一种射频离子源装置的制作方法

本技术涉及射频离子源，尤其涉及一种射频离子源装置。

背景技术：

1、离子源，是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。

2、专利号为cn207602507u中国实用新型专利中公开了一种新型射频离子源，包括射频离子源本体和安装射频离子源本体的底座，所述底座的上侧中部横向开设有凹槽，所述凹槽内安装有直线电机，所述直线电机的上部安装有射频离子源本体，所述底座的上部一侧开设有与凹槽垂直的滑槽，所述底座靠近滑槽的两端均开设有第二螺孔，所述第二螺孔内均设置有调节螺杆，所述调节螺杆的上设置有限位螺母，所述限位螺母与底座连接，所述滑槽的中部固定安装有固定块，所述固定块的两侧均开设有安装孔，所述安装孔内均固定设置有轴承，两个所述调节螺杆远离限位螺母的一端均贯穿第二螺孔与轴承连接，所述滑槽靠近固定块的两侧均设置有调节块，两个调节块上均开设有第一螺孔，两个所述调节螺杆分别插设在两个第一螺孔内，两个所述调节块的上部均设置有固定装置，两个所述固定装置的顶部通过锁紧螺栓连接；结构简单，方便使用，便于调节，能够适用不同设备安装使用。

3、但是该装置在实际使用时，由于两个圆弧形结构的固定板围合成的最小夹持空间是固定的，当使用设备的体积小于其夹持空间时，难以对使用设备形成有效的固定效果，从而减低了装置的实用性和射频效果。

技术实现思路

1、本实用新型克服了现有技术的不足，提供一种射频离子源装置。

2、为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：一种射频离子源装置，包括：底座，设置在所述底座顶部的射频离子源本体和移动框，以及设置在所述移动框内部的夹持组件；

3、所述夹持组件包括：固定在所述移动框内侧底部的气缸，固定在所述气缸顶部的三角块，以及固定在所述三角块顶部的推杆；所述推杆位于所述移动框顶部的一端铰接有第一滚筒；所述移动框靠近顶部的内侧设置有若干弧形杆，所述弧形杆的两端均铰接有第二滚筒。

4、本实用新型一个较佳实施例中，若干所述弧形杆对称设置在所述推杆的两侧。

5、本实用新型一个较佳实施例中，若干所述弧形杆靠近中部的侧面与所述移动框靠近顶部的内侧相铰接。

6、本实用新型一个较佳实施例中，所述弧形杆位于所述移动框内部一端的所述第二滚筒与所述三角块的倾斜面相接触。

7、本实用新型一个较佳实施例中，所述移动框靠近顶部的内侧固定有限位锥块，所述限位锥块的内侧套接在所述推杆的侧面。

8、本实用新型一个较佳实施例中，所述底座的顶部设置有平移组件，所述平移组件包括：开设在所述底座顶部的移动槽，设置在所述移动槽内侧的螺纹杆，以及固定在所述移动槽内侧底部的若干滑轨；所述移动框的底部固定有移动块和若干滑块，所述底座的一侧固定有伺服电机，所述伺服电机的输出端与所述螺纹杆的一端固定。

9、本实用新型一个较佳实施例中，所述移动块的内侧与所述螺纹杆的侧面螺纹连接，若干所述滑块的底部与若干所述滑轨的顶部滑动连接。

10、本实用新型一个较佳实施例中，所述螺纹杆靠近两端的侧面通过轴承与所述移动槽的内侧转动连接。

11、本实用新型一个较佳实施例中，若干所述滑轨对称分布在所述螺纹杆的两侧。

12、本实用新型一个较佳实施例中，所述底座的顶部固定有支撑杆，所述支撑杆的顶部与所述射频离子源本体的底部固定。

13、本实用新型解决了背景技术中存在的缺陷，本实用新型具备以下有益效果：

14、(1)本实用新型提供了一种射频离子源装置，通过在移动框的内部设置夹持组件，在对使用设备进行夹持安装时，通过气缸、三角块、推杆、弧形杆、第一滚筒和第二滚筒的配合，若干弧形杆和推杆的顶部会形成夹持空间，三角块和推杆上升时，弧形杆位于移动框内部的一端，会沿着三角块的倾斜面向下移动，使得对称分布在推杆两侧的弧形杆，位于移动框顶部的一端相互靠近，进而逐渐缩小夹持空间，使得夹持空间可以根据所需进行有效的调节，对于不同体积使用设备的夹持较为灵活，并且夹持空间形成三点接触夹持，使得对使用设备形成有效的固定，从而提高了装置的实用性和稳定进行射频的效果。

15、(2)本实用新型中，通过在底座的顶部设置平移组件，并通过移动槽、伺服电机、螺纹杆、滑轨、移动块和滑块的配合，可以使得移动框沿着螺纹杆的长度方向进行平移，进而能够调节移动框顶部夹持的使用设备与射频离子源本体之间的距离，达到不同射频效果的目的，从而提高了装置使用时的适应性。

技术特征：

1.一种射频离子源装置，其特征在于，包括：底座(1)，设置在所述底座(1)顶部的射频离子源本体(2)和移动框(3)，以及设置在所述移动框(3)内部的夹持组件；

2.根据权利要求1所述的一种射频离子源装置，其特征在于：若干所述弧形杆(44)对称设置在所述推杆(42)的两侧。

3.根据权利要求1所述的一种射频离子源装置，其特征在于：若干所述弧形杆(44)靠近中部的侧面与所述移动框(3)靠近顶部的内侧相铰接。

4.根据权利要求1所述的一种射频离子源装置，其特征在于：所述弧形杆(44)位于所述移动框(3)内部一端的所述第二滚筒(45)与所述三角块(41)的倾斜面相接触。

5.根据权利要求1所述的一种射频离子源装置，其特征在于：所述移动框(3)靠近顶部的内侧固定有限位锥块(5)，所述限位锥块(5)的内侧套接在所述推杆(42)的侧面。

6.根据权利要求1所述的一种射频离子源装置，其特征在于：所述底座(1)的顶部设置有平移组件，所述平移组件包括：开设在所述底座(1)顶部的移动槽(6)，设置在所述移动槽(6)内侧的螺纹杆(61)，以及固定在所述移动槽(6)内侧底部的若干滑轨(62)；所述移动框(3)的底部固定有移动块(63)和若干滑块(64)，所述底座(1)的一侧固定有伺服电机(65)，所述伺服电机(65)的输出端与所述螺纹杆(61)的一端固定。

7.根据权利要求6所述的一种射频离子源装置，其特征在于：所述移动块(63)的内侧与所述螺纹杆(61)的侧面螺纹连接，若干所述滑块(64)的底部与若干所述滑轨(62)的顶部滑动连接。

8.根据权利要求6所述的一种射频离子源装置，其特征在于：所述螺纹杆(61)靠近两端的侧面通过轴承与所述移动槽(6)的内侧转动连接。

9.根据权利要求6所述的一种射频离子源装置，其特征在于：若干所述滑轨(62)对称分布在所述螺纹杆(61)的两侧。

10.根据权利要求1所述的一种射频离子源装置，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定有支撑杆(7)，所述支撑杆(7)的顶部与所述射频离子源本体(2)的底部固定。

技术总结
本技术公开了一种射频离子源装置，包括：底座，设置在所述底座顶部的射频离子源本体和移动框，以及设置在所述移动框内部的夹持组件；在对使用设备进行夹持安装时，通过气缸、三角块、推杆、弧形杆、第一滚筒和第二滚筒的配合，若干弧形杆和推杆的顶部会形成夹持空间，三角块和推杆上升时，弧形杆位于移动框内部的一端，会沿着三角块的倾斜面向下移动，使得对称分布在推杆两侧的弧形杆，位于移动框顶部的一端相互靠近，进而逐渐缩小夹持空间，使得夹持空间可以根据所需进行有效的调节，对于不同体积使用设备的夹持较为灵活，并且夹持空间形成三点接触夹持，使得对使用设备形成有效的固定，从而提高了装置的实用性和稳定进行射频的效果。

技术研发人员：董所涛,陈靖玉
受保护的技术使用者：苏州臻泰真空技术有限公司
技术研发日：20240204
技术公布日：2024/9/23