一种溅射靶材喷砂终止线的车削方法与流程
本发明属于溅射靶材，涉及一种车削方法，尤其涉及一种溅射靶材喷砂终止线的车削方法。
背景技术：
1、在溅射靶材的机械加工过程中，完成加工后需要对产品上的特定区域进行喷砂处理。为了确保喷砂处理仅限于特定区域范围内，避免对其他区域造成不必要的损害，必须采取相应的防护措施。为此，技术人员采用了一种特殊的工艺步骤——使用电工胶带来界定喷砂的范围，这种用来确定特定区域的喷砂两侧界限称为喷砂终止线。
2、然而，现有的靶材喷砂终止线加工技术存在以下不足之处：(1)在车削加工靶材后，必须在台阶面和溅射面的外圆部分贴上电工胶带，并在胶带上进一步车削出两条界定喷砂区域的终止线，以明确喷砂的边界，作业效率低下；(2)为了完成上述过程，需要执行两段不同的程序，分别对胶带进行车削，从而增加了操作的复杂性和时间成本；(3)操作人员需要手动调整刀具至喷砂终止点，并进行两侧终止线的精确车削，这一手动过程容易出错，如误读图纸或手摇操作不当，可能导致喷砂线位置不正确，刀具损坏产品，进而造成产品报废。上述问题不仅影响了产品质量，还会导致喷砂区域不符合客户预期，从而引起客户不满和投诉。
3、由此可见，如何改进现有的工艺流程，省去贴胶带的步骤，提高作业效率，同时避免手动操作出错所带来的产品质量问题，提升客户满意度和产品的市场竞争力，成为了目前本领域技术人员迫切需要解决的问题。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种溅射靶材喷砂终止线的车削方法，所述车削方法省去了贴胶带的步骤，提高了作业效率，同时避免了手动操作出错所带来的产品质量问题，提升了客户满意度和产品的市场竞争力，有利于大规模推广应用。
2、为达到此发明目的，本发明采用以下技术方案：
3、本发明提供了一种溅射靶材喷砂终止线的车削方法，所述车削方法包括：在靶材车削环节，同步车削出溅射靶材的喷砂区域，并控制所述喷砂区域高于靶材基面轮廓0.01-0.1mm，例如可以是0.01mm、0.02mm、0.03mm、0.04mm、0.05mm、0.06mm、0.07mm、0.08mm、0.09mm或0.1mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
4、本发明通过在靶材车削环节同步车削出溅射靶材的喷砂区域，从而省去了贴胶带的步骤，将喷砂终止线的车削与精车程序融为一体，显著提高了作业效率，同时避免了手动操作出错所带来的产品质量问题，提升了客户满意度和产品的市场竞争力，有利于大规模推广应用。
5、优选地，所述靶材车削环节之前，将喷砂区域的车削条件编入车削程序中，实现了编程自动化控制，减少了人工干预所带来的操作误差。
6、优选地，所述喷砂区域位于靶材侧面和背板的连接处。
7、优选地，控制所述喷砂区域高于靶材基面轮廓0.01-0.05mm，例如可以是0.01mm、0.015mm、0.02mm、0.025mm、0.03mm、0.035mm、0.04mm、0.045mm或0.05mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
8、优选地，所述靶材车削环节采用的刀具材质包括硬质合金、陶瓷、立方氮化硼或金刚石中的任意一种。
9、优选地，所述靶材车削环节的车削速度为100-300m/min，例如可以是100m/min、120m/min、140m/min、160m/min、180m/min、200m/min、220m/min、240m/min、260m/min、280m/min或300m/min，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
10、优选地，所述靶材车削环节的进给量为0.01-0.05mm/r，例如可以是0.01mm/r、0.015mm/r、0.02mm/r、0.025mm/r、0.03mm/r、0.035mm/r、0.04mm/r、0.045mm/r或0.05mm/r，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
11、优选地，所述靶材车削环节伴随着冷却处理。
12、优选地，所述冷却处理采用水基冷却液或油基冷却液。
13、优选地，所述靶材车削环节伴随着实时监控。
14、优选地，所述实时监控采用传感器实时采集车削厚度并进行即时反馈，以便在发现偏差时立即进行调整，从而确保加工精度。
15、优选地，所述靶材车削环节之后，对溅射靶材和喷砂区域进行质量检测，确认喷砂区域和终止线的尺寸精度，确保产品符合质量标准。
16、作为本发明优选的技术方案，所述车削方法包括：将喷砂区域的车削条件编入车削程序中，启动靶材车削环节，在靶材侧面和背板的连接处同步车削出溅射靶材的喷砂区域，并控制所述喷砂区域高于靶材基面轮廓0.01-0.05mm，之后对溅射靶材和喷砂区域进行质量检测；所述靶材车削环节采用的刀具材质包括硬质合金、陶瓷、立方氮化硼或金刚石中的任意一种，车削速度为100-300m/min，进给量为0.01-0.05mm/r，同时采用水基冷却液或油基冷却液进行冷却处理；所述靶材车削环节伴随着实时监控，具体为：采用传感器实时采集车削厚度并进行即时反馈。
17、本发明所述的数值范围不仅包括上述例举的点值，还包括没有例举出的上述数值范围之间的任意的点值，限于篇幅及出于简明的考虑，本发明不再穷尽列举所述范围包括的具体点值。
18、相对于现有技术，本发明具有以下有益效果：
19、本发明通过在靶材车削环节同步车削出溅射靶材的喷砂区域，从而省去了贴胶带的步骤，将喷砂终止线的车削与精车程序融为一体，显著提高了作业效率，同时避免了手动操作出错所带来的产品质量问题，提升了客户满意度和产品的市场竞争力，有利于大规模推广应用。
技术特征：
1.一种溅射靶材喷砂终止线的车削方法，其特征在于，所述车削方法包括：在靶材车削环节，同步车削出溅射靶材的喷砂区域，并控制所述喷砂区域高于靶材基面轮廓0.01-0.1mm。
2.根据权利要求1所述的车削方法，其特征在于，所述靶材车削环节之前，将喷砂区域的车削条件编入车削程序中。
3.根据权利要求1或2所述的车削方法，其特征在于，所述喷砂区域位于靶材侧面和背板的连接处。
4.根据权利要求1-3任一项所述的车削方法，其特征在于，控制所述喷砂区域高于靶材基面轮廓0.01-0.05mm。
5.根据权利要求1-4任一项所述的车削方法，其特征在于，所述靶材车削环节采用的刀具材质包括硬质合金、陶瓷、立方氮化硼或金刚石中的任意一种。
6.根据权利要求1-5任一项所述的车削方法，其特征在于，所述靶材车削环节的车削速度为100-300m/min；
7.根据权利要求1-6任一项所述的车削方法，其特征在于，所述靶材车削环节伴随着冷却处理；
8.根据权利要求1-7任一项所述的车削方法，其特征在于，所述靶材车削环节伴随着实时监控；
9.根据权利要求1-8任一项所述的车削方法，其特征在于，所述靶材车削环节之后，对溅射靶材和喷砂区域进行质量检测。
10.根据权利要求1-9任一项所述的车削方法，其特征在于，所述车削方法包括：将喷砂区域的车削条件编入车削程序中，启动靶材车削环节，在靶材侧面和背板的连接处同步车削出溅射靶材的喷砂区域，并控制所述喷砂区域高于靶材基面轮廓0.01-0.05mm，之后对溅射靶材和喷砂区域进行质量检测；所述靶材车削环节采用的刀具材质包括硬质合金、陶瓷、立方氮化硼或金刚石中的任意一种，车削速度为100-300m/min，进给量为0.01-0.05mm/r，同时采用水基冷却液或油基冷却液进行冷却处理；所述靶材车削环节伴随着实时监控，具体为：采用传感器实时采集车削厚度并进行即时反馈。
技术总结
本发明提供一种溅射靶材喷砂终止线的车削方法，所述车削方法包括：在靶材车削环节，同步车削出溅射靶材的喷砂区域，并控制所述喷砂区域高于靶材基面轮廓0.01‑0.1mm。本发明提供的车削方法省去了贴胶带的步骤，提高了作业效率，同时避免了手动操作出错所带来的产品质量问题，提升了客户满意度和产品的市场竞争力，有利于大规模推广应用。
技术研发人员：姚力军,边逸军,沈铁城,徐礼升
受保护的技术使用者：宁波江丰电子材料股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23