搬运方法与流程
本发明的一个方面涉及一种搬运方法。
背景技术：
1、作为现有的法布里-帕罗干涉滤波器，已知有具备基板、及在基板上经由空隙而互相相对的固定镜及可动镜的滤波器(例如参照专利文献1)。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本特表2013-506154号公报
技术实现思路
1、发明所要解决的问题
2、搬运上述那样的法布里-帕罗干涉滤波器时,考虑将法布里-帕罗干涉滤波器个别地收纳于收纳容器。另一方面，近年来，随着市场对上述的法布里-帕罗干涉滤波器的需求增加，有必要一次性搬运大量的法布里-帕罗干涉滤波器。在该情况下，需要多次进行将法布里-帕罗干涉滤波器个别地收纳于收纳容器的作业，担心因作业时间增加所致的负担增加、或因作业精度降低所致的不良品产生风险(例如，收纳容器与可动镜接触而破损等)。因此，期望能够降低多个法布里-帕罗干涉滤波器的破损风险并且进行搬运的方法。
3、本发明的一个方面的目的在于提供一种能够降低多个法布里-帕罗干涉滤波器的破损风险并且进行搬运的搬运方法。
4、解决问题的技术手段
5、本发明的一个方面所涉及的搬运方法，是用于搬运包含多个法布里-帕罗干涉滤波器的对象物的搬运方法，具备将对象物收纳于收纳容器的第1工序；法布里-帕罗干涉滤波器具有基板、以及设置于基板上且经由空隙而互相相对并且彼此的距离为可变的第1镜部及第2镜部；在第1工序中，在多个法布里-帕罗干涉滤波器二维状地排列的状态下，将对象物收纳于收纳容器并支撑。
6、该方法中，搬运的对象物包含多个法布里-帕罗干涉滤波器。于是，在第1工序中，在法布里-帕罗干涉滤波器二维状地排列的状态下，将对象物收纳于收纳容器并支撑。这样，若是多个法布里-帕罗干涉滤波器二维状地排列的状态，则与个别地处理法布里-帕罗干涉滤波器的情况相比，容易以不产生与第1镜部及第2镜部等镜部的接触的方式，一并进行收纳及支撑。由此，根据该方法，可通过简单结构降低多个(许多)法布里-帕罗干涉滤波器的破损风险并且进行搬运。
7、本发明的一个方面所涉及的搬运方法中，也可为，对象物是形成有多个法布里-帕罗干涉滤波器的晶圆，晶圆包含相对于基板为第1镜部及第2镜部侧的第1表面、及与第1表面相反侧的第2表面，在第1工序中，在作为晶圆二维状地排列有多个法布里-帕罗干涉滤波器的状态下，将上述对象物收纳于上述收纳容器并支撑。在该情况下，多个法布里-帕罗干涉滤波器被一体化为晶圆。因此，能够通过更简单的结构，降低多个(许多)法布里-帕罗干涉滤波器的破损风险并且进行搬运。
8、本发明的一个方面所涉及的搬运方法中，也可为，对象物包含粘结于第2表面的粘结层，在粘结层的外缘部设置有支撑体，在收纳容器的内表面设置有夹持支撑体的夹持部，在第1工序中，通过夹持部夹持支撑体而将对象物支撑于收纳容器内。在该情况下，可不使夹持部与对象物即晶圆本身抵接地支撑对象物。因此，在对象物的收纳时及支撑时，防止因与夹持部接触所致的法布里-帕罗干涉滤波器的破损。
9、本发明的一个方面所涉及的搬运方法中，也可为，在第1工序中，在将第1表面朝向下方的状态下，通过夹持部在上下方向夹持支撑体，而将对象物支撑于收纳容器内。在该情况下，在收纳容器内，镜部侧的第1表面朝向下方。因此，即使假设在1个法布里-帕罗干涉滤波器中镜部产生了破损的情况下，其破片也不易影响到其他法布里-帕罗干涉滤波器。
10、本发明的一个方面所涉及的搬运方法中，也可为，在晶圆形成有包含多个法布里-帕罗干涉滤波器的有效区域、及以包围有效区域的方式设置且形成外缘的虚设区域，虚设区域包含在互相相对的第1镜部与第2镜部之间设置有中间层的多个虚设滤波器，在收纳容器的内表面，设置有在虚设区域夹持对象物的夹持部，在第1工序中，通过夹持部夹持虚设区域，而将对象物支撑于收纳容器内。在该情况下，可不另外使用支撑体等构件，而在收纳容器内支撑对象物。另外，由于在对象物即晶圆的外缘部设置虚设区域，因而晶圆的强度提高并且翘曲得到抑制。因此，对象物向收纳容器的收纳变得容易。
11、本发明的一个方面所涉及的搬运方法中，也可为，在第1工序中，在将第1表面朝向下方的状态下，通过夹持部在上下方向夹持虚设区域，而将对象物支撑于收纳容器内。在该情况下，在收纳容器内，镜部侧的第1表面朝向下方。因此，即使假设在1个法布里-帕罗干涉滤波器中镜部产生了破损的情况下，其破片也不易影响到其他法布里-帕罗干涉滤波器。
12、本发明的一个方面所涉及的搬运方法中，也可为，对象物包含粘结层；及多个法布里-帕罗干涉滤波器，其互相独立地构成并且二维状地排列，且粘结于粘结层；在粘结层的外缘部设置有支撑体，在收纳容器的内表面，设置有在上下方向夹持支撑体的夹持部；法布里-帕罗干涉滤波器包含相对于基板为第1镜部及第2镜部侧的第1表面、及与第1表面相反侧的面、即粘结于粘结层的第2表面；在第1工序中，在将第1表面朝向下方的状态下，通过夹持部夹持支撑体，而将对象物支撑于收纳容器内。在该情况下，互相独立地构成的多个法布里-帕罗干涉滤波器二维状地排列并粘结于粘结层。因此，更容易以不产生与镜部的接触的方式进行收纳及支撑。另外，在收纳容器内，第1表面朝向下方。因此，即使假设在1个法布里-帕罗干涉滤波器中镜部产生了破损的情况下，其破片也不易影响到其他法布里-帕罗干涉滤波器。
13、本发明的一个方面所涉及的搬运方法中，也可为，在粘结层的与第2表面相反侧的面设置有吸湿层，在吸湿层的与粘结层相反侧的面设置有吸附层，在第1工序中，以一个对象物的吸附层在另一个对象物的第1表面的下方侧与第1表面相对的方式，将对象物收纳于收纳容器并支撑。在该情况下，可将对象物收纳于收纳容器，同时在收纳容器内配置吸湿层及吸附层。特别是在该情况下，例如与在收纳容器的底部等配置吸湿构件的情况相比，可在靠近法布里-帕罗干涉滤波器的位置配置吸湿层。另外，吸附层以在第1表面的下方与第1表面相对的方式配置。因此，即使假设在1个法布里-帕罗干涉滤波器中镜部产生了破损的情况下，其破片也会吸附于吸附层，因而可防止其影响波及其他法布里-帕罗干涉滤波器。
14、本发明的一个方面所涉及的搬运方法也可具备：第2工序，其在第1工序之后，将收纳容器收纳于真空包，并且通过真空包的排气将收纳容器内抽真空。在该情况下，可不对法布里-帕罗干涉滤波器带来影响地将收纳容器内抽真空。
15、发明的效果
16、根据本发明的一个方面，可提供一种能够降低多个法布里-帕罗干涉滤波器的破损风险并且进行搬运的搬运方法。
技术特征：
1.一种搬运方法，其特征在于，
2.如权利要求1所述的搬运方法，其特征在于，
3.如权利要求2所述的搬运方法，其特征在于，
4.如权利要求3所述的搬运方法，其特征在于，
5.如权利要求2所述的搬运方法，其特征在于，
6.如权利要求5所述的搬运方法，其特征在于，
7.如权利要求1所述的搬运方法，其特征在于，
8.如权利要求3、4、7中的任一项所述的搬运方法，其特征在于，
9.如权利要求1～8中的任一项所述的搬运方法，其特征在于，
技术总结
一种搬运方法，是用于搬运包含多个法布里‑帕罗干涉滤波器的对象物的搬运方法，具备将上述对象物收纳于收纳容器的第1工序；上述法布里‑帕罗干涉滤波器具有基板、及设置于上述基板上且经由空隙而互相相对并且彼此的距离为可变的第1镜部及第2镜部；在上述第1工序中，在上述多个法布里‑帕罗干涉滤波器二维状地排列的状态下，将上述对象物收纳于上述收纳容器并支撑。
技术研发人员：大山泰生,柴山胜己,笠原隆,广瀬真树,川合敏光,藏本有未
受保护的技术使用者：浜松光子学株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23