一种Ｘ射线衍射仪交叉光学系统装置的制作方法
本技术涉及一种x射线衍射仪，具体为一种x射线衍射仪交叉光学系统装置。
背景技术：
1、目前在x射线衍射这一领域，常规的检测方式即发散光路系统能够对一般的样品做定性、定量分析、kα1、α2剥离、全谱图拟合、衍射线条指标化等功能，但对于薄膜或粉末等样品的xrr(针对多晶、单晶多层薄膜厚度、密度、粗糙度进行精确分析)、薄膜掠入射分析gixrd(精确分析多层膜中材料的组成、次序、取向等)等就需要平行光路系统才能测量。目前x射线衍射仪在平行光路系统这一领域刚刚起步，正处于摸索前进中，怎样使用多层膜反射镜，如何很好的使用平行光路系统，并且能够满足发散光路系统和平行光路系统的切换使用要求成为当务之急。迫切需要对x射线衍射仪进行技术升级改造，来满足目前越来越复杂的检测的使用要求。
技术实现思路
1、针对目前的x射线衍射仪不能做平行光路系统检测使用，更不能做发散光路系统和平行光路系统的切换使用要求，对现有x射线衍射仪进行一次技术改造，设计一种交叉光学系统装置。
2、本实用新型采用的技术方案是：
3、x射线衍射仪交叉光学系统装置，射线源安装在θs支撑臂上，θs支撑臂安装在测角仪上；多层膜反射镜调整机构安装在射线源的右侧；发散狭缝设置在多层膜反射镜调整机构的右侧，也安装在θs支撑臂上；接收狭缝安装在θd支撑臂上，探测器位于接收狭缝的右侧也安装在θd支撑臂上，θd支撑臂安装在测角仪上；待测样品安装在测角仪的前方；
4、多层膜反射镜总成包括:多层膜反射镜，镜体底板，角位台，升降平移台，支撑板，挡光支板，挡光板，其中多层膜反射镜安装在镜体底板上，镜体底板安装在角位台上，角位台安装在升降平移台上面，升降平移台安装在支撑板前面，支撑板左侧安装挡光支板，挡光支板内安装挡光板；
5、多层膜反射镜具有抛物线形的基底，该抛物线的基底能够将发散光转化为平行光。
6、所述挡光板具有光缝。
7、升降平移台可采用手动或电动方式驱动，采用电动方式驱动时，其结构为：下端设置丝母，所述丝母与丝杠配合，丝杠由升降马达驱动。
8、采用一块多层膜反射镜，多层膜反射镜不但会把来自x射线管的发散x射线束转化为一道平行射束，还会使其单色化。一面多层膜反射镜由厚度呈侧向逐级分步的多层膜组成，这些膜则以低于1％的准确度误差沉积在一张抛物面上。
9、本装置有一块多层膜反射镜，尺寸为40x20x10mm，镜体基底为弯曲si片，具有抛物线形的基底。该抛物线的基底能够将发散光转化为平行光。
10、采用手动方式调节时，手动角位台两侧具有竖直方向的条形孔，螺钉穿过所述条形孔后与升降平移台连接。多层膜反射镜与光源的角度调节是靠一个可左右摆动的手动角位台调整的，与光源的高度调节是靠一个可以升降的手动升降平移台调整的。
11、本实用新型具有以下有益效果及优点：
12、1.创新结构，使用方便，性能稳定，平行光路系统测量精度和检测水平达到或超过目前的所有同类仪器水平；
13、2.发散光路系统和平行光路系统可随意切换使用而无需做任何的设备调整，适用于各种材料结构分析领域；
14、3.独特的设计结构，多层膜反射镜调整机构采用手动角位台和手动升降平移台调整与光源的角度和高度，调整方式方便准确，调整完毕后自带的锁紧机构保证多层膜反射镜的位置不会改变；
技术特征：
1.一种x射线衍射仪交叉光学系统装置，其特征在于：射线源安装在θs支撑臂上，θs支撑臂安装在测角仪上；多层膜反射镜调整机构安装在射线源的右侧；发散狭缝设置在多层膜反射镜调整机构的右侧，也安装在θs支撑臂上；接收狭缝安装在θd支撑臂上，探测器位于接收狭缝的右侧也安装在θd支撑臂上，θd支撑臂安装在测角仪上；待测样品安装在测角仪的前方；
2.根据权利要求1所述的x射线衍射仪交叉光学系统装置，其特征在于：所述挡光板具有光缝。
3.根据权利要求1所述的x射线衍射仪交叉光学系统装置，其特征在于：手动角位台两侧具有竖直方向的条形孔，螺钉穿过所述条形孔后与升降平移台连接。
4.根据权利要求1所述的x射线衍射仪交叉光学系统装置，其特征在于：升降平移台下端设置丝母，所述丝母与丝杠配合，丝杠由升降马达驱动。
技术总结
本技术公开一种X射线衍射仪交叉光学系统装置，多层膜反射镜调整机构安装在射线源调整机构的左侧，可连同射线源调整机构同时升降。射线源调整机构安装在θs支撑臂上，θs支撑臂安装在测角仪上。发散狭缝位于多层膜反射镜调整机构的右侧，也安装在θs支撑臂上。接收狭缝安装在θd支撑臂上，探测器位于接收狭缝的右侧也安装在θd支撑臂上，θd支撑臂安装在测角仪上。待测样品安装在测角仪的前方。本技术的衍射仪两套光学系统并存，实现在发散光学系统与平行光学系统相互切换，满足不同测试需要，拓展衍射仪应用领域。
技术研发人员：刘元元,金文仁,李晓晨
受保护的技术使用者：丹东浩元仪器有限公司
技术研发日：20240126
技术公布日：2024/9/23