酚、1-氯丙醇为原料通过催化氧化制备得到受阻酚类抗氧剂的中间体1;以间位碳硼烷与正丁基锂反应得到中间产物,然后中间产物中的li原子与中间体1其中的一个cl原子发生取代,得到碳硼烷衍生物(该碳硼烷具有较小的空间位阻使其更易引入聚合物主链,得到更高分子量的聚合物,更高的分子量往往使材料表现出更好的耐高温性能)的中间体2,该中间体2不仅含有受阻酚类抗氧剂结构,还含有碳硼烷结构,使得该中间体2兼具着耐氧化和耐高温性能;
29、以中间体2和中间体3为原料,使得中间体2中的li原子与中间体3另一个cl原子发生取代,得到改性聚氯乙烯;本发明将具备耐氧化和耐高温性能的中间体2接枝在聚氯乙烯上,使得得到的改性聚氯乙烯具有很好的耐氧化和耐高温性能;
30、本发明以改性聚氯乙烯为基料,制备得到晶圆切割pvc保护膜,使得最终得到的晶圆切割pvc保护膜具有很好的耐氧化和耐高温性能。
1.晶圆切割pvc保护膜,包括如下重量份的成分:改性聚氯乙烯100份、普通增塑剂20份、直链型增塑剂12份、弹性体7-9份和环氧大豆油1-3份;其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的晶圆切割pvc保护膜,其特征在于,在步骤1中,控制2,6-二叔丁基对甲酚,亚硝酸钠,1-氯丙醇,乙酸的用量比为1-1.2mol:1-2g:1mol:20-24ml。
3.根据权利要求1所述的晶圆切割pvc保护膜,其特征在于,在步骤2中,控制间位碳硼烷、超干乙二醇二甲醚、正丁基锂、碳酸铯、碘化亚铜、吡啶、中间体1的用量比为5mmol:8ml:4.6-6.4ml:11mmol:3.07mmol:11mmol:3-5ml:5mmol。
4.根据权利要求1所述的晶圆切割pvc保护膜,其特征在于,在步骤3中,控制中间体2、碳酸铯、碘化亚铜、吡啶、聚氯乙烯的用量比为5mmol:3.07mmol:11mmol:3-5ml:5mmol。
5.根据权利要求1所述的晶圆切割pvc保护膜,其特征在于,正丁基锂混合溶液的制备过程为:
6.根据权利要求1所述的晶圆切割pvc保护膜,其特征在于,间位碳硼烷混合溶液的制备过程为:
7.根据权利要求1所述的晶圆切割pvc保护膜,其特征在于,普通增塑剂为邻苯二甲酸二异壬酯或对苯二甲酸二辛酯。
8.根据权利要求1所述的晶圆切割pvc保护膜,其特征在于,直链型增塑剂为邻苯二甲酸二壬酯。
9.根据权利要求1所述的晶圆切割pvc保护膜,其特征在于,弹性体包含乙烯-醋酸乙烯共聚物。
10.根据权利要求1所述的晶圆切割pvc保护膜,其特征在于,晶圆切割pvc保护膜的厚度为60-100微米。
