图像处理方法、电子设备及计算机可读存储介质与流程
本公开的实施例主要涉及图像处理，并且更具体地，涉及图像处理方法、电子设备及计算机可读存储介质。
背景技术：
1、在半导体工艺中经常需要对透射电子显微镜(transmission electronmicroscope，简称tem)拍摄的图像中的图形的厚度、关键尺寸(critical dimension，简称cd)和扫描电子显微镜(scanning electron microscope，简称 sem)拍摄的图像中的图形cd等进行测量。在测量过程中需要对图形边界进行识别，以确保测量的准确性。不同的图形在sem或tem下其灰度差异会不同，而且当存在多种材质或图片中背景噪声不均匀时，对于准确获得测量结果存在不利影响。
2、传统方案通常使用一些常用的滤波等方式对图像进行处理。这些方案通常存在识别精度较低等缺陷。
技术实现思路
1、根据本公开的示例实施例，提供了一种图像处理方案，以至少部分克服上述或者其他潜在缺陷。
2、根据本公开的一个方面，提供了一种图像处理方法。该方法包括：分别基于图像中预定方向上的一组像素中每个像素的灰度值以及每个像素在一组像素中的相邻的预定范围内的像素的灰度值生成每个像素的修正灰度值；分别将一组像素中各个像素的修正灰度值与阈值进行比较，其中阈值与一组像素中各个像素的灰度值相关；以及将各个像素中具有大于阈值的修正灰度值的像素识别为图像中图形的边界点。
3、在本公开的第二方面，提供了一种电子设备。该电子设备包括处理器；以及与处理器耦合的存储器，存储器具有存储于其中的指令，指令在被处理器执行时使设备执行动作，该动作包括：分别基于图像中预定方向上的一组像素中每个像素的灰度值以及每个像素在一组像素中的相邻的预定范围内的像素的灰度值生成每个像素的修正灰度值；分别将一组像素中各个像素的修正灰度值与阈值进行比较，其中阈值与一组像素中各个像素的灰度值相关；以及将各个像素中具有大于阈值的修正灰度值的像素识别为图像中图形的边界点。
4、在一些实施例中，其中分别基于图像中预定方向上的一组像素中每个像素的灰度值以及每个像素在一组像素中的相邻的预定范围内的像素的灰度值生成每个像素的修正灰度值包括：确定一组像素中各个像素的各自灰度值的滚动平均值；以及基于各个像素的各自灰度值的滚动平均值分别与各个像素相邻的预定范围内的像素的滚动平均值之差生成修正灰度值。
5、在一些实施例中，确定预定方向上的一组像素中各个像素的各自灰度值的滚动平均值包括：对于所述一组像素中边缘范围内的各个像素，基于与预定滚动步长相关的第一范围内的各个像素的灰度值分别确定所述各个像素的各自灰度值的第一滚动平均值，其中所述边缘范围的长度等于所述预定滚动步长；以及对于所述一组像素中所述边缘范围之外的中间范围内的各个像素，基于与所述预定滚动步长相关的第一范围内的各个像素的灰度值确定所述中间范围内各个像素的各自灰度值的第二滚动平均值。
6、在一些实施例中，分别基于图像中预定方向上的一组像素中每个像素的灰度值以及每个像素在一组像素中的相邻的预定范围内的像素的灰度值生成每个像素的修正灰度值包括：将预定常数作为一组像素中边缘范围内的各个像素的修正灰度值，其中边缘范围的长度等于预定范围；以及对于所述一组像素中所述边缘范围之外的中间范围内的各个像素，分别基于与所述各个像素中相邻的所述预定范围内各个像素的灰度平均值确定相应的修正灰度值。
7、在一些实施例中，分别基于与所述各个像素中相邻的所述预定范围内各个像素的灰度平均值确定相应的修正灰度值包括：将预定常数作为一组像素中边缘范围内的各个像素的修正灰度值，其中边缘范围的长度等于预定范围；以及基于预定范围分别确定一组像素中除边缘范围之外的中间范围内各个像素的灰度平均值，将各个灰度平均值分别作为中间范围内各个像素的修正灰度值。
8、在一些实施例中，基于预定范围确定预定方向上的一组像素中除边缘范围之外的中间范围内各个像素的灰度平均值包括：分别确定中间范围内的各个像素在一组像素中的一侧相邻位置处的预定范围内的像素的灰度值的第一平均值；分别确定中间范围内的各个像素在一组像素中另一侧相邻位置处的预定范围内的像素的灰度值的第二平均值；分别确定各个像素的灰度值与相应的第一平均值之差的第一绝对值；分别确定各个像素的灰度值与相应的第二平均值之差的第二绝对值；以及分别将相应的第一绝对值与相应的第二平均值之和作为述中间范围内的各个像素的修正灰度值。
9、在一些实施例中，其中利用以下公式确定修正灰度值：
10、
11、其中表示第i个像素的修正灰度值，i表示一组像素中第i个像素，表示第i个像素的灰度值，k为大于或等于1的整数，n表示一组像素中像素的总数量。
12、在一些实施例中，分别将一组像素中各个像素的修正灰度值与阈值进行比较包括：基于一组像素中各个像素的灰度值确定各个像素的灰度值的百分位；以及将百分位作为相应的一组像素的阈值。
13、在一些实施例中，分别基于图像中预定方向上的一组像素中每个像素的灰度值以及每个像素在一组像素中的相邻的预定范围内的像素的灰度值生成每个像素的修正灰度值还包括：基于图像中的一组像素的灰度值以及一组像素相邻的至少一组像素的灰度值确定各组像素的灰度值的平均值；以及将所确定的平均值确定为一组像素的修正灰度值。
14、在一些实施例中，在生成所修正灰度值之前还包括：对所述图像实施高斯滤波或者中值滤波，以生成降噪的图像。
15、在一些实施例中，图像是透射电子显微镜图像或扫描电子显微镜图像。
16、在本公开的第三方面中，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现根据本公开的第一方面的方法。
17、通过下文描述将会理解，本公开的技术方案能够有效提高图形边界区域的信号强度，使得更容易识别出不同图形区域的边界，从而有助于提高图形尺寸量测精度。通过下文描述将会理解，本公开的技术方案能够有效提高图形边界区域的信号强度，使得更容易识别出不同图形区域的边界，从而有助于提高图形尺寸量测精度。
18、提供
技术实现要素：
部分是为了以简化的形式来介绍对概念的选择，它们在下文的具体实施方式中将被进一步描述。发明内容部分无意标识本公开的关键特征或主要特征，也无意限制本公开的范围。
技术特征：
1.一种图像处理方法，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中分别基于图像中预定方向上的一组像素中每个像素的灰度值以及所述每个像素在所述一组像素中的相邻的预定范围内的像素的灰度值生成所述每个像素的修正灰度值包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其中确定所述一组像素中各个像素的各自灰度值的滚动平均值包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其中分别基于图像中预定方向上的一组像素中每个像素的灰度值以及所述每个像素在所述一组像素中的相邻的预定范围内的像素的灰度值生成所述每个像素的修正灰度值包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其中分别基于与所述各个像素中相邻的所述预定范围内各个像素的灰度平均值确定相应的修正灰度值包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其中利用以下公式确定所述修正灰度值：
7.根据权利要求1所述的方法，其中分别将所述一组像素中各个像素的修正灰度值与阈值进行比较包括：
8.根据权利要求1所述的方法，分别基于图像中预定方向上的一组像素中每个像素的灰度值以及所述每个像素在所述一组像素中的相邻的预定范围内的像素的灰度值生成所述每个像素的修正灰度值还包括：
9.根据权利要求1至8中任一项所述的方法，其中在生成所述修正灰度值之前还包括：
10.一种电子设备，包括：
11.根据权利要求10所述的电子设备，其中所述图像是透射电子显微镜图像或扫描电子显微镜图像。
12.一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有机器可执行指令，当所述机器可执行指令在被处理器执行时，使得所述处理器实现根据权利要求1至9中任一项所述的方法。
技术总结
本公开的实施例涉及图像处理方法、电子设备及计算机可读存储介质。该方法包括：分别基于图像中预定方向上的一组像素中每个像素的灰度值以及每个像素在一组像素中的相邻的预定范围内的像素的灰度值生成每个像素的修正灰度值；分别将一组像素中各个像素的修正灰度值与阈值进行比较，其中阈值与一组像素中各个像素的灰度值相关；以及将各个像素中具有大于阈值的修正灰度值的像素识别为图像中图形的边界点。本公开实施例的方案能够有效提高图形边界区域信号强度，使得更容易识别出不同图形区域的边界，提高图形尺寸量测精度。
技术研发人员：请求不公布姓名,请求不公布姓名
受保护的技术使用者：全芯智造技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23