显示装置和制造显示装置的方法与流程
本公开涉及显示装置和制造显示装置的方法。
背景技术：
1、随着信息社会发展，对用于显示图像的显示装置的需求已经增加并多样化。显示装置可以是诸如液晶显示器(lcd)、场发射显示器(fed)或发光显示器(led)的平板显示装置。
2、发光显示装置可以实现为包括有机发光二极管元件作为发光元件的有机发光显示装置、包括无机半导体元件作为发光元件的无机发光显示装置、以及包括微型发光二极管元件作为发光元件的微型发光二极管显示装置。在这种情况下，在微型发光二极管显示装置中，微型发光二极管元件接合到像素电极，并且因此，期望降低像素电极的电阻。
技术实现思路
1、本公开的各方面和特征提供了一种制造显示装置的方法，所述方法能够通过免对准(alignment-free)方法将用于发射相同颜色光的多个发光元件同时地(例如，同时)接合到半导体电路基底。
2、本公开的各方面和特征还提供了一种显示装置，其中，用于发射相同颜色光的多个发光元件设置在同一层处，并且用于发射不同颜色光的发光元件设置在不同层处。
3、然而，本公开的各方面和特征不限于本文中所阐述的各方面和特征。通过参照下面给出的本公开的详细描述，本公开的上述和其他方面和特征对于本公开所属领域的普通技术人员将变得更加明显。
4、根据一个或多个实施例，显示装置包括：半导体电路基底，具有显示区域和非显示区域，并且包括多个像素电路单元；以及多个发光元件层，包括堆叠在所述半导体电路基底的所述显示区域上的两个或更多个层，所述两个或更多个层中的每一层包括多个发光元件，其中，所述多个发光元件层的在同一层处的所述多个发光元件被配置为发射相同颜色光，并且所述多个发光元件层的在不同层处的所述发光元件被配置为发射不同颜色光，并且所述多个发光元件层的在所述同一层处的所述多个发光元件连接到相同的公共电极并且所述多个发光元件层的在所述不同层处的所述发光元件连接到不同的公共电极。
5、所述显示装置还包括：多个像素电极，分别连接到所述多个像素电路单元，以及接触电极，在所述发光元件的一个表面上并且连接到所述像素电极。
6、所述显示装置还包括：第一绝缘层，覆盖所述多个发光元件的在所述多个发光元件之间的侧表面；所述多个发光元件层中的每一个包括：所述像素电极；所述多个发光元件，在所述像素电极上；所述接触电极，在所述多个发光元件中的每一个的一个表面上；以及公共电极，在所述多个发光元件的上表面和所述第一绝缘层的上表面上。
7、所述公共电极在所述同一层的所述多个发光元件的上表面上。
8、所述显示装置还包括在所述多个发光元件层之间的第二绝缘层。
9、所述第一绝缘层和所述第二绝缘层包括与位于所述第一绝缘层和所述第二绝缘层下方的所述发光元件的上表面重叠的开口，并且所述开口的宽度大于所述发光元件的宽度。
10、所述像素电极通过位于所述像素电极下方的所述第一绝缘层和所述第二绝缘层中的接触孔电连接到对应的像素电路单元。
11、保护电极形成在位于所述像素电极下方的所述绝缘层中的所述接触孔上，并且所述像素电极覆盖所述保护电极。
12、所述保护电极具有与所述像素电极的蚀刻选择比不同的蚀刻选择比并且包括导电材料。
13、所述接触电极在所述像素电极上。
14、所述发光元件被随机地布置在所述像素电极上。
15、所述像素电极与所述接触电极的侧表面接触。
16、所述接触电极在第一方向上从所述发光元件向外突出，并且所述像素电极覆盖向外突出的所述接触电极。
17、所述不同层处的所述发光元件的所述公共电极在所述非显示区域中彼此连接、彼此分离或部分地彼此连接。
18、根据一个或多个实施例，显示装置包括：半导体电路基底，包括多个像素电路单元；第一绝缘层，在所述半导体电路基底的显示区域上；第一发光元件层，包括顺序地布置在所述第一绝缘层上的第一像素电极、被配置为发射第一光的第一发光元件、以及第一公共电极；第二绝缘层，在所述第一发光元件层上；以及第二发光元件层，包括顺序地布置在所述第二绝缘层上的第二像素电极、被配置为发射第二光的第二发光元件、以及第二公共电极。
19、所述显示装置还包括：第三绝缘层，在所述第二发光元件层上；第三发光元件层，包括顺序地布置在所述第三绝缘层上的第三像素电极、被配置为发射第三光的第三发光元件、以及第三公共电极；以及第四绝缘层，在所述第三发光元件层上。
20、所述第一绝缘层包括与所述第一像素电极、所述第二像素电极和所述第三像素电极重叠并穿透所述第一绝缘层的接触孔，所述第二绝缘层包括与所述第二像素电极和所述第三像素电极重叠并穿透所述第二绝缘层的接触孔，所述第三绝缘层包括与所述第三像素电极重叠并穿透所述第三绝缘层的接触孔，并且所述显示装置还包括在所述第一绝缘层上并覆盖穿透所述第一绝缘层的所述接触孔的第一保护电极、在所述第二绝缘层上并覆盖穿透所述第二绝缘层的所述接触孔的第二保护电极、以及在所述第三绝缘层上并覆盖穿透所述第三绝缘层的所述接触孔的第三保护电极。
21、根据一个或多个实施例，制造显示装置的方法包括：在半导体电路基底上形成第一绝缘层，所述第一绝缘层具有接触孔并且所述半导体电路基底具有多个像素电路单元；形成第一发光元件层，所述第一发光元件层包括顺序地布置在所述第一绝缘层上的第一像素电极、被配置为发射第一光的第一发光元件、以及第一公共电极；在所述第一发光元件层上形成第二绝缘层；以及形成第二发光元件层，所述第二发光元件层包括顺序地布置在所述第二绝缘层上的第二像素电极、被配置为发射第二光的第二发光元件、以及第二公共电极。
22、制造显示装置的所述方法还包括：在所述第二发光元件层上形成第三绝缘层；形成第三发光元件层，所述第三发光元件层包括顺序地布置在所述第三绝缘层上的第三像素电极、被配置为发射第三光的第三发光元件、以及第三公共电极；以及在所述第三发光元件层上形成第四绝缘层。
23、所述第一发光元件层的所述形成包括：在所述第一绝缘层上形成第一保护电极，所述第一保护电极覆盖所述接触孔并连接到所述像素电路单元；将像素电极材料施加到所述第一绝缘层上，所述第一绝缘层上形成有所述第一保护电极；将基体基底接合到所述半导体电路基底并分离所述基体基底，所述基体基底上形成有所述第一发光元件；通过光致抗蚀工艺形成与第一发射区域的所述第一发光元件接触的像素电极；形成覆盖所述像素电极以及所述第一发光元件的侧表面的第四绝缘层；以及形成覆盖所述第四绝缘层和所述第一发光元件的上表面的所述第一公共电极。
24、在所述第四绝缘层的所述形成中，形成穿透所述第四绝缘层的接触孔，并且在所述第一公共电极的所述形成中，形成覆盖穿透所述第四绝缘层的所述接触孔的第一桥接电极，所述第一桥接电极与所述第一公共电极、所述第二公共电极和第三公共电极包括相同的材料并且与所述第一公共电极、所述第二公共电极和所述第三公共电极间隔开。
25、所述保护电极具有与所述像素电极的蚀刻选择比不同的蚀刻选择比并且包括导电材料。
26、所述第一发光元件层的所述形成包括：通过用牺牲材料覆盖第二发射区域的所述接触孔和第三发射区域的所述接触孔，在所述第一绝缘层上形成牺牲层；将基体基底接合到所述半导体电路基底并分离所述基体基底，所述基体基底上形成有所述第一发光元件；去除所述牺牲材料；通过光致抗蚀工艺形成像素电极和连接电极，所述像素电极在所述第一发光元件的侧表面上与第一发射区域的所述第一发光元件接触，并且所述连接电极覆盖所述第二发射区域的所述接触孔和所述第三发射区域的所述接触孔；形成覆盖所述像素电极、所述连接电极、以及所述第一发光元件的所述侧表面的第四绝缘层；以及形成覆盖所述第四绝缘层和所述第一发光元件的上表面的所述第一公共电极。
27、使用根据实施例的显示装置，可以通过免对准方法将用于发射相同颜色光的多个发光元件同时接合到半导体电路基底。
28、然而，本公开的效果不限于前面提到的效果，并且各种其他效果包括在本说明书中。
技术特征：
1.一种显示装置，其中，所述显示装置包括：
2.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述显示装置还包括：
3.根据权利要求2所述的显示装置，其中，所述显示装置还包括：第一绝缘层，覆盖所述多个发光元件的在所述多个发光元件之间的侧表面；所述多个发光元件层中的每一个包括：所述像素电极；所述多个发光元件，在所述像素电极上；所述接触电极，在所述多个发光元件中的每一个的一个表面上；以及公共电极，在所述多个发光元件的上表面和所述第一绝缘层的上表面上。
4.根据权利要求3所述的显示装置，其中，所述公共电极在所述同一层的所述多个发光元件的上表面上。
5.根据权利要求3所述的显示装置，其中，所述显示装置还包括在所述多个发光元件层之间的第二绝缘层。
6.根据权利要求5所述的显示装置，其中，所述第一绝缘层和所述第二绝缘层包括与位于所述第一绝缘层和所述第二绝缘层下方的所述发光元件的上表面重叠的开口，并且
7.根据权利要求5所述的显示装置，其中，所述像素电极通过位于所述像素电极下方的所述第一绝缘层和所述第二绝缘层中的接触孔电连接到对应的像素电路单元。
8.根据权利要求7所述的显示装置，其中，保护电极形成在位于所述像素电极下方的所述绝缘层中的所述接触孔上，并且
9.根据权利要求8所述的显示装置，其中，所述保护电极具有与所述像素电极的蚀刻选择比不同的蚀刻选择比并且包括导电材料。
10.根据权利要求3所述的显示装置，其中，所述接触电极在所述像素电极上。
11.根据权利要求3所述的显示装置，其中，所述发光元件被随机地布置在所述像素电极上。
12.根据权利要求3所述的显示装置，其中，所述像素电极与所述接触电极的侧表面接触。
13.根据权利要求12所述的显示装置，其中，所述接触电极在第一方向上从所述发光元件向外突出，并且
14.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述不同层处的所述发光元件的所述公共电极在所述非显示区域中彼此连接、彼此分离或部分地彼此连接。
15.一种显示装置，其中，所述显示装置包括：
16.根据权利要求15所述的显示装置，其中，所述显示装置还包括：
17.根据权利要求16所述的显示装置，其中，所述第一绝缘层包括与所述第一像素电极、所述第二像素电极和所述第三像素电极重叠并穿透所述第一绝缘层的接触孔，
18.一种制造显示装置的方法，其中，所述方法包括：
19.根据权利要求18所述的制造显示装置的方法，其中，所述方法还包括：
20.根据权利要求18所述的制造显示装置的方法，其中，所述第一发光元件层的所述形成包括：
21.根据权利要求20所述的制造显示装置的方法，其中，在所述第四绝缘层的所述形成中，形成穿透所述第四绝缘层的接触孔，并且
22.根据权利要求20所述的制造显示装置的方法，其中，所述保护电极具有与所述像素电极的蚀刻选择比不同的蚀刻选择比并且包括导电材料。
23.根据权利要求18所述的制造显示装置的方法，其中，所述第一发光元件层的所述形成包括：
技术总结
本公开涉及显示装置和制造显示装置的方法。所述显示装置包括：半导体电路基底，具有显示区域和非显示区域，并且包括多个像素电路单元；以及多个发光元件层，包括堆叠在所述半导体电路基底的所述显示区域上的两个或更多个层，所述两个或更多个层中的每一层包括多个发光元件，其中，所述多个发光元件层的在同一层处的所述多个发光元件被配置为发射相同颜色光，并且所述多个发光元件层的在不同层处的所述发光元件被配置为发射不同颜色光，并且在所述同一层处的所述多个发光元件连接到相同的公共电极并且在所述不同层处的所述发光元件连接到不同的公共电极。
技术研发人员：尹柱元,卢正训
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23