一种高温线蒸发源装置的制作方法

本技术涉及蒸发源，具体为一种高温线蒸发源装置。

背景技术：

1、oled(organic light–emitting diode，有机发光二极管)显示技术打破了主流液晶显示技术的主导地位，其具有色域广、对比度高、功耗小、产品可折叠等特点，逐步运用于各大显示行业，包括智能手机、平板电脑、智能手表等，具有极佳的发展潜力，而oled核心技术为真空镀膜技术。

2、蒸镀是指将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基片表面析出的过程。蒸镀设备主要以线性蒸发源蒸镀为主，其主要方式是在高真空条件下通过加热丝加热对线性蒸发源内材料进行升温，使有机材料从固态变成气态，气态有机材料通过蒸发源的喷嘴中喷射出去，气态有机材料遇到坩埚上方的常温基板后，遇冷凝华在玻璃基板表面，完成蒸镀加工；

3、相关技术中，经检索发现出一种线性蒸发源(公告号为：cn206289295u)的方案，使用时，线性蒸发源在混合板中心位置开设有通道，蒸镀气体通过该通道达到平衡蒸发源不同位置因加热不均导致的蒸镀气体的温度差的效果，使混合腔内的有机蒸汽温度保持一致，然后通过上部的分流板来分流混合后的有机蒸汽，使有机蒸汽从喷嘴吐出后，沉积的有机薄膜更均匀，提升蒸镀均匀性。

4、然而，上述中蒸镀气体从通道的内部向上流动，从而让蒸镀气体对工件进行加工，但是上述中的通道尺寸为固定设置的，如需要对通道内部流通的气体进行控制时，上述无法控制气体的流通，不能对蒸镀气体进行有效控制，可能导致过量的蒸镀气体进行消耗，增加成本，使用不便。鉴于此，我们推出一种高温线蒸发源装置。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种高温线蒸发源装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高温线蒸发源装置，包括：坩埚、连接管和混合板；

3、所述坩埚的内部开设有放置腔，放置腔与坩埚之间为一体成型设置，所述坩埚的顶部开设有坩埚出气口，坩埚出气口便于让蒸镀气体流出；

4、所述连接管的内部开设有引入通道，引入通道与连接管之间为一体成型设置，所述连接管的顶部连接有蒸发框，所述蒸发框的底部开设有进气口；

5、所述混合板设置在蒸发框的内部，混合板为v形,所述混合板的表面等间距开设有通孔，通孔与混合板之间为一体成型设置；

6、所述连接管的内部一侧开设有定位腔，定位腔与连接管之间为一体成型设置，所述定位腔的内部设置有调节机构，通过所述调节机构的螺纹杆带动调节块和t型杆移动，以使调节块调节引入通道内部气流的大小。

7、优选的，所述调节机构包括定位腔内部连接的竖板，竖板固定连接在定位腔的内部，所述调节块滑接在定位腔与引入通道的内部，所述螺纹杆的一侧连接在调节块的一侧，所述螺纹杆贯穿竖板和连接管后连接有转盘，转盘与螺纹杆之间为固定连接，并且转盘可以带动螺纹杆在调节块的一侧进行转动，所述t型杆的一端贯穿竖板后连接在调节块的一侧，t型杆与调节块之间为固定连接，所述t型杆的表面套设有位于竖板与调节块之间的弹簧，在t型杆和调节块移动下，竖板会对t型杆表面的弹簧造成挤压，让弹簧压缩。

8、优选的，所述连接管的侧边开设有用于贯穿t型杆的空槽，空槽与连接管之间为一体成型设置，并且空槽的设置可以让t型杆穿出。

9、优选的，所述蒸发框的顶部等间距连接有喷嘴，且喷嘴与通孔对应设置，喷嘴与蒸发框连通。

10、优选的，所述螺纹杆与连接管之间连接有密封垫，密封垫的设置，可以对蒸镀气体进行密封，避免让蒸镀气体流出。

11、优选的，所述螺纹杆的一端连接有轴承，该轴承嵌入至调节块的表面，螺纹杆在轴承的内部转动时更加流畅。

12、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

13、(1)、通过转盘带动螺纹杆转动，由于螺纹杆与连接管的连接处处于啮合的状态，便于让螺纹杆带动调节块在连接管的内部进行移动，以使调节块移动至定位腔的内部，从而让调节块对引入通道的大小进行调节，可以控制引入通道内部的蒸镀气体流动增大，而调节块逐渐脱离定位腔的内部，可以控制引入通道内部的蒸镀气体流动减小，使用更加方便；

14、(2)、通过坩埚对固态有机材料进行加热，使有机材料从固态变成气态，有机气体从坩埚出气口的内部流向连接管内部的引入通道中，接着有机气体便会接着向上流动，通过蒸发框底部的进气口，进入至蒸发框的内部，由于混合板的阻挡作用，蒸镀气体会沿着“v”形混合板的下翼中间位置向两侧扩散，在蒸发框的内部即混合板的底部，进一步混合并迅速达到压力平衡，然后蒸镀气体透过混合板上的通孔进入蒸发框的内部且位于混合板的顶部，在蒸发框的内部，即混合板的顶部，进行二次气压平衡调整后，通过蒸发框顶部的多个喷嘴喷射出去，以达到均匀蒸镀的目的。

技术特征：

1.一种高温线蒸发源装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种高温线蒸发源装置，其特征在于，所述调节机构包括定位腔(14)内部连接的竖板(15)，所述调节块(6)滑接在定位腔(14)与引入通道(5)的内部，所述螺纹杆(16)的一侧连接在调节块(6)的一侧，所述螺纹杆(16)贯穿竖板(15)和连接管(4)后连接有转盘(13)，所述t型杆(12)的一端贯穿竖板(15)后连接在调节块(6)的一侧，所述t型杆(12)的表面套设有位于竖板(15)与调节块(6)之间的弹簧(17)。

3.根据权利要求1所述的一种高温线蒸发源装置，其特征在于，所述连接管(4)的侧边开设有用于贯穿t型杆(12)的空槽(19)。

4.根据权利要求1所述的一种高温线蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发框(8)的顶部等间距连接有喷嘴(11)，且喷嘴(11)与通孔(10)对应设置。

5.根据权利要求2所述的一种高温线蒸发源装置，其特征在于，所述螺纹杆(16)与连接管(4)之间连接有密封垫(18)。

6.根据权利要求2所述的一种高温线蒸发源装置，其特征在于，所述螺纹杆(16)的一端连接有轴承，该轴承嵌入至调节块(6)的表面。

技术总结
本技术公开了一种高温线蒸发源装置，包括坩埚、连接管和混合板；坩埚的内部开设有放置腔，坩埚的顶部开设有坩埚出气口；连接管的内部开设有引入通道，连接管的顶部连接有蒸发框，蒸发框的底部开设有进气口；本技术通过调节块对引入通道的大小进行调节，可以控制引入通道内部的蒸镀气体流动增大，而调节块逐渐脱离定位腔的内部，可以控制引入通道内部的蒸镀气体流动减小；通过混合板的阻挡作用，蒸镀气体会沿着“V”形混合板的下翼中间位置向两侧扩散，进一步混合并迅速达到压力平衡，然后蒸镀气体透过混合板上的通孔进入蒸发框的内部且位于混合板的顶部，进行二次气压平衡调整后，以达到均匀蒸镀的目的。

技术研发人员：李星,张正才,陈景升
受保护的技术使用者：安徽微迈思科技有限公司
技术研发日：20240226
技术公布日：2024/9/23