本发明涉及机械手，具体为一种晶圆清理设备用转移机械手。
背景技术：
1、现有公告号为cn220762689u的专利文件公开了一种用于真空无尘机械手的除尘结构，其包括底板，所述底板的顶面固定连接有机械手本体和两个工作台，所述底板的一角处固定连接有支撑架，所述支撑架的顶端固定连接有两个导轨，两个所述导轨的内部设置有沿其长度方向进行滑动的滑动架，且其底端转动连接有静电棒，所述支撑架的一侧固定连接有固定板，所述固定板的一侧固定连接有两个第一电机，两者的输出端均固定连接有卷轴，两个所述卷轴的外壁缠绕有吸尘纸，且其外壁涂覆有胶水层；其方案通过设置滑动架，并与两个丝杆螺纹连接，通过两个第二电机通电运行，进而驱动静电棒沿两个导轨的长度方向进行运动，接近机械手本体，通过静电棒自身的静电将晶圆上的微尘进行吸附，实现对晶圆进行清理的目的，通过两个第二电机再次运行，驱动静电棒转移并接触吸尘纸，通过两个第一电机通电运行，带动吸尘纸与静电棒之间进行相对滚动，使微尘粘附在胶水层上，使静电棒对晶圆进行再次除尘。
2、上述方案中对于晶圆的清洗工作，通过相应的机械手进行转运，其单次转运量较少，较难满足高效率清洗工作需求；为了提高清洗工作效率；将晶圆通过转运机械手送到清洗槽中进行清洗，通过提高一次清洗量来提升其清洗工作效率；此过程中将晶圆放置在机械手的装载机构中，在提高一次清洗量的同时也要满足现有清洗槽的大小，即不占用较多空间，将晶圆进行水平堆叠放置；这里对于堆叠部分的晶圆的清洗质量可能会造成影响，现有的机械手装载机构缺乏相适配的清洗辅助组件，需要进行改进和优化。
3、为此，本发明提出一种晶圆清理设备用转移机械手用于解决上述问题。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种晶圆清理设备用转移机械手，以解决上述背景技术中提出的问题。
2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种晶圆清理设备用转移机械手，包括机械手主体、机械手装载部、装载框、机械手辅助机构和装载辅助组件；所述机械手主体与机械手装载部连接设置，所述机械手装载部中设置有装载框，所述装载框中放置有晶圆，所述装载框中设置有机械手辅助机构，所述机械手辅助机构与装载辅助组件连接设置。
3、优选的，所述机械手辅助机构包括进水口、出水口、安装板件、控制阀、连接管体、矩形管件、连通管、辅助网孔、l型流通管；所述进水口设置在装载框的一侧，所述出水口设置在装载框的另一侧，所述出水口和进水口上都固定设置有安装板件，所述安装板件通过螺丝与装载框固定连接，所述出水口和进水口上都设置有控制阀，所述进水口设置在连接管体的一端，所述出水口设置在连接管体的另一端，所述连接管体与矩形管件连接设置，相邻的所述矩形管件之间通过连通管进行连接，所述矩形管件和连通管两者上都等距设置有辅助网孔，所述矩形管件的侧壁上连通设置有l型流通管；所述l型流通管与装载辅助组件连接设置。
4、优选的，所述矩形管件在连接管体上进行等距设置。
5、优选的，两个所述l型流通管为一组进行设置，且在矩形管件进行等距设置。
6、优选的，所述装载辅助组件包括连接螺纹孔、辅助管件、环形内槽、辅助环形凹槽、流通孔、凹槽、连接凸台环、辅助滚珠、连接螺丝、旋钮、限位针、支撑条、限位套；所述连接螺纹孔设置在l型流通管中，所述辅助管件的两端内侧壁对称设置有环形内槽，所述辅助管件的外侧壁等距设置有辅助环形凹槽，所述流通孔等距设置在辅助管件中，所述凹槽等距设置在辅助管件的内侧壁上，所述连接凸台环与环形内槽相适配插接，且连接凸台环在与环形内槽的接触面上等距活动嵌接设置有辅助滚珠，所述连接螺丝与连接螺纹孔相适配螺纹连接，且连接螺丝的一端穿过连接凸台环延伸至辅助管件中，所述连接螺丝的一端固定设置有旋钮，连接螺丝的另一端固定设置有限位针，所述支撑条对称固定设置在辅助管件的内侧壁上，所述支撑条的一端固定设置有限位套。
7、优选的，所述辅助环形凹槽的切面槽口形状设置为v型，所述辅助环形凹槽与流通孔设置位置相对应，流通孔设置在辅助环形凹槽的底端，且流通孔在辅助环形凹槽中等距呈环形设置。
8、优选的，所述连接凸台环对称设置在辅助管件的两端，对称设置有两个，且连接凸台环与l型流通管设置位置相对应、设置组数相同。
9、优选的，所述辅助管件通过连接凸台环的插接进行活动设置。
10、优选的，所述限位套与连接螺丝一端的限位针设置位置相对应、设置组数相同。
11、优选的，所述辅助管件与连接凸台环、l型流通管三者设置位置相对应，且连接凸台环的直径与l型流通管的管径、辅助管件的管径设置相等。
12、与现有技术相比，本发明的有益效果是：
13、本发明设计的晶圆清理设备用转移机械手，其主要是通过设置的机械手辅助机构和装载辅助组件的配合使用，对于晶圆清理设备用转移机械手进行辅助装载转移的同时，对于晶圆的清洗工作也具有相应的辅助作用；通过机械手辅助机构中的连接管体、矩形管件、连通管以及在矩形管件和连通管上设置辅助网孔，对于晶圆的重叠部分进行辅助清洗工作，提高晶圆重叠部分间隙中水的流动性，在保证提高转移工作效率的同时，提升其清洗工作效率；再者通过装载辅助组件中设置的辅助管件，辅助管件设置在矩形管件上的l型流通管位置，对于晶圆的转移放置工作具有一个导向限位作用，进一步提高其转移工作效率；本发明更能满足实际清洗工作需求。
1.一种晶圆清理设备用转移机械手，其特征在于：包括机械手主体（1）、机械手装载部（2）、装载框（3）、机械手辅助机构（5）和装载辅助组件；所述机械手主体（1）与机械手装载部（2）连接设置，所述机械手装载部（2）中设置有装载框（3），所述装载框（3）中放置有晶圆（4），所述装载框（3）中设置有机械手辅助机构（5），所述机械手辅助机构（5）与装载辅助组件连接设置。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆清理设备用转移机械手，其特征在于：所述机械手辅助机构（5）包括进水口（501）、出水口（502）、安装板件（503）、控制阀（504）、连接管体（505）、矩形管件（506）、连通管（507）、辅助网孔（508）、l型流通管（509）；所述进水口（501）设置在装载框（3）的一侧，所述出水口（502）设置在装载框（3）的另一侧，所述出水口（502）和进水口（501）上都固定设置有安装板件（503），所述安装板件（503）通过螺丝与装载框（3）固定连接，所述出水口（502）和进水口（501）上都设置有控制阀（504），所述进水口（501）设置在连接管体（505）的一端，所述出水口（502）设置在连接管体（505）的另一端，所述连接管体（505）与矩形管件（506）连接设置，相邻的所述矩形管件（506）之间通过连通管（507）进行连接，所述矩形管件（506）和连通管（507）两者上都等距设置有辅助网孔（508），所述矩形管件（506）的侧壁上连通设置有l型流通管（509）；所述l型流通管（509）与装载辅助组件连接设置。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆清理设备用转移机械手，其特征在于：所述矩形管件（506）在连接管体（505）上进行等距设置。
4.根据权利要求2所述的一种晶圆清理设备用转移机械手，其特征在于：两个所述l型流通管（509）为一组进行设置，且在矩形管件（506）进行等距设置。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆清理设备用转移机械手，其特征在于：所述装载辅助组件包括连接螺纹孔（601）、辅助管件（602）、环形内槽（603）、辅助环形凹槽（604）、流通孔（605）、凹槽（606）、连接凸台环（607）、辅助滚珠（608）、连接螺丝（609）、旋钮（610）、限位针（611）、支撑条（612）、限位套（613）；所述连接螺纹孔（601）设置在l型流通管（509）中，所述辅助管件（602）的两端内侧壁对称设置有环形内槽（603），所述辅助管件（602）的外侧壁等距设置有辅助环形凹槽（604），所述流通孔（605）等距设置在辅助管件（602）中，所述凹槽（606）等距设置在辅助管件（602）的内侧壁上，所述连接凸台环（607）与环形内槽（603）相适配插接，且连接凸台环（607）在与环形内槽（603）的接触面上等距活动嵌接设置有辅助滚珠（608），所述连接螺丝（609）与连接螺纹孔（601）相适配螺纹连接，且连接螺丝（609）的一端穿过连接凸台环（607）延伸至辅助管件（602）中，所述连接螺丝（609）的一端固定设置有旋钮（610），连接螺丝（609）的另一端固定设置有限位针（611），所述支撑条（612）对称固定设置在辅助管件（602）的内侧壁上，所述支撑条（612）的一端固定设置有限位套（613）。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆清理设备用转移机械手，其特征在于：所述辅助环形凹槽（604）的切面槽口形状设置为v型，所述辅助环形凹槽（604）与流通孔（605）设置位置相对应，流通孔（605）设置在辅助环形凹槽（604）的底端，且流通孔（605）在辅助环形凹槽（604）中等距呈环形设置。
7.根据权利要求5所述的一种晶圆清理设备用转移机械手，其特征在于：所述连接凸台环（607）对称设置在辅助管件（602）的两端，对称设置有两个，且连接凸台环（607）与l型流通管（509）设置位置相对应、设置组数相同。
8.根据权利要求5所述的一种晶圆清理设备用转移机械手，其特征在于：所述辅助管件（602）通过连接凸台环（607）的插接进行活动设置。
9.根据权利要求5所述的一种晶圆清理设备用转移机械手，其特征在于：所述限位套（613）与连接螺丝（609）一端的限位针（611）设置位置相对应、设置组数相同。
10.根据权利要求5所述的一种晶圆清理设备用转移机械手，其特征在于：所述辅助管件（602）与连接凸台环（607）、l型流通管（509）三者设置位置相对应，且连接凸台环（607）的直径与l型流通管（509）的管径、辅助管件（602）的管径设置相等。
