一种镀膜机用进气装置的制作方法

本技术涉及光学镀膜机设备领域，具体为一种镀膜机用进气装置。

背景技术：

1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种；目前镀膜机的进气装置所进的气体一般都含有水分或固体颗粒，进入镀膜机后容易造成灰尘在光学镀膜机内部聚集沉积和腐蚀，影响镀膜机的使用寿命。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种镀膜机用进气装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种镀膜机用进气装置，包括清洗箱，所述清洗箱上设置有进气管道一，所述进气管道一的底端延伸至所述清洗箱底部，且连接有气体出气管，所述清洗箱上同时也设置有加热管道，所述加热管道的底部进气口处设置有气体干燥器，所述加热管道通过进气管道二连接在镀膜机本体上。

3、所述进气管道一上安装有气体过滤器。

4、所述气体出气管为多层的环形管道，且上部设有若干出气嘴。

5、所述气体出气管的上部设置有破泡格栅。

6、所述加热管道的底部进气口为喇叭型扩大段。

7、所述进气管道一上设置有流量调节阀。

8、与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：本实用新型能够对注入光学镀膜机内部的气体进行有效过滤，过滤微小的固体颗粒，通过水过滤装置以将气体中的异味有机物等过滤，由于过滤接口与加热部件连接，因此所进的气体通过水过滤装置后涌入加热部件内，通过加热部件对气体加热，使得气体充分干燥，避免水分残留，使得进入镀膜机的气体更为干净干燥，以延长镀膜机的使用寿命，延长了镀膜机的使用寿命，结构简单，工作效率高。

技术特征：

1.一种镀膜机用进气装置，其特征在于：包括清洗箱(1)，所述清洗箱(1)上设置有进气管道一(2)，所述进气管道一(2)的底端延伸至所述清洗箱(1)底部，且连接有气体出气管(3)，所述清洗箱(1)上同时也设置有加热管道(4)，所述加热管道(4)的底部进气口处设置有气体干燥器(5)，所述加热管道(4)通过进气管道二(6)连接在镀膜机本体(7)上。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜机用进气装置，其特征在于：所述进气管道一(2)上安装有气体过滤器(8)。

3.根据权利要求1所述的一种镀膜机用进气装置，其特征在于：所述气体出气管(3)为多层的环形管道，且上部设有若干出气嘴。

4.根据权利要求3所述的一种镀膜机用进气装置，其特征在于：所述气体出气管(3)的上部设置有破泡格栅(10)。

5.根据权利要求1所述的一种镀膜机用进气装置，其特征在于：所述加热管道(4)的底部进气口为喇叭型扩大段。

6.根据权利要求1所述的一种镀膜机用进气装置，其特征在于：所述进气管道一(2)上设置有流量调节阀(9)。

技术总结
本技术提供一种镀膜机用进气装置，包括清洗箱，清洗箱上设置有进气管道，进气管道的底端延伸至清洗箱底部，且连接有气体出气管，清洗箱上同时也设置有加热管道，加热管道的底部进气口处设置有气体干燥器，加热管道通过进气管道连接在镀膜机本体上。能够对注入光学镀膜机内部的气体进行有效过滤，过滤微小的固体颗粒，通过水过滤装置以将气体中的异味有机物等过滤，由于过滤接口与加热部件连接，因此所进的气体通过水过滤装置后涌入加热部件内，通过加热部件对气体加热，使得气体充分干燥，避免水分残留，使得进入镀膜机的气体更为干净干燥，以延长镀膜机的使用寿命，延长了镀膜机的使用寿命，结构简单，工作效率高。

技术研发人员：徐鸣,杜楠,罗伟,安建昊,唐欢欢
受保护的技术使用者：江苏微凯机械有限公司
技术研发日：20231218
技术公布日：2024/9/23