本技术属于单晶硅生长用的设备，具体涉及一种单晶硅生长用的节能盖板。
背景技术：
1、随着我国集成电路产业的发展，已形成了一定的产业规模，以及集成电路设计、芯片制造、封装测试三业及支撑配套业共同发展的较为完善的产业链格局，而单晶硅作为一种半导体材料，由全球市场需求的12英寸(300mm)晶圆片，需求直径逐渐增大至17英寸以上，且需求量越来越大。生产单晶硅的方法主要有cz法(直拉法)、fz法(区熔法)和外延法。其中直拉法是生产单晶硅的最广泛的方法。
2、直拉法的工艺是先将多晶硅原料熔化在石英坩埚中，采用流动氩气保护。在多晶硅完全熔化并且温度达到平衡之后，将一个较小的硅晶种浸入硅熔体并且随后慢慢提起，这样沿着晶种的结晶方向就逐渐生长成较大直径的单晶体。
3、现在拉制硅晶棒直径在360mm以上，采用半封闭式热场长晶，热屏内口径基本在450mm及以上，大量硅液中的高温热量从热屏内空散失，造成热量的损耗，能耗成本的增加。
技术实现思路
1、为解决现有技术的缺陷和不足问题；本实用新型的目的在于提供一种结构简单，设计合理、使用方便的单晶硅生长用的节能盖板，它使热屏内空处于被封闭状态，避免高温热量从热屏内空散失，降低热量的损耗，从而实现降低成本的目的。
2、为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：它包括盖板组件；所述盖板组件由圆板、调节块、耐高温特制弹簧、限位销、伸缩罩和提拉杆组成；所述圆板上均匀设置有数个滑槽，每个滑槽内均滑动卡接有调节块，所述调节块上套接有耐高温特制弹簧，所述调节块上固定设置有腰型槽，所述限位销穿过腰型槽与圆板保持固定连接，所述圆板与调节块上粘贴有伸缩罩，所述圆板的中心与提拉杆保持固定连接。
3、作为优选，所述调节块包含凸型块和弧形板；所述弧形板与凸型块的外缘保持固定连接，所述凸型块与圆板上的滑槽保持滑动连接，所述弧形板上固定设置有凹槽。
4、作为优选，所述提拉杆与外界上端的提升机构保持固定连接。
5、作为优选，所述凹槽与安装在热屏侧壁上的氩气通道保持相互配合。
6、作为优选，所述伸缩罩为耐高温材料，所述伸缩罩在横向、纵向均能自由伸缩。
7、作为优选，石墨坩埚外通过加热器进行加热，石墨坩埚内安装有石英坩埚，石英坩埚内盛装有硅料，石英坩埚上吊装有喇叭状的热屏，盖板组件通过上端提升机构悬吊在热屏的内空中。
8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：本实用新型盖板组件设计成能自由伸缩的结构，其通过耐高温特制弹簧将弧形板向外弹开，使弧形板始终能与热屏侧壁贴合，再通过伸缩罩将圆板与弧形板的镂空处进行遮盖，使热屏内空处于被封闭状态，避免高温热量从热屏内空散失，降低热量的损耗，从而实现降低成本的目的。
1.一种单晶硅生长用的节能盖板，其特征在于：它包含盖板组件(10)；所述盖板组件(10)由圆板(1)、调节块(2)、耐高温特制弹簧(3)、限位销(5)、伸缩罩(6)和提拉杆(7)组成；所述圆板(1)上均匀设置有数个滑槽，每个滑槽内均滑动卡接有调节块(2)，所述调节块(2)上套接有耐高温特制弹簧(3)，所述调节块(2)上固定设置有腰型槽(4)，所述限位销(5)穿过腰型槽(4)与圆板(1)保持固定连接，所述圆板(1)与调节块(2)上粘贴有伸缩罩(6)，所述圆板(1)的中心与提拉杆(7)保持固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅生长用的节能盖板，其特征在于：所述调节块(2)包含凸型块(21)和弧形板(22)；所述弧形板(22)与凸型块(21)的外缘保持固定连接，所述凸型块(21)与圆板(1)上的滑槽保持滑动连接，所述弧形板(22)上固定设置有凹槽(221)。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅生长用的节能盖板，其特征在于：所述提拉杆(7)与外界上端的提升机构保持固定连接。
4.根据权利要求2所述的一种单晶硅生长用的节能盖板，其特征在于：所述凹槽(221)与安装在热屏(20)侧壁上的氩气通道保持相互配合。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅生长用的节能盖板，其特征在于：所述伸缩罩(6)为耐高温材料。
6.根据权利要求3所述的一种单晶硅生长用的节能盖板，其特征在于：石墨坩埚(40)外通过加热器(50)进行加热，石墨坩埚(40)内安装有石英坩埚(30)，石英坩埚(30)内盛装有硅料，石英坩埚(30)上吊装有喇叭状的热屏(20)，盖板组件(10)通过上端提升机构悬吊在热屏(20)的内空中上部。
