超声波辅助提拉法生长翠绿宝石晶体的方法及系统与流程

xiaoxiao2026-08-15  20


本发明涉及晶体加工,具体涉及一种超声波辅助提拉法生长翠绿宝石晶体的方法及系统。


背景技术:

1、翠宝石晶体制作的激光器,应用范围很广,涉及科学研究、军事、医疗、大气测量、光电子技术等领域。

2、翠绿宝石晶体生长较为困难,难以获得高质量大尺寸的晶体。目前国外仅美国有公司采用提拉法生长翠绿宝石晶体,现有技术中,翠绿宝石晶体生长工艺尚不完善。生长的翠绿宝石晶体质量差,晶体形状扁平,利用率低。


技术实现思路

1、本发明的目的在于解决前述技术问题之一,提供一种超声波辅助提拉法生长翠绿宝石晶体的方法及系统。

2、现上述目的,本发明采用如下技术方案:

3、一种超声波辅助提拉法生长翠绿宝石晶体的方法,包括以下步骤:

4、将原料加热熔化;

5、待原料开始进入熔融状态后,对原料腔引入超声波,此时超声波频率为第一振动频率;此处所述的开始进入熔融状态,是指晶体生长原料刚刚开始熔化;

6、待原料完全熔化后,将籽晶移动到原料的上方靠近原料液面的位置,旋转籽晶,预热籽晶;此处所述的原料完全熔化,是指炉体内的晶体生长原料全部熔化。

7、将超声波频率降低为第二振动频率,将籽晶下降至原料内,开始提拉晶体生长;

8、晶体生长结束后,关闭超声波。

9、本发明一些实施例中,所述晶体生长的过程包括:

10、接种、放肩生长、等径生长和收尾生长;

11、收尾生长结束后,关闭超声波。

12、本发明一些实施例中,等径生长过程中,超声波的振动频率为第三振动频率;所述第三振动频率大于第二振动频率,小于第一振动频率;第三振动频率下的超声波振幅,大于第二振动频率下的超声波振幅。

13、本发明一些实施例中,收尾生长结束后,降低原料温度至室温,获得翠绿宝石晶体。

14、本发明一些实施例中,还包括以下步骤:采用图像采集装置采集原料的图像,进行图像分析,以判断晶体的生长状态,所述生长状态包括生长速度、晶体尺寸。

15、本发明一些实施例中,采用图像采集装置采集原料的图像,并进行图像分析,以判断原料的熔化状态。

16、一种超声波辅助提拉法生长翠绿宝石晶体的系统,包括:

17、坩埚:用于盛放晶体生长用原料;

18、籽晶提拉旋转机构:籽晶安装在所述籽晶提拉旋转机构上,能够被所述籽晶提拉旋转机构拉动靠近原料,或者从原料中脱出,或转动;

19、超声机构:包括超声波信号发生器及传动杆,所述传动杆连接超声波信号发生器的输出端,并连接至坩埚,用于将超声波振动传送至坩埚。

20、本发明一些实施例中,所述坩埚底部设置有氧化锆垫片,所述传动杆连接至氧化锆垫片。

21、本发明一些实施例中,还包括图像采集装置和控制器,所述图像采集装置用于采集生长中晶体的图像、原料的图像,并将图像传递至控制器,所述控制器基于晶体的图像分析晶体的生长状态,基于原料的图像分析原料的熔化状态。

22、本发明一些实施例中,所述超声波的频率为300khz-1000khz。

23、较现有技术相比,本发明的技术优势在于:

24、1.本发明采用超声波辅助生长晶体,可以改善晶体原料熔体的混合和传热性能,加速固液界面的对流,有助于生长界面的排杂,抑制固液界面处包裹体、气泡的形成,提高了晶体内部质量,提高晶体的光学质量和利用率,具有生长速度可控、生长尺寸大、重复性好的优点,适合工业化生产翠绿宝石晶体。

25、2.根据各个生长阶段的特点,通过调整超声波振动的参数,如频率、振幅和振动模式,可以实现对晶体生长过程的精确控制。这种技术可以用于生长各种类型的晶体,包括半导体材料、光学材料和宝石等。

26、3.本发明提供的晶体生长方法操作方法简单、成本低,适于产业化。



技术特征:

1.一种超声波辅助提拉法生长翠绿宝石晶体的方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.如权利要求1所述的超声波辅助提拉法生长翠绿宝石晶体的方法,其特征在于,所述晶体生长的过程包括:

3.如权利要求2所述的超声波辅助提拉法生长翠绿宝石晶体的方法,其特征在于,等径生长过程中,超声波的振动频率为第三振动频率;所述第三振动频率大于第二振动频率,小于第一振动频率;第三振动频率下的超声波振幅,大于第二振动频率下的超声波振幅。

4.如权利要求2所述的超声波辅助提拉法生长翠绿宝石晶体的方法,其特征在于,收尾生长结束后,降低原料温度至室温,获得翠绿宝石晶体。

5.如权利要求1所述的超声波辅助提拉法生长翠绿宝石晶体的方法,其特征在于,还包括以下步骤:采用图像采集装置采集原料的图像,进行图像分析,以判断晶体的生长状态,所述生长状态包括生长速度、晶体尺寸。

6.如权利要求1所述的超声波辅助提拉法生长翠绿宝石晶体的方法,其特征在于,采用图像采集装置采集原料的图像,并进行图像分析,以判断原料的熔化状态。

7.一种超声波辅助提拉法生长翠绿宝石晶体的系统,用于执行权利要求1-6中任意一项所述的超声波辅助提拉法生长翠绿宝石晶体的方法,其特征在于,包括:

8.如权利要求7所述的系统,其特征在于,所述坩埚底部设置有氧化锆垫片,所述传动杆连接至氧化锆垫片。

9.如权利要求7所述的系统,其特征在于,还包括图像采集装置和控制器,所述图像采集装置用于采集生长中晶体的图像、原料的图像,并将图像传递至控制器,所述控制器基于晶体的图像分析晶体的生长状态,基于原料的图像分析原料的熔化状态。

10.如权利要求7所述的系统,其特征在于,所述超声波的频率为300khz-1000khz。


技术总结
本发明提供一种超声波辅助提拉法生长翠绿宝石晶体的方法和系统。将原料加热熔化;待原料开始进入熔融状态后,对原料腔引入超声波,此时超声波频率为第一振动频率;待原料完全熔化后,将籽晶移动到原料的上方靠近原料液面的位置,旋转籽晶,预热籽晶;将超声波频率降低为第二振动频率,将籽晶下降至原料内,开始提拉晶体生长;晶体生长结束后,关闭超声波。本发明采用超声波辅助生长晶体,可以改善晶体原料熔体的混合和传热性能,加速固液界面的对流,有助于生长界面的排杂,抑制固液界面处包裹体、气泡的形成,提高晶体的光学质量和利用率,具有生长速度可控、生长尺寸大、重复性好的优点,适合工业化生产翠绿宝石晶体。

技术研发人员:王世武,许辉,李瑞茂,王鸿雁,李建宏
受保护的技术使用者:青岛海泰光电技术有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/9/23
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