一种半导体气体阀气密性测试装置的制作方法

本技术涉及气体阀，具体为一种半导体气体阀气密性测试装置。

背景技术：

1、半导体气体阀，是一种应用于半导体技术领域的一种阀门，对气管内流动的气体起到开通和关闭管路的作用，气体阀不仅担负着压缩气体流通的任务，其自身也具有一定的抗压能力，保证压缩气体经过时，不会因压力过大导致的阀门损坏，影响使用。

2、在一些对压缩空气的气压有要求的设备上，对阀门的气密性要求极为严格，其次是一些设备使用的压缩气体具有一定的危险性，对阀门的气密性有着较高的要求，现有的气密性检测仪器在检测时仅能通过一种方式对阀门气密性进行检测，不能两种或多种方法同时使用，再就是检测装置对不同规格的阀门检测时，需要更换较多的零部件或更换设备，最后是阀门的装夹装置不能夹持多种直径不同的阀门，对一些异形的阀门的夹持也存在问题，因此，针对上述问题提出一种半导体气体阀气密性测试装置。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种半导体气体阀气密性测试装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种半导体气体阀气密性测试装置，包括工作台、气泵、进气管和阀门，所述工作台顶端固定连接有气泵，所述气泵一侧固定连接有进气管，所述进气管中间位置固定连接有阀门，所述进气管末端固定连接有快速接头，所述快速接头远离进气管的一端固定连接有连接气管，所述连接气管远离快速接头的一端固定连接有接头，所述接头远离连接气管的一端设有气体阀，另一个所述接头远离气体阀的一端固定连接有出气管，所述出气管末端固定连接有气压表，所述工作台顶端固定连接有检测器。

4、优选的，所述工作台顶端固定连接有伸缩缸，所述伸缩缸顶端固定连接有l型支架，所述支架一侧固定连接有抱箍，所述支架底端固定连接有固定板，所述固定板底端左侧固定连接有抓夹，所述固定板内部设有横槽，所述横槽内部滑动连接有横板，所述横板底端固定连接有竖板，所述竖板底端固定连接有移动夹，所述横板一侧固定连接有弹簧。

5、优选的，所述快速接头的数量为两个，分别位于进气管位置和出气管上。

6、优选的，所述气体阀的长度小于检测器的长度。

7、优选的，所述横板的尺寸略小于横槽的尺寸。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

9、1、本实用新型中，通过设置的检测器、出气管和气压表，可以在对阀门气密性检测的一个过程中，通过检测器中的检测液对阀门进行检测，如果气体阀漏气，则溶液内额气体阀表面会有气泡产生，否则，则无气泡产生，同时，气压表也会对阀门内的气压进行检测，两种方法可以同时进行；

10、2、本实用新型中，通过设置的快速接头、连接气管、接头和出气管，可以在对不同规格的气体阀的检测时，通过对快速接头对接头的型号进行更换，以满足对不同型号气体阀的接口都有相对应的接头可以适配，提高设备的使用范围，降低检测工作的难度；

11、3、本实用新型中，通过设置的固定板、横槽、竖板、抓夹、弹簧和移动夹，可以实现对不同型号、不同直径大小的气体阀的夹持功能，移动夹可以在一定范围内滑动，在弹簧的弹力作用下，移动夹和抓夹可以对需要夹持的气体阀紧固夹持，确保气体阀的检测顺利进行。

技术特征：

1.一种半导体气体阀气密性测试装置，包括工作台（1）、气泵（2）、进气管（3）和阀门（4），其特征在于：所述工作台（1）顶端固定连接有气泵（2），所述气泵（2）一侧固定连接有进气管（3），所述进气管（3）中间位置固定连接有阀门（4），所述进气管（3）末端固定连接有快速接头（8），所述快速接头（8）远离进气管（3）的一端固定连接有连接气管（9），所述连接气管（9）远离快速接头（8）的一端固定连接有接头（10），所述接头（10）远离连接气管（9）的一端设有气体阀（11），另一个所述接头（10）远离气体阀（11）的一端固定连接有出气管（20），所述出气管（20）末端固定连接有气压表（21），所述工作台（1）顶端固定连接有检测器（19）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体气体阀气密性测试装置，其特征在于：所述工作台（1）顶端固定连接有伸缩缸（5），所述伸缩缸（5）顶端固定连接有l型支架（6），所述支架（6）一侧固定连接有抱箍（7），所述支架（6）底端固定连接有固定板（12），所述固定板（12）底端左侧固定连接有抓夹（13），所述固定板（12）内部设有横槽（14），所述横槽（14）内部滑动连接有横板（16），所述横板（16）底端固定连接有竖板（17），所述竖板（17）底端固定连接有移动夹（18），所述横板（16）一侧固定连接有弹簧（15）。

3.根据权利要求1所述的一种半导体气体阀气密性测试装置，其特征在于：所述快速接头（8）的数量为两个，分别位于进气管（3）位置和出气管（20）上。

4.根据权利要求1所述的一种半导体气体阀气密性测试装置，其特征在于：所述气体阀（11）的长度小于检测器（19）的长度。

5.根据权利要求2所述的一种半导体气体阀气密性测试装置，其特征在于：所述横板（16）的尺寸略小于横槽（14）的尺寸。

技术总结
本技术涉及气体阀技术领域，尤其为一种半导体气体阀气密性测试装置，包括工作台、气泵、进气管和阀门，所述工作台顶端固定连接有气泵，所述气泵一侧固定连接有进气管，所述进气管中间位置固定连接有阀门，所述进气管末端固定连接有快速接头，所述快速接头远离进气管的一端固定连接有连接气管，所述工作台顶端固定连接有检测器，本技术中，通过设置的检测器、出气管和气压表，可以在对阀门气密性检测的一个过程中，通过检测器中的检测液对阀门进行检测，如果气体阀漏气，则溶液内额气体阀表面会有气泡产生，否则，则无气泡产生，同时，气压表也会对阀门内的气压进行检测，两种方法可以同时进行。

技术研发人员：陈龙,冯立军,王建,明安群
受保护的技术使用者：阪本金属（常州）有限公司
技术研发日：20240104
技术公布日：2024/9/23