一种单晶炉旋阀的制作方法
本发明涉及旋阀，具体涉及一种单晶炉旋阀。
背景技术：
1、硅单晶炉是一种软轴提拉型单晶炉，在惰性气体的保护坏境中，以高纯的石墨电阻加热器，将半导体多晶硅高温融化，用直拉法的方式生长出一种无位错的单晶硅棒。但是单晶硅生长的条件要求十分地苛刻，从原料、热场、控制系统、保护性气体、设备、石英坩埚等等，每一个环节都必须正常运行。硅单晶炉的真空环境主要由主炉室、炉盖旋阀、副炉室等组成，硅单晶炉的主炉室、炉盖旋阀、副炉室三者是可以分离的。对于生长出的硅单晶棒要从硅单晶炉内取出，需要将单晶硅棒提拉上升到副炉室筒内，通过炉盖旋阀将主炉室与副炉室隔离上下空间，待单晶硅棒冷却，将副室升起与炉盖旋阀分离。
2、然而现有技术中的炉盖旋阀存在以下缺陷：现有旋阀技术中副炉室和旋阀之间通过导柱销和转动锁紧板打开或闭合，现有技术在操作过程中存在严重的金属摩擦点，容易产生金属磨屑，磨削容易进入炉内从而污染原料。有鉴于此，提出本发明。
技术实现思路
1、本发明提出一种单晶炉旋阀，能够凭借导向机构和锁紧机构的良好配合，在操控旋阀打开或者闭合的过程中不会有严重的金属摩擦，既能避免严重的金属摩擦所带来的金属碎屑对原料造成污染，又能提升旋阀打开或者闭合过程的便利性和稳固性，从而解决上述提到的技术问题。
2、本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
3、一种单晶炉旋阀，包括：
4、腔体，所述腔体设有锁紧驱动部、导向机构、锁紧机构；
5、所述锁紧驱动部与所述导向机构传动连接，所述导向机构与所述锁紧机构传动配合；
6、所述导向机构包括导向环、导向座、导向槽板；
7、所述导向座与所述腔体相连接；所述锁紧机构贯穿所述导向座并滑动配合；
8、所述导向环与所述锁紧驱动部的输出端适配连接，且与所述腔体转动配合；
9、所述导向槽板设于所述导向环，并且与所述锁紧机构进行配合，当所述导向环被所述锁紧驱动部驱使转动时，所述导向槽板同步运动，从而带动所述锁紧机构在所述导向座中滑动，滑动方向为靠近或远离所述导向环的圆心。
10、在操控旋阀打开或者关闭时，锁紧驱动部驱动导向环转动，导向环再带动导向槽板同步运动，导向槽板推动锁紧机构在导向座中滑动，使其靠近或远离导向环的圆心，从而实现打开或闭合。这个过程中，通过逐级传动，并且过程顺滑，不存在严重的金属摩擦，不容易产生金属屑。
11、在一些实施例中，所述锁紧机构包括滑动组件、插销；
12、所述插销贯穿所述滑动组件，且端部外露；
13、所述滑动组件另一端与所述导向座相配合；
14、所述导向槽板设有导向槽；
15、所述导向槽与所述滑动组件外露的端部相对应且适配。
16、导向槽板在跟随导向环运动时，导向槽与滑动组件的相对位置发生改变，从而推动滑动组件位移，这个过程顺畅容易操控，并且金属之间摩擦程度低不容易卡住。
17、在一些实施例中，所述滑动组件包括滑块、限位部、回位槽；
18、所述导向座内设有限位槽、纠正体；
19、所述限位部与所述限位槽相适配；
20、所述纠正体处于所述限位槽内；
21、所述限位部处于所述滑块外侧；
22、所述回位槽处于所述限位部的两侧；
23、所述纠正体为有弹性的柔性材质制成。
24、由于滑动组件的位移是被导向槽板的导向槽带动，而导向槽板的动力来源于导向环的圆周转动，这个动力使得滑动组件在位移时，力的方向不完全指向导向环圆心，侧部也受到一部分力。当滑动组件被推动位移时，限位部在限位槽的空间内进行移动，在靠近导向环圆心的方向进行位移时，限位部逐渐接近纠正体并挤压纠正体，纠正体发生弹性变形，并被挤入到回位槽中，使得限位部的两边受力而被维持在中间进行移动，行进轨迹不会太偏向边侧，从而减少滑块与导向座之间的挤压磨损作用，避免产生金属碎屑，污染原料。
25、在一些实施例中，所述纠正体的外侧为圆弧型。
26、纠正体的外侧设置为圆弧型能够便于让限位部与纠正体的配合过程渐进过度，挤压过程更顺滑。
27、在一些实施例中，所述导向槽为斜向设置。
28、导向槽为斜向设置能够便于推动滑块的位移。
29、在一些实施例中，所述限位部、所述回位槽设于所述滑块的上下两个端面相对应的位置；所述限位槽、所述纠正体同步设置。
30、这样便于滑块的上下面都能够受到回位作用，提升滑块工作的稳定性。
31、在一些实施例中，所述腔体设有电气组件；
32、所述电气组件与所述锁紧驱动部适配连接。
33、在一些实施例中，所述腔体设有后盖；
34、所述腔体与所述后盖通过后盖锁紧装置相连接。
35、在一些实施例中，所述后盖锁紧装置包括滚花螺母、鱼眼螺杆、锁扣销轴座、锁扣座；
36、所述锁扣销轴座设于所述腔体，所述锁扣座设于所述后盖；
37、所述鱼眼螺杆的一端与所述锁扣销轴座转动连接，一端设有所述滚花螺母；
38、所述锁扣座与所述鱼眼螺杆的所述滚花螺母所在端相适配。
39、通过设置后盖锁紧装置，让后盖在旋阀腔体上能够可以便捷拆卸，在旋阀阀芯内部零件更换维修时，能够通过打开后盖锁紧装置取下后盖进行维修操作。
40、相较于现有技术，本发明的有益效果包括：
41、在操控旋阀打开或者关闭时，锁紧驱动部驱动导向环转动，导向环再带动导向槽板同步运动，导向槽板推动锁紧机在导向座中滑动，使其靠近或远离导向环的圆心，从而实现打开或闭合。这个过程中，通过逐级传动，并且过程顺滑，不存在严重的金属摩擦，不容易产生金属屑。
42、导向槽板在跟随导向环运动时，导向槽与滑动组件的相对位置发生改变，从而推动滑动组件位移，这个过程顺畅容易操控，并且金属之间摩擦程度低不容易卡住。
43、由于滑动组件的位移是被导向槽板的导向槽带动，而导向槽板的动力来源于导向环的圆周转动，这个动力使得滑动组件在位移时，力的方向不完全指向导向环圆心，侧部也受到一部分力。当滑动组件被推动位移时，限位部在限位槽的空间内进行移动，在靠近导向环圆心的方向进行位移时，限位部逐渐接近纠正体并挤压纠正体，纠正体发生弹性变形，并被挤入到回位槽中，使得限位部的两边受力而被维持在中间进行移动，行进轨迹不会太偏向边侧，从而减少滑块与导向座之间的挤压磨损作用，避免产生金属碎屑，污染原料。
44、纠正体的外侧设置为圆弧型能够便于让限位部与纠正体的配合过程渐进过度，挤压过程更顺滑。
45、导向槽为斜向设置能够便于推动滑块的位移。
46、通过设置后盖锁紧装置，让后盖在旋阀腔体上能够可以便捷拆卸，在旋阀阀芯内部零件更换维修时，能够通过打开后盖锁紧装置取下后盖进行维修操作。
技术特征：
1.一种单晶炉旋阀，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉旋阀，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉旋阀，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉旋阀，其特征在于：
5.根据权利要求2所述的一种单晶炉旋阀，其特征在于：
6.根据权利要求3所述的一种单晶炉旋阀，其特征在于：
7.根据权利要求1所述的一种单晶炉旋阀，其特征在于：
8.根据权利要求1所述的一种单晶炉旋阀，其特征在于：
9.根据权利要求8所述的一种单晶炉旋阀，其特征在于：
技术总结
本发明为一种单晶炉旋阀，包括：腔体，腔体设有锁紧驱动部、导向机构、锁紧机构；锁紧驱动部与导向机构传动连接，导向机构与锁紧机构传动配合；导向机构包括导向环、导向座、导向槽板；导向座与腔体相连接；锁紧机构贯穿导向座并滑动配合；导向环与锁紧驱动部的输出端适配连接，且与腔体转动配合；导向槽板设于导向环，并且与锁紧机构进行配合，当导向环被锁紧驱动部驱使转动时，导向槽板同步运动，从而带动锁紧机构在导向座中滑动，滑动方向为靠近或远离导向环的圆心。
技术研发人员：吴雄
受保护的技术使用者：江西捷锐机电设备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23