本技术涉及sims实验室辅助治具的，尤其涉及一种sims多功能载样台。
背景技术：
1、二次离子质谱(secondary ion mass spectrometry，sims)是得到关于样品的表面和内部元素分布特征进行分析的分析结构，其主要通过将高能离子束轰击样品表面，使样品表面的原子或分子发生离解，并产生次级离子。这些次级离子被引入离子质谱仪中进行质谱分析，从而确定样品的组成和含量。
2、在进行上述处理时需要将样品固定起来，相关的技术中的载台多采用顶部面作为分析面，并采用弹性部件抵紧的方式紧固样品。这种方式，由于是通过顶面作为分析面，这使得顶面具有较大的分析窗口，从而使得容易被掉落的颗粒物污染，造成样品测量准确度降低。且相关技术中的载台使得可用的窗口较少，这使得在进行多个样品进行分析时效率低下，需要重复进行观测分析，增加了设备破真空重新放样的次数，增加设备真空仓污染及宕机的风险。
技术实现思路
1、本实用新型提供一种sims多功能载样台，用以解决现有技术中样品窗口较少，难以一次对多个样品分析的缺陷，实现多个样品同时的分析，以及能够实现多品类和多规格样品的同时观测分析。
2、本实用新型提供一种sims多功能载样台，包括：载台、卡槽台和盖板；所述卡槽台设置于所述载台上，所述盖板设置于所述卡槽台上，且所述盖板与所述卡槽台可拆卸连接；
3、其中，所述卡槽台上具有多个用于对样品限位的卡槽单元，每一所述卡槽单元内至少具有一个卡槽口，所述盖板上具有与所述卡槽口对应的分析窗口。
4、根据本实用新型的sims多功能载样台，所述盖板与所述卡槽台滑动连接。
5、根据本实用新型的sims多功能载样台，所述分析窗口的开口面积小于所述卡槽口的开口面积，以使所述盖板的至少一部分位于所述卡槽口区域内对样品定位。
6、根据本实用新型的sims多功能载样台，多个所述卡槽口具有不同的开口面积，对应的多个所述分析窗口具有不同的窗口的开口面积。
7、根据本实用新型的sims多功能载样台，还包括调节机构，所述调节机构设置于所述载台上，所述调节机构用于调节卡槽口的开口面积。
8、根据本实用新型的sims多功能载样台，所述调节机构包调节梁和移动块，所述调节梁滑动设置于所述卡槽口内，所述移动块滑动设置于所述载台上，所述调节梁与所述移动块连接，以通过驱动移动块实现所述调节梁的移动。
9、根据本实用新型的sims多功能载样台，还包括驱动螺杆，所述驱动螺杆与所述载台转动连接，所述移动块与所述驱动螺杆螺纹连接，以使所述驱动螺杆在转动时能够带动所述移动块移动。
10、根据本实用新型的sims多功能载样台，所述驱动螺杆的一端位上连接有转动手柄，所述转动手柄位于所述载台的外部。
11、根据本实用新型的sims多功能载样台，所述移动块具有两个连接端，所述移动块的两个连接端上均具有插接槽，对应的所述调节梁上具有插接部，所述插接部和所述插接槽配合插接。
12、根据本实用新型的sims多功能载样台，所述调节梁的内侧壁上具有缓冲层。
13、根据上述任一实施例，本实用新型至少具有下述的有益效果：
14、本实用新型提供的一种sims多功能载样台，通过层叠的载台、卡槽台和盖板使得样品在进行定位时能够通过层叠的结构限位，且在卡槽台上具有多个卡槽单元，每一卡槽单元内具有至少一用于样品限位的卡槽口，卡槽台上具有多个样品限位区，能够同时对多个样品实现观测分析，解决了相关技术中难以实现多个样品同时测量的问题。
1.一种sims多功能载样台，其特征在于，包括：载台(1)、卡槽台(2)和盖板(3)；所述卡槽台(2)设置于所述载台(1)上，所述盖板(3)设置于所述卡槽台(2)上，且所述盖板(3)与所述卡槽台(2)可拆卸连接；
2.根据权利要求1所述的sims多功能载样台，其特征在于，所述盖板(3)与所述卡槽台(2)滑动连接。
3.根据权利要求1或2所述的sims多功能载样台，其特征在于，所述分析窗口(31)的开口面积小于所述卡槽口(22)的开口面积，以使所述盖板(3)的至少一部分位于所述卡槽口(22)区域内对样品定位。
4.根据权利要求3所述的sims多功能载样台，其特征在于，多个所述卡槽口(22)具有不同的开口面积，对应的多个所述分析窗口(31)具有不同的窗口的开口面积。
5.根据权利要求1所述的sims多功能载样台，其特征在于，还包括调节机构(4)，所述调节机构(4)设置于所述载台(1)上，所述调节机构(4)用于调节卡槽口(22)的开口面积。
6.根据权利要求5所述的sims多功能载样台，其特征在于，所述调节机构(4)包括调节梁(21)和移动块(41)，所述调节梁(21)滑动设置于所述卡槽口(22)内，所述移动块(41)滑动设置于所述载台(1)上，所述调节梁(21)与所述移动块(41)连接，以通过驱动所述移动块(41)实现所述调节梁(21)的移动。
7.根据权利要求6所述的sims多功能载样台，其特征在于，还包括驱动螺杆(42)，所述驱动螺杆(42)与所述载台(1)转动连接，所述移动块(41)与所述驱动螺杆(42)螺纹连接，以使所述驱动螺杆(42)在转动时能够带动所述移动块(41)移动。
8.根据权利要求7所述的sims多功能载样台，其特征在于，所述驱动螺杆(42)的一端位上连接有转动手柄(43)，所述转动手柄(43)位于所述载台(1)的外部。
9.根据权利要求6所述的sims多功能载样台，其特征在于，所述移动块(41)具有两个连接端，所述移动块(41)的两个连接端上均具有插接槽(411)，对应的所述调节梁(21)上具有插接部(211)，所述插接部(211)和所述插接槽(411)配合插接。
10.根据权利要求6所述的sims多功能载样台，其特征在于，所述调节梁(21)的内侧壁上具有缓冲层。
