本发明属于传感器，涉及一种应变传感器及其制备方法。
背景技术：
1、在植入式电子器件领域以及智能机器人等领域，应变传感器均是至关重要的器件之一，它可以将应变转化为电学信号，并进一步转化为数字信号输出。以胫骨骨折钢板术后监测为例，由于植入的钢板会受到体液的腐蚀，因此需要对植入钢板进行检测，现有的超声波监测由于周围存在软组织，准确率不高，会占用较多医疗资源，因此采用植入式应变传感器是更好的解决方向，而植入钢板的应变往往很小（<1%），因此需要才监测微小形变的高灵敏度应变传感器。目前的高灵敏应变传感器主要集中在柔性传感器领域。在植入式电子设备中，由于人体体液的酸碱环境，柔性传感器的稳定性较差，且柔性传感器需要较大的形变才能有较高的灵敏度，难以监测微小形变。
技术实现思路
1、为了克服上述问题，本发明提出一种应变传感器及其制备方法，在基底上预制凹槽，在凹槽上涂覆导电层，并在导电层两侧设电极，在导电层上进行裂纹处理，使得导电层表面形成裂纹，制得所述应变传感器。所述导电层和电极一体成型，以提高由电极和导电层构成的传感单元的一致性以及结构稳定性；所述应变传感器即使在微小的形变下也能产生极大的阻值变化；所述应变传感器制备方法简单，具有极高的经济价值，从而完成了本发明。
2、具体来说，本发明的目的在于提供以下方面：
3、第一方面，提供一种应变传感器，所述应变传感器包括：
4、基底，其上预制有凹槽；
5、导电层，其涂覆于基底的凹槽上；
6、至少一对电极，其位于基底上，且位于导电层两侧。
7、第二方面，提供一种应变传感器的制备方法，所述方法包括：
8、步骤1，在基底上预制凹槽；
9、步骤2，在基底的凹槽上涂覆导电层，并在导电层两侧设电极，制得所述应变传感器。
10、本发明所具有的有益效果包括：
11、（1）本发明提供的应变传感器具有良好的稳定性和疲劳寿命；同时具有极高的gf值，且微小形变下（<0.5%）就能产生极大的阻值变化。
12、（2）本发明提供的应变传感器以刚性半导体材料为基底，体积小，质量轻，抗腐蚀能力强，适用于植入式的电子设备。
13、（3）本发明提供的应变传感器电极和导电层一体成型，绝缘层的结构一体成型，以提高由电极和导电层构成的传感单元的一致性以及结构稳定性。
14、（4）本发明提供的应变传感器的制备方法，制作过程中仅需采用诸如旋涂、切割的简单工艺，具有结构和工艺流程简单的特点，具有极高的经济价值。
1.一种应变传感器，其特征在于，所述应变传感器包括：
2.根据权利要求1所述的应变传感器，其特征在于，优选的，所述基底（1）为刚性半导体材料。
3.根据权利要求1所述的应变传感器，其特征在于，所述凹槽为方波形凹槽、锯齿凹槽、十字凹槽或曲线凹槽。
4.根据权利要求1所述的应变传感器，其特征在于，所述导电层（3）优选为过渡金属。
5.根据权利要求1所述的应变传感器，其特征在于，基底（1）和导电层（3）之间设有绝缘层（5）。
6.根据权利要求1所述的应变传感器，其特征在于，基底（1）与电极（2）之间设有绝缘层（5）。
7.根据权利要求5或6所述的应变传感器，其特征在于，所述绝缘层（5）的厚度为85~115nm。
8.根据权利要求1所述的应变传感器，其特征在于，所述电极（2）与导电层（3）一体成型，所述电极（2）与导电层（3）厚度相同。
9.根据权利要求1所述的应变传感器，其特征在于，每一个电极（2）上均设有一根电极导线（6），且各个电极（2）之间不导联。
10.一种应变传感器的制备方法，其特征在于，所述方法包括：
