一种晶圆支架组装辅助装置的制作方法

本申请涉及半导体，尤其是涉及一种晶圆支架组装辅助装置。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。

2、晶圆加工过程中会经常用到晶圆支架(如图1所示)，例如在晶圆清洗时，通过多个支撑辊组成的网格状晶圆支架将晶圆支撑，便于清洗。

3、现有的晶圆支架在生产时，需要人工对支撑辊的进行摆放，每一次摆放时，均需要对支撑辊与支撑辊之间的距离和角度进行测量，确保满足生产要求，确保产品的一致性，十分不便。

4、有鉴于此，亟需一种晶圆支架组装辅助装置，以解决上述问题。

技术实现思路

1、为了有助于解决现有技术中存在的问题，本申请提供的一种晶圆支架组装辅助装置，采用如下的技术方案：包括：工作台，所述工作台的顶面平行设置有多个第一定位板，所述第一定位板的顶面设置有第一定位槽，所述工作台的顶面于相邻两个第一定位板之间均设置有定位组件，所述定位组件包括多个平行设置在工作台上的第二定位板，所述第二定位板与第一定位板垂直设置，所述第二定位板的顶面均设置有第二定位槽；

2、所述工作台上设置有用于调节相邻两个第一定位板之间间距的第一调节机构和多个分别调节对应定位组件中多个第二定位板之间间距的的第二调节机构。

3、通过上述技术方案，只需先对相邻两个第一定位板以及同一个定位组件中相邻两个第二定位板之间的距离进行测量定位，组装时，直接将支撑辊置于第一定位槽和第二定位槽中，即可完成对支撑辊之间的距离以及角度的调整，便于批量进行晶圆支架的组装，提高了晶圆支架的生产效率，当需要组装不同规格的晶圆支架时，通过第一调节机构和第二调节机构进行对应调节，使本申请具有很高的适应性。

4、在一个具体的可实施方案中，所述工作台的顶面设置有环板，多个所述第一定位板和多个定位组件均设置于环板内。

5、通过上述技术方案，采用环板将多个第一定位板和多个定位组件包围，起到保护作用。

6、在一个具体的可实施方案中，所述第一定位板设置有三个，位于中间位置的所述第一定位板固定设置于工作台上，位于两侧的两个所述第一定位板滑动设置于工作台上。

7、通过上述技术方案，设置三个第一定位板，并将中间位置的第一定位板固定设置，通过使两侧的第一定位板移动，即可完成间距的调整。

8、在一个具体的可实施方案中，所述环板上设置有两个导向杆，两个所述导向杆穿设于三个第一定位板上。

9、通过上述技术方案，两个导向杆用于对两侧第一定位板的活动进行导向，增加本申请的可靠性。

10、在一个具体的可实施方案中，所述第一调节机构包括第一双头螺栓，所述第一双头螺栓穿设于三个第一定位板和环板上，所述第一双头螺栓与位于中间位置的第一定位板转动连接，与位于两侧位置的第一定位板螺纹连接，所述第一双头螺栓两端的螺纹相反。

11、通过上述技术方案，通过转动第一双头螺栓，使两侧的第一定位板相向或背向移动，使达到同步调整两侧第一定位板与中间的第一定位板之间的距离。

12、在一个具体的可实施方案中，所述第一调节机构还包括第一转盘，所述第一转盘同轴设置于第一双头螺栓的悬置端。

13、通过上述技术方案，采用转动第一转盘，来达到转动第一双头螺栓的目的，使增加操作的便捷性。

14、在一个具体的可实施方案中，所述定位组件包括两个第二定位板。

15、通过上述技术方案，设置两个第二定位板，用于支撑两个支撑辊。

16、在一个具体的可实施方案中，所述工作台的顶面设置有两组滑轨，所述第二定位板滑动设置于对应滑轨上。

17、通过上述技术方案，两组滑轨的设置，用于对第二定位板的移动进行导向，增加本申请的可靠性。

18、在一个具体的可实施方案中，所述第二调节机构包括第二双头螺栓，所述第二双头螺栓穿设于两个第二定位板和环板上，所述第二双头螺栓与两个第二定位板螺纹连接，所述第二双头螺栓两端的螺纹相反。

19、通过上述技术方案，转动第二双头螺栓，使两个第二定位板相向或背向移动，达到调整两个第二定位板间距的目的

20、在一个具体的可实施方案中，所述第二调节机构还包括第二转盘，所述第二转盘同轴设置于第二双头螺栓的悬置端。

21、通过上述技术方案，采用转动第二转盘，来达到转动第二双头螺栓的目的，使增加操作的便捷性。

22、使用时，只需对相邻两个第一定位板以及同一个定位组件中相邻两个第二定位板之间的距离进行测量定位，组装时，直接将支撑辊置于第一定位槽和第二定位槽中，即可完成对支撑辊之间的距离以及角度的调整，便于批量进行晶圆支架的组装，确保产品一致性，提高了晶圆支架的生产效率，当需要组装不同规格的晶圆支架时，通过第一调节机构和第二调节机构进行对应调节，使本申请具有很高的适应性。

技术特征：

1.一种晶圆支架组装辅助装置，其特征在于，包括：工作台(1)，所述工作台(1)的顶面平行设置有多个第一定位板(2)，所述第一定位板(2)的顶面设置有第一定位槽(21)，所述工作台(1)的顶面于相邻两个第一定位板(2)之间均设置有定位组件，所述定位组件包括多个平行设置在工作台(1)上的第二定位板(3)，所述第二定位板(3)与第一定位板(2)垂直设置，所述第二定位板(3)的顶面均设置有第二定位槽(31)；

2.根据权利要求1所述的一种晶圆支架组装辅助装置，其特征在于：所述工作台(1)的顶面设置有环板(4)，多个所述第一定位板(2)和多个定位组件均设置于环板(4)内。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆支架组装辅助装置，其特征在于：所述第一定位板(2)设置有三个，位于中间位置的所述第一定位板(2)固定设置于工作台(1)上，位于两侧的两个所述第一定位板(2)滑动设置于工作台(1)上。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆支架组装辅助装置，其特征在于：所述环板(4)上设置有两个导向杆(7)，两个所述导向杆(7)穿设于三个第一定位板(2)上。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆支架组装辅助装置，其特征在于：所述第一调节机构(5)包括第一双头螺栓(51)，所述第一双头螺栓(51)穿设于三个第一定位板(2)和环板(4)上，所述第一双头螺栓(51)与位于中间位置的第一定位板(2)转动连接，与位于两侧位置的第一定位板(2)螺纹连接，所述第一双头螺栓(51)两端的螺纹相反。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆支架组装辅助装置，其特征在于：所述第一调节机构(5)还包括第一转盘(52)，所述第一转盘(52)同轴设置于第一双头螺栓(51)的悬置端。

7.根据权利要求2所述的一种晶圆支架组装辅助装置，其特征在于：所述定位组件包括两个第二定位板(3)。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆支架组装辅助装置，其特征在于：所述工作台(1)的顶面设置有两组滑轨(8)，所述第二定位板(3)滑动设置于对应滑轨(8)上。

9.根据权利要求7所述的一种晶圆支架组装辅助装置，其特征在于：所述第二调节机构(6)包括第二双头螺栓(61)，所述第二双头螺栓(61)穿设于两个第二定位板(3)和环板(4)上，所述第二双头螺栓(61)与两个第二定位板(3)螺纹连接，所述第二双头螺栓(61)两端的螺纹相反。

10.根据权利要求9所述的一种晶圆支架组装辅助装置，其特征在于：所述第二调节机构(6)还包括第二转盘(62)，所述第二转盘(62)同轴设置于第二双头螺栓(61)的悬置端。

技术总结
本申请涉及一种晶圆支架组装辅助装置，应用在半导体技术领域，包括：工作台，工作台的顶面平行设置有多个第一定位板，第一定位板的顶面设置有第一定位槽，工作台的顶面于相邻两个第一定位板之间均设置有定位组件，定位组件包括多个平行设置在工作台上的第二定位板，第二定位板与第一定位板垂直设置，第二定位板的顶面均设置有第二定位槽。本申请只需先对相邻两个第一定位板以及同一个定位组件中相邻两个第二定位板之间的距离进行测量定位，组装时，直接将支撑辊置于第一定位槽和第二定位槽中，即可完成对支撑辊之间的距离以及角度的调整，便于批量进行晶圆支架的组装，提高了晶圆支架的生产效率。

技术研发人员：邓南翔
受保护的技术使用者：无锡沃尼克半导体科技有限公司
技术研发日：20240124
技术公布日：2024/9/23