镀膜设备的制作方法
本发明涉及镀膜，尤其涉及一种镀膜设备。
背景技术：
1、镀膜是常见的一种对工件进行处理的工艺，并且，某些工件的正、反两面都需要进行镀膜。例如，在太阳能电池的生产过程中，需要对硅片(硅片作为工件)进行镀膜，从而在硅片的正、反两面形成tco层(transparent conductive oxide，透明导电氧化物)。目前，对工件进行双面镀膜的工艺耗时较长，镀膜效率不高。并且，其所需要的设备的结构比较复杂，设备的成本较高。
技术实现思路
1、本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种镀膜设备，该镀膜设备能够提高对工件进行双面镀膜的效率，并且该设备结构简单、成本较低。
2、根据本发明实施例的镀膜设备，包括：镀膜腔体，所述镀膜腔体内设有镀膜工位、第一腔室和第二腔室，所述镀膜工位设置在所述第一腔室和所述第二腔室之间；载具，所述载具用于承载待镀膜的工件，所述工件包括相互背对设置的第一镀膜面和第二镀膜面，当所述载具处于所述镀膜工位并且所述载具承载所述工件时，所述第一腔室和所述第二腔室相互分隔，所述第一镀膜面朝向所述第一腔室，所述第二镀膜面朝向所述第二腔室；第一镀膜模块，所述第一镀膜模块的至少一部分位于所述第一腔室内，所述第一镀膜模块用于对所述第一镀膜面进行镀膜；第二镀膜模块，所述第二镀膜模块的至少一部分位于所述第二腔室内，所述第二镀膜模块用于对所述第二镀膜面进行镀膜，并且所述第一镀膜模块和所述第二镀膜模块能够同时对所述工件进行镀膜。
3、根据本发明实施例的镀膜设备，至少具有如下有益效果：
4、现有技术中，对工件的第一镀膜面和第二镀膜面进行镀膜的过程大致如下：先将工件送入第一镀膜腔体，对第一镀膜面进行镀膜；然后将工件送入第二镀膜腔体，对第二镀膜面进行镀膜。由于对第一镀膜面的镀膜和对第二镀膜面的镀膜是先后进行的，对工件进行双面镀膜所需要的时间较长，双面镀膜的效率不高。并且，由于第一镀膜腔体和第二镀膜腔体是相互独立的，第一镀膜腔体和第二镀膜腔体之间还需要设置若干衔接腔室，工件离开第一镀膜腔体之后，工件需要在衔接腔室中经过除尘等其他处理之后才会被送入第二镀膜腔体，以保证第二镀膜面的镀膜质量。这意味着镀膜设备需要设置衔接腔室，镀膜设备的结构较为复杂且成本较高。
5、而对于本发明的镀膜设备，其镀膜腔体集成有两个腔室(第一腔室和第二腔室)。当载板处于镀膜工位时，工件第一镀膜面和第二镀膜面分别朝向不同的腔室，第一镀膜模块和第二镀膜模块可以分别对工件的两个镀膜面进行镀膜，并且两个镀膜面的镀膜可以同时进行。如此一来，设备对工件进行双面镀膜所需要的时间较少，双面镀膜的效率较高。此外，由于本发明的设备将第一腔室和第二腔室集成在一个镀膜腔体内，第一腔室和第二腔室之间不需要设置衔接腔室，这有利于降低设备的结构复杂度和成本。
6、根据本发明的一些实施例，所述载具包括多个相互连接的载板单元，相邻的两个所述载板单元相互连接并形成第一缝隙，所述第一缝隙朝向所述的第一腔室的一端为第一端，所述第一缝隙背对所述第一腔室的一端为第二端，所述第一端和所述第二端相互错开。
7、根据本发明的一些实施例，所述镀膜腔体包括多个分隔件，多个所述分隔件围绕所述第二腔室，所述分隔件的表面的一部分作为所述第二腔室的壁面；其中，当所述载具处于所述镀膜工位并且所述载具承载所述工件时，所述分隔件与所述载具抵接，从而使所述第一腔室和所述第二腔室分隔；或者，当所述载具处于所述镀膜工位并且所述载具承载所述工件时，所述镀膜设备还包括密封件，所述密封件与所述分隔件连接，所述密封件被夹在所述分隔件和所述载具之间，从而使所述第一腔室和所述第二腔室分隔。
8、根据本发明的一些实施例，所述载具包括多个相互连接的载板单元，相邻的两个所述载板单元相互连接并形成第一缝隙，所述第一缝隙朝向所述的第一腔室的一端为第一端，所述第一缝隙背对所述第一腔室的一端为第二端，所述第一端和所述第二端相互错开；其中一部分分隔件为第一分隔件，所述第一分隔件形成有第一收集槽，所述第一收集槽位于所述第二腔室外，并且所述第一收集槽与所述第二端相互连通；所述镀膜腔体的内壁面设有第一除尘口，所述第一除尘口与所述第一收集槽连通，所述镀膜设备还包括抽气模块，所述抽气模块位于所述镀膜腔体外，并且所述抽气模块与所述第一除尘口连接，所述抽气模块用于抽走所述第一收集槽中的粉尘。
9、根据本发明的一些实施例，所述第一分隔件包括：承载部；第一纵向部，所述第一纵向部的底端与所述承载部连接；第二纵向部，所述第二纵向部的底端与所述承载部连接，所述第一纵向部和所述第二纵向部分别连接在所述承载部的两端，所述第一纵向部和所述第二纵向部均垂直于所述承载部；遮挡部，所述遮挡部与所述第一纵向部的顶端连接，所述遮挡部相对于所述第一纵向部朝所述第二纵向部凸出；所述承载部、所述第一纵向部、所述第二纵向部和遮挡部共同限定出所述第一收集槽，所述第一纵向部背对所述第二纵向部的一侧表面作为所述第二腔室的内壁面的一部分。
10、根据本发明的一些实施例，所述镀膜设备还包括输送机构，所述输送机构包括：驱动件；转动件，所述转动件设置为滚轮或辊，所述转动件的至少一部分设置在第二腔室内，所述转动件的外周面与所述载具抵接，所述驱动件用于驱动所述转动件转动，以使所述载具进出所述镀膜腔体。
11、根据本发明的一些实施例，所述镀膜设备还包括盖板，所述盖板遮盖所述驱动件，并且所述驱动件位于所述盖板背对所述第一腔室的一侧，所述盖板与所述载具之间形成有第二缝隙；其中一部分所述分隔件为第二分隔件，所述第二分隔件形成有第二收集槽，所述第二收集槽位于所述第二腔室外，所述第二收集槽与所述第二缝隙连通；所述镀膜腔体的内壁面还设有第二除尘口，所述第二除尘口与所述第二收集槽连通，所述镀膜设备还包括抽气模块，所述抽气模块位于所述镀膜腔体外，并且所述抽气模块与所述第二除尘口连接，所述抽气模块用于抽走所述第二收集槽中的粉尘。
12、根据本发明的一些实施例，所述第二分隔件还设有通孔，所述转动件穿设于所述通孔，所述转动件的外周面与所述通孔的孔壁抵接。
13、根据本发明的一些实施例，所述第一镀膜模块包括第一靶材、磁控管、气源和电源，所述第一靶材设置在所述第一腔室内，所述磁控管设置在所述第一腔室内，所述磁控管位于所述第一靶材背对所述载具的一侧，所述气源与所述镀膜腔体连接，所述气源用于向所述第一腔室输送工艺气体，所述载具和所述第一靶材均与所述电源电连接，所述电源用于在所述第一腔室内形成电场，所述电场用于使所述工艺气体转化为等离子体，并且使所述等离子体中的至少一部分离子朝所述第一靶材运动；和/或，所述第二镀膜模块包括第二靶材和等离子体发生器，所述第二靶材设置在所述第二腔室内，所述等离子体发生器与所述镀膜腔体连接，所述等离子体发生器用于产生等离子体并向所述第二腔室输送所述等离子体。
14、根据本发明的一些实施例，所述载具包括工件放置通孔，所述工件放置通孔的两端分别为第一避让口和第二避让口，所述第一避让口朝向所述第一腔室，所述第二避让口朝向所述第二腔室；当所述工件设置在所述工件放置通孔时，所述第一镀膜面从所述第一避让口露出，所述第二镀膜面从所述第二避让口露出，所述工件分隔所述第一避让口和所述第二避让口。
15、本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
技术特征：
1.镀膜设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述载具包括多个相互连接的载板单元，相邻的两个所述载板单元相互连接并形成第一缝隙，所述第一缝隙朝向所述的第一腔室的一端为第一端，所述第一缝隙背对所述第一腔室的一端为第二端，所述第一端和所述第二端相互错开。
3.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜腔体包括多个分隔件，多个所述分隔件围绕所述第二腔室，所述分隔件的表面的一部分作为所述第二腔室的壁面；
4.根据权利要求3所述的镀膜设备，其特征在于，所述载具包括多个相互连接的载板单元，相邻的两个所述载板单元相互连接并形成第一缝隙，所述第一缝隙朝向所述的第一腔室的一端为第一端，所述第一缝隙背对所述第一腔室的一端为第二端，所述第一端和所述第二端相互错开；
5.根据权利要求4所述的镀膜设备，其特征在于，所述第一分隔件包括：
6.根据权利要求3所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括输送机构，所述输送机构包括：
7.根据权利要求6所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括盖板，所述盖板遮盖所述驱动件，并且所述驱动件位于所述盖板背对所述第一腔室的一侧，所述盖板与所述载具之间形成有第二缝隙；
8.根据权利要求7所述的镀膜设备，其特征在于，所述第二分隔件还设有通孔，所述转动件穿设于所述通孔，所述转动件的外周面与所述通孔的孔壁抵接。
9.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述第一镀膜模块包括第一靶材、磁控管、气源和电源，所述第一靶材设置在所述第一腔室内，所述磁控管设置在所述第一腔室内，所述磁控管位于所述第一靶材背对所述载具的一侧，所述气源与所述镀膜腔体连接，所述气源用于向所述第一腔室输送工艺气体，所述载具和所述第一靶材均与所述电源电连接，所述电源用于在所述第一腔室内形成电场，所述电场用于使所述工艺气体转化为等离子体，并且使所述等离子体中的至少一部分离子朝所述第一靶材运动；
10.根据权利要求1至9中任一项所述的镀膜设备，其特征在于，所述载具包括工件放置通孔，所述工件放置通孔的两端分别为第一避让口和第二避让口，所述第一避让口朝向所述第一腔室，所述第二避让口朝向所述第二腔室；
技术总结
本发明提供了一种镀膜设备，镀膜设备包括镀膜腔体、载具、第一镀膜模块和第二镀膜模块，镀膜腔体内设有镀膜工位、第一腔室和第二腔室，当载具处于镀膜工位并且载具承载工件时，第一腔室和第二腔室相互分隔，工件的第一镀膜面朝向第一腔室，工件的第二镀膜面朝向第二腔室，第一镀膜模块用于对第一镀膜面进行镀膜，第二镀膜模块用于对第二镀膜面进行镀膜，并且第一镀膜模块和第二镀膜模块能够同时对工件进行镀膜。该镀膜设备对工件进行双面镀膜的效率较高，且设备的结构复杂度和成本较低。
技术研发人员：蔡泽,满小花,陈麒麟
受保护的技术使用者：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23