线振动陀螺仪及其线振动部件的连接组件的制作方法
本发明涉及惯性器件，具体为一种线振动陀螺仪及其线振动部件的连接组件。
背景技术：
1、陀螺仪是一种能够利用科里奥利效应测量物体运动角速率的惯性器件，主要用于导航定位、姿态感知、状态监测、平台稳定等应用领域。采用半导体mems加工工艺制造的mems陀螺仪中，运动部件在驱动电路控制下高速振动，当物体转动时，运动部件发生垂直于振动方向的横向位移，横向位移的大小与输入角速率的大小成正比，通过测量横向位移实现对角速率的测量，从而实现mems陀螺仪的主要功能，可广泛应用于惯性导航、无人机、自动驾驶、智能制造及高端工业领域。
2、多质量线振动陀螺对称性的特点，能有效消除工艺误差对陀螺性能的影响，鲁棒性较好。现有多质量线振动mems陀螺仪在驱动和检测方向均存在同向运动的干扰模态，频率隔离程度较低，陀螺存在信号调理电路无法消除的共模误差。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种线振动陀螺仪及其线振动部件的连接组件，至少可以解决现有技术中的部分缺陷。
2、为实现上述目的，本发明实施例提供如下技术方案：一种陀螺仪线振动部件的连接组件，包括：
3、连接部，所述连接部通过锚区固定，且所述连接部连接相邻两个线振动部件，用于抑制所述相邻两个线振动部件的同向运动。
4、进一步，所述连接部包括：
5、安装架，所述安装架为两个且间隔设置，所述锚区和所述安装架一一对应；
6、浮动架，所述浮动架可形变地连接相邻两个所述安装架。
7、进一步，每一所述安装架还包括：基座以及可产生形变的支撑部，所述锚区固定在所述支撑部上，所述浮动架与所述基座连接。
8、进一步，所述支撑部包括可随作用力而偏摆的多根条型梁，每根所述条型梁的一端连接所述锚区，另一端连接所述基座。
9、进一步，所述支撑部包括：
10、多根短梁；
11、可被挤压或拉伸的折叠梁，所述折叠梁呈环状，所述折叠梁的位于同一条直线上的两端通过所述短梁连接固定；
12、一根所述短梁的两端分别连接所述锚区和所述折叠梁，另外一根所述短梁的两端分别连接所述基座和所述折叠梁。
13、进一步，所述支撑部包括固定盘以及可随作用力而偏摆的组合梁，所述固定盘具有供所述锚区固定的安装位，且所述固定盘通过所述组合梁与所述基座连接。
14、进一步，所述组合梁包括第一梁、连接梁以及第二梁，所述第一梁的一端连接所述基座，另一端设在所述连接梁上，所述第二梁有两根，两根所述第二梁的一端分别设在所述连接梁的两端，且两根所述第二梁的另外一端分别连接所述固定盘。
15、进一步，所述支撑部有多个，各所述支撑部环绕所述锚区设置。
16、进一步，所述浮动架包括u型梁以及设于所述u型梁的两个末端的直梁，两个所述直梁和所述u型梁形成几字型结构，两个所述直梁远离所述u型梁的另外一端分别连接所述基座。
17、本发明实施例提供如下技术方案：一种线振动陀螺仪，包括多个线振动部件，还包括上述陀螺仪线振动部件的连接组件，每两个所述线振动部件通过至少一个所述连接组件连接。
18、与现有技术相比，本发明的有益效果是：采用连接部配合锚区能够有效抑制线振动部件的同向运动，即线振动部件平动和同向转动均受到限制，刚度显著提高，有效消除陀螺仪的共模误差。
技术特征：
1.一种陀螺仪线振动部件的连接组件，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的连接组件，其特征在于，所述连接部包括：
3.如权利要求2所述的连接组件，其特征在于，每一所述安装架还包括：基座以及可产生形变的支撑部，所述锚区固定在所述支撑部上，所述浮动架与所述基座连接。
4.如权利要求3所述的连接组件，其特征在于，
5.如权利要求3所述的连接组件，其特征在于，所述支撑部包括：
6.如权利要求3所述的连接组件，其特征在于，所述支撑部包括固定盘以及可随作用力而偏摆的组合梁，所述固定盘具有供所述锚区固定的安装位，且所述固定盘通过所述组合梁与所述基座连接。
7.如权利要求6所述的连接组件，其特征在于，所述组合梁包括第一梁、连接梁以及第二梁，所述第一梁的一端连接所述基座，另一端设在所述连接梁上，所述第二梁有两根，两根所述第二梁的一端分别设在所述连接梁的两端，且两根所述第二梁的另外一端分别连接所述固定盘。
8.如权利要求3所述的连接组件，其特征在于，所述支撑部有多个，各所述支撑部环绕所述锚区设置。
9.如权利要求2所述的连接组件，其特征在于，所述浮动架包括u型梁以及设于所述u型梁的两个末端的直梁，两个所述直梁和所述u型梁形成几字型结构，两个所述直梁远离所述u型梁的另外一端分别连接所述基座。
10.一种线振动陀螺仪，包括多个线振动部件，其特征在于，还包括如权利要求1-9任一所述陀螺仪线振动部件的连接组件，每两个所述线振动部件通过至少一个所述连接组件连接。
技术总结
本发明涉及一种陀螺仪线振动部件的连接组件，其包括：连接部，所述连接部通过锚区固定，且所述连接部连接相邻两个线振动部件，用于抑制所述相邻两个线振动部件的同向运动。还提供一种线振动陀螺仪，包括多个线振动部件，还包括上述陀螺仪线振动部件的连接组件，每两个所述线振动部件通过至少一个所述连接组件连接。本发明采用连接部配合锚区能够有效抑制线振动部件的同向运动，即线振动部件平动和同向转动均受到限制，刚度显著提高，有效消除陀螺仪的共模误差。
技术研发人员：黄晟,蔡喜元,蔡光艳,魏晓莉,贾蔓谷,罗戴钟,丁铮,吴国璋
受保护的技术使用者：武汉衡惯科技发展有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23