一种用于石英舟焊疤铣削工装的制作方法

本技术涉及石英舟加工，特别涉及一种用于石英舟焊疤铣削工装。

背景技术：

1、石英舟是一种半导体硅片承载工具，目前应用最为广泛有两个用途：一是用在制作太阳能电池片的扩散过程中，需要石英舟作为承载夹具在扩散炉固定硅太阳能电池片半成品；二是半导体硅片在制作过程中有多个工序步骤，从一道工序运输到下道工序需要石英舟承载半成品硅片，比如led外延片生产过程中，需要多次硅片外观、产品性能检验，检验前、检验后的产品都需要石英舟承载。如说明书附图图1所示，常见的石英舟包括两侧板，以及固定在两侧板之间的两上槽棒和两下槽棒，现有技术中侧板与槽棒通过焊接连接在一起，焊接后存在焊疤，加工过程中需要对焊疤进行打磨，但传统的打磨过程中，需要人工将石英舟固定进行打磨，效率低下且存在安全隐患。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种用于石英舟焊疤铣削工装，具有解决上述技术问题、将石英舟固定在机床上，使用简单安全、方便后续打磨铣削，提高石英舟加工效率的效果。

2、本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种用于石英舟焊疤铣削工装，包括底板，底板设有滑槽，滑槽内转动设有双向丝杆，双向丝杆两端螺旋方向相反且分别螺纹连接有一滑块，滑块两端滑动连接在滑槽内，滑块顶部可拆卸连接有支撑柱一，两个支撑柱一之间固设有支撑柱二，支撑柱一顶部固设有夹持板一，支撑柱二固设有夹持板二，夹持板一、夹持板二之间形成石英舟固定空间，支撑柱二侧壁设有挡板一，挡板一顶部远离支撑柱二的一侧对称两端设有挡板二。

3、本实用新型的进一步设置为：支撑柱二位于两个支撑柱一中间。

4、通过采用上述技术方案，将石英舟侧板底面与挡板一顶部紧贴，沿挡板一推动石英舟使侧板侧面与挡板二抵接，再转动双向丝杆，双向丝杆带动滑块在滑槽内滑动，滑动向支撑柱二靠近时将石英舟夹持固定在固定空间，石英舟三面被夹持，夹持稳定不会发生滑动，可方便后续打磨铣削；支撑柱二位于支撑柱一之间，形成两个石英舟固定空间，一次调整即可实现双工位固定加工，提高石英舟加工效率。

5、本实用新型的进一步设置为：夹持板一底部与支撑柱一相接处开设有凹槽一，夹持板二底部与支撑柱二相接处开设有凹槽二，凹槽一、凹槽二用于容纳石英舟。

6、通过采用上述技术方案，夹持时石英舟侧板两侧分别位于凹槽一、凹槽二内，可防止石英舟脱离固定空间，进一步保证固定更加稳固。

7、本实用新型的进一步设置为：支撑柱二固定在底板上，支撑柱一顶部与支撑柱二顶部等高。

8、通过采用上述技术方案，支撑柱一顶部与支撑柱二等高，可使石英舟的侧板水平夹持在固定空间，保证石英舟定位夹紧的精准性。

9、本实用新型的进一步设置为：还包括双向电机，双向电机用于带动双向丝杆转动。

10、通过采用上述技术方案，双向电机带动丝杆上的滑块相互靠近时实现对石英舟夹紧固定，相互远离时实现对石英舟的放松，夹紧与放松操作方便，可进一步提高石英舟加工效率。

11、本实用新型的进一步设置为：夹持板一、夹持板二材料均为石墨。

12、通过采用上述技术方案，可增加夹持板一、夹持板二与石英舟之间的摩擦力，防止夹持侧板滑动或者脱离固定空间。

13、本实用新型的进一步设置为：凹槽一、凹槽二与石英舟接触的一侧设有橡胶垫。

14、通过采用上述技术方案，可保护石英舟，防止受到来自夹持板一、夹持板二压力过大导致石英舟被压坏。

15、本实用新型的进一步设置为：支撑柱一通过螺栓连接在滑块上。

16、通过采用上述技术方案，将支撑柱固定在滑块上，随滑块左右移动。

17、本实用新型的进一步设置为：挡板一与支撑柱二之间设有固定块，固定块前方焊接支撑柱二、后方通过螺钉固定连接挡板一。

18、本实用新型的进一步设置为：螺钉设有4个。

19、通过采用上述技术方案，将挡板一通过固定块固定连接在支撑柱二上。

20、本实用新型的有益效果是：通过设置螺旋方向相反的双向丝杆、与双向丝杠螺纹连接的两滑块实现滑块顶部的支撑柱一上的夹持板一相互靠近或远离，支撑柱一中间设有支撑二，支撑柱二顶部设有夹持板二，两个夹持板一、一个夹持板二形成石英舟双工位固定空间，一次调整即可实现双工位固定加工，提高石英舟加工效率；夹持板一、夹持板二底部设有凹槽、支撑柱二侧边设有挡板一、挡板二可限制石英舟左右、上下滑动，实现精准夹紧固定，更加稳固。

技术特征：

1.一种用于石英舟焊疤铣削工装，其特征在于：包括底板(1)，所述底板(1)设有滑槽(2)，所述滑槽(2)内转动设有双向丝杆(3)，所述双向丝杆(3)两端螺旋方向相反且分别螺纹连接有一滑块(4)，所述滑块(4)两端滑动连接在滑槽(2)内，所述滑块(4)顶部可拆卸连接有支撑柱一(5)，两个所述支撑柱一(5)之间固设有支撑柱二(6)，所述支撑柱一(5)顶部固设有夹持板一(7)，所述支撑柱二(6)固设有夹持板二(8)，所述夹持板一(7)、夹持板二(8)之间形成石英舟(14)固定空间，所述支撑柱二(6)侧壁设有挡板一(9)，所述挡板一(9)顶部远离支撑柱二(6)的一侧对称两端设有挡板二(10)。

2.根据权利要求1所述的一种用于石英舟焊疤铣削工装，其特征在于：所述支撑柱二(6)位于两个所述支撑柱一(5)中间。

3.根据权利要求1所述的一种用于石英舟焊疤铣削工装，其特征在于：所述夹持板一(7)底部与支撑柱一(5)相接处开设有凹槽一(71)，所述夹持板二(8)底部与支撑柱二(6)相接处开设有凹槽二(81)，所述凹槽一(71)、凹槽二(81)用于容纳石英舟(14)。

4.根据权利要求1所述的一种用于石英舟焊疤铣削工装，其特征在于：所述支撑柱二(6)固定在底板(1)上，所述支撑柱一(5)顶部与支撑柱二(6)顶部等高。

5.根据权利要求2所述的一种用于石英舟焊疤铣削工装，其特征在于：还包括双向电机(11)，所述双向电机(11)用于带动双向丝杆(3)转动。

6.根据权利要求1所述的一种用于石英舟焊疤铣削工装，其特征在于：所述夹持板一(7)、夹持板二(8)材料均为石墨。

7.根据权利要求3所述的一种用于石英舟焊疤铣削工装，其特征在于：所述凹槽一(71)、凹槽二(81)与石英舟(14)接触的一侧设有橡胶垫。

8.根据权利要求1所述的一种用于石英舟焊疤铣削工装，其特征在于：所述支撑柱一(5)通过螺栓连接在滑块(4)上。

9.根据权利要求1所述的一种用于石英舟焊疤铣削工装，其特征在于：所述挡板一(9)与支撑柱二(6)之间设有固定块(12)，所述固定块(12)前方焊接支撑柱二(6)、后方通过螺钉(13)固定连接挡板一(9)。

10.根据权利要求9所述的一种用于石英舟焊疤铣削工装，其特征在于：所述螺钉(13)设有4个。

技术总结
本技术涉及石英舟加工领域，公开了一种用于石英舟焊疤铣削工装，包括底板、螺旋方向相反且螺纹连接滑块的双向丝杆、支撑柱一、支撑柱二、开设有凹槽一的夹持板一、开设有凹槽二的夹持板二、挡板一、挡板二、双向电机，使用时，首先将石英舟侧板底部与挡板一顶部紧贴，沿挡板一推动石英舟使侧板侧面与挡板二抵接，再双向电机带动双向丝杆转动可带动滑块向支撑柱二靠近，将石英舟固定在凹槽一、凹槽二内，可限制石英舟左右、上下滑动；支撑柱二位于支撑柱一之间，一次调整即可实现双工位固定加工，加工完毕滑块相互远离实现对石英舟的放松。本技术具有使用简单、夹持稳定、方便后续打磨铣削，提高石英舟加工效率的优点和效果。

技术研发人员：李维,李宁
受保护的技术使用者：湖北石创半导体科技有限公司
技术研发日：20231215
技术公布日：2024/9/23