抛光垫粘贴用载体及粘贴方法与流程

本发明属于晶片抛光，具体而言，涉及一种抛光垫粘贴用载体及粘贴方法。

背景技术：

1、目前，抛光设备一般包括抛头和抛光盘，抛头上承载待抛光的抛片，抛光盘上布置有抛光垫。抛光垫一般包括通过粘接剂与抛光盘粘接，然而抛光垫在布置到抛光盘时，抛光垫的各个部分由内圈向外圈依次下落以接触粘接剂进行粘接，而各部分先后粘接难免导致其表面形成褶皱，从而使得抛光盘与抛光垫之间产生气泡凸起，最终导致晶片与抛光垫接触不平，降低晶片的抛光质量。

2、基于上述内容，本技术要解决的技术问题是：如何防止抛光垫粘接时产生气泡凸起。

技术实现思路

1、本发明的目的是针对现有技术中存在的上述问题，提出了一种抛光垫粘贴用载体及粘贴方法，解决了现有技术抛光垫粘接时容易产生气泡凸起的问题。本技术方案的技术效果是：降低抛光垫粘接时产生气泡凸起的概率。

2、本发明的目的可通过下列技术方案来实现：一种抛光垫粘贴用载体包括：支撑座；固定组件，所述固定组件包括固定件，所述固定件用于连接抛光垫的边缘部，所述固定件设置于所述支撑座上，且所述固定件具有移动自由度以移动拉伸抛光垫；以及流体供给组件，所述流体供给组件包括：储液件，所述储液件设置于支撑座内，所述储液件用于储液；喷管，所述喷管设置于所述支撑座内且与所述储液件通过阀门连接；喷孔，所述喷孔设置于所述支撑座上且与所述喷管连通，用于供液体喷出至抛光垫。

3、可以理解的是，支撑座用于供抛光垫铺设，通过设置固定组件以固定抛光垫，特别是利用固定件来固定抛光垫的边缘部，需要注意的是，普通的抛光垫为正圆形，普通的抛光垫边缘部即呈圆弧形，而本技术所指的抛光垫具有凸于其外圆的边缘部，例如凸条或凸块，以便于与固定件固定连接。当固定件与边缘部固定后，可朝着背离抛光垫的一侧移动，以使得抛光垫稳固于支撑座上。可以理解的是，当抛光垫固定于支撑座后，可将支撑座翻转，而后使得支撑座上的抛光垫对准抛光盘，将载有抛光垫的支撑座慢慢降至抛光盘，使得抛光垫与抛光盘相抵。利用支撑座上的流体供给组件向抛光垫喷射液体，抛光垫受液体冲击而紧贴于抛光盘上，从而防止抛光垫与抛光盘之间产生间隙，即降低了二者之间的气泡凸起生成率。喷管和喷孔配置为多个且分布于支撑座上。

4、在上述的抛光垫粘贴用载体中，所述支撑座具有承载面，所述承载面用于承载抛光垫，所述承载面以自身中心点由内向外设置有多个喷液区，所述喷液区设有多个所述喷孔。可以理解的是，各个喷液区及喷孔可以独立操控，在一些实施方式中，越靠近承载面中心点的喷液区可以更早开启喷液，从而使得抛光垫与抛光盘之间的空气受液体冲击而流动。

5、在上述的抛光垫粘贴用载体中，所述喷孔相对于所述支撑座的轴线倾斜设置，且所述喷孔朝向所述承载面的外周。可以理解的是，通过将喷孔配置为与支撑座的轴线呈倾斜设置，可以使得从喷孔流出的液体具有斜向的扩散趋势，特别是朝向承载面的外周扩散，即与抛光垫的粘接顺序相匹配，逐渐由内向外冲击。

6、在上述的抛光垫粘贴用载体中，多个所述喷孔在所述承载面上呈螺旋分布。可以理解的是，通过将喷孔布置成呈螺旋状分布，以便于液体喷射的轨迹形状也呈现螺旋状，液体由抛光垫内圈向抛光垫外圈扩散的均匀性更高。在一些实施方式中，喷孔的形状可以呈倒钩状且设置有导向部，利用导向部对液体导向，从而形成螺旋形的扩散轨迹。

7、在上述的抛光垫粘贴用载体中，所述流体供给组件还包括储气件，所述储气件与所述喷管通过阀门连接。可以理解的是，储气件用于供应气体，气体优选为干燥且高于常温的气体，从而通过喷孔吹扫抛光垫表面以进行干燥，防止后续抛光垫上添加的抛光液受到影响，同时可以利用气体对抛光垫进行二次冲击，以再次降低抛光垫与抛光盘之间的气泡凸起生成率。当储液件与喷管之间的阀门开通时，储气件与喷管之间的阀门闭合，仅供液体从喷孔喷出，当储气件与喷管之间的阀门开通时，储液件与喷管之间的阀门闭合，仅供气体从喷孔喷出。

8、在上述的抛光垫粘贴用载体中，还包括温控组件，温控组件包括加热单元和制冷单元，加热单元和制冷单元分别作用于不同的喷孔以调控温度。需要注意的是，抛光垫上的喷液区包括第一控温圈、第二控温圈以及第三控温圈，第一控温圈下方具有加热单元，加热单元作用于第一控温圈的喷孔，第二控温圈下方具有加热单元和制冷单元，当第一控温圈的加热单元工作时，第二控温圈启动制冷单元，使得第一控温圈和第二控温圈之间形成温度差，从而抛光垫与抛光盘中的空气可由高温区域向低温区域扩散，即向靠近抛光垫外周方向扩散；第三控温圈下方具有制冷单元，当抛光垫即将抵接于第三控温圈时，第一控温圈的加热单元停止加热，第二控温圈的加热单元启动，同时启动第三控温圈的制冷单元，使得第二控温圈和第三控温圈之间形成温度差，同理，使得抛光垫与抛光盘中的空气由高温区域向低温区域扩散，直至完全脱离抛光盘。可以理解的是，通过设置加热单元以提高第一控温圈内的喷孔的温度，从而间接提高液体温度，抛光垫与抛光盘中的空气受到高温液体冲击，以此在第一控温圈受热，向第二控温圈处扩散会更快和更容易。类似的，通过设置制冷单元以降低第二控温圈内的喷孔的温度，从而间接降低液体温度，便于第一控温圈的空气向第二控温圈扩散。简言之，利用加热单元和制冷单元分别调控抛光盘上不同喷孔的温度，使得各个圈层喷出不同温度的液体，进而形成温度差，以加快抛光垫与抛光盘之间的气体扩散运动，避免气体残留，进一步降低气泡凸起生成率。

9、在上述的抛光垫粘贴用载体中，所述固定件为夹持件，所述夹持件用于夹持固定所述抛光垫，或，所述固定件为真空吸附件，所述固定件用于真空吸附固定所述抛光垫。可以理解的是，夹持件包括两个夹持部，夹持部可以相对靠近运动以实现对抛光垫的夹持。真空吸附件可以通过真空吸附抛光垫以实现对抛光垫的吸附固定。两种实施方式都便于固定件与抛光垫快速脱离，从而保证抛光垫与抛光盘的贴合效率不受影响。

10、在上述的抛光垫粘贴用载体中，还包括ccd相机，所述ccd相机设置于所述支撑座一侧，且所述ccd相机作用于所述支撑座的侧面以获取所述抛光垫的姿态，所述ccd相机具有移动自由度。需要注意的是，在一些实施方式中，ccd相机与固定件通信连接，当ccd相机获取到抛光垫的姿态信息后，经分析处理，可向固定件发生信息，以控制固定件移动拉伸抛光垫至合适位置，保证抛光垫的最低点/最高点在设定的位置，抛光垫与支撑座之间的间隙被配置为适合于液体向外扩散的间隙。

11、一种抛光垫粘贴方法，应用所述的抛光垫粘贴用载体至抛光盘，包括以下步骤：

12、于支撑座上固定抛光垫；

13、翻转支撑座以使抛光垫正对抛光盘；

14、获取支撑座上的抛光垫姿态；

15、基于所述抛光垫姿态，支撑座向抛光盘进给使得抛光垫至少部分与抛光盘抵接，然后执行喷管的供给策略。可以理解的是，先通过支撑座侧面的固定件拉伸抛光垫外周的部分以进行固定，待固定完成后，翻转支撑座将抛光垫正对抛光盘，然后通过ccd相机拍摄获取抛光垫的姿态，基于抛光垫的姿态，进给支撑座，抛光垫的最低点与抛光盘相抵，喷管供给液体以冲击抛光垫，将抛光垫逐渐与抛光盘相抵贴合，喷管供给液体的同时，控制支撑座继续向抛光盘缓慢进给，以实现逐步抛光垫与抛光盘的逐步贴合。

16、在上述的抛光垫粘贴方法，获取支撑座上的抛光垫姿态后，固定件移动拉伸抛光垫以调整抛光垫与支撑座的间隙。可以理解的是，通过实时调整二者间隙，可以保证液体扩散更加顺畅，减少阻碍以降低抛光垫与抛光盘之间气泡凸起的生成率。

17、在上述的抛光垫粘贴方法，所述执行喷管的供给策略包括：调整喷管的供给流量、供给频率以及供给范围中的一种或多种。可以理解的是，通过调整喷管的供给流量、频率或范围，可以适应不同的粘接工况。

18、与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

19、1、本技术利用支撑座上的流体供给组件向抛光垫喷射液体，抛光垫受液体冲击而紧贴于抛光盘上，从而防止抛光垫与抛光盘之间产生间隙，即降低了二者之间的气泡凸起生成率；

20、2、本技术通过将喷孔配置为与支撑座的轴线呈倾斜设置，可以使得从喷孔流出的液体具有斜向的扩散趋势，特别是朝向承载面的外周扩散，即与抛光垫的粘接顺序相匹配，逐渐由内向外冲击；

21、3、本技术通过将喷孔布置成呈螺旋状分布，以便于液体喷射的轨迹形状也呈现螺旋状，液体由抛光垫内圈向抛光垫外圈扩散的均匀性更高；

22、4、本技术通过设置储气件配合喷孔吹扫抛光垫表面以进行干燥，防止后续抛光垫上添加的抛光液受到影响，同时可以利用气体对抛光垫进行二次冲击，以再次降低抛光垫与抛光盘之间的气泡凸起生成率；

23、5、本技术通过设置加热单元和制冷单元以分别调控抛光盘上不同喷孔的温度，使得各个圈层喷出不同温度的液体，进而形成温度差，以加快抛光垫与抛光盘之间的气体扩散运动，避免气体残留，进一步降低气泡凸起生成率；

24、6、本技术通过设置ccd相机获取抛光垫的姿态，从而控制固定件移动拉伸抛光垫至合适位置，保证抛光垫的最低点/最高点在设定的位置，抛光垫与支撑座之间的间隙被配置为适合于液体向外扩散的间隙。

技术特征：

1.一种抛光垫粘贴用载体，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的抛光垫粘贴用载体，其特征在于，所述支撑座(100)具有承载面(110)，所述承载面(110)用于承载抛光垫(m)，所述承载面(110)以自身中心点由内向外设置有多个喷液区(111)，所述喷液区(111)设有多个所述喷孔(330)。

3.根据权利要求2所述的抛光垫粘贴用载体，其特征在于，所述喷孔(330)相对于所述支撑座(100)的轴线倾斜设置，且所述喷孔(330)朝向所述承载面(110)的外周。

4.根据权利要求2所述的抛光垫粘贴用载体，其特征在于，多个所述喷孔(330)在所述承载面(110)上呈螺旋分布。

5.根据权利要求1所述的抛光垫粘贴用载体，其特征在于，所述流体供给组件(300)还包括储气件(340)，所述储气件(340)与所述喷管(320)通过阀门(301)连接。

6.根据权利要求1所述的抛光垫粘贴用载体，其特征在于，还包括温控组件(400)，所述温控组件(400)包括加热单元(410)和制冷单元(420)，所述加热单元(410)和所述制冷单元(420)分别作用于所述喷孔(330)以调控温度。

7.根据权利要求1所述的抛光垫粘贴用载体，其特征在于，所述固定件(210)为夹持件，所述夹持件用于夹持固定所述抛光垫(m)，或，所述固定件(210)为真空吸附件，所述固定件(210)用于真空吸附固定所述抛光垫(m)。

8.根据权利要求1所述的抛光垫粘贴用载体，其特征在于，还包括ccd相机(500)，所述ccd相机(500)设置于所述支撑座(100)一侧，且所述ccd相机(500)作用于所述支撑座(100)的侧面以获取所述抛光垫(m)的姿态，所述ccd相机(500)具有移动自由度。

9.一种抛光垫粘贴方法，应用权利要求1-8任意一项所述的抛光垫粘贴用载体至抛光盘(p)，其特征在于，包括以下步骤：

10.根据权利要求9所述的抛光垫粘贴方法，其特征在于，所述执行喷管(320)的供给策略包括：调整喷管(320)的供给流量、供给频率以及供给范围中的一种或多种。

技术总结
本发明提供了一种抛光垫粘贴用载体及粘贴方法，属于晶片抛光技术领域，解决了现有技术抛光垫粘接时容易产生气泡凸起的问题。本发明包括支撑座；固定组件，固定组件包括固定件，固定件用于连接抛光垫的边缘部，固定件设置于支撑座上，且固定件具有移动自由度以移动拉伸抛光垫；以及流体供给组件，流体供给组件包括：储液件，储液件设置于支撑座内，储液件用于储液；喷管设置于支撑座内且与储液件通过阀门连接；喷孔设置于支撑座上且与喷管连通，用于供液体喷出至抛光垫。本发明利用支撑座上的流体供给组件向抛光垫喷射液体，抛光垫受液体冲击而紧贴于抛光盘上，从而防止抛光垫与抛光盘之间产生间隙，即降低了二者之间的气泡凸起生成率。

技术研发人员：朱亮,李阳健,郑猛,黄金涛,韩鹏飞
受保护的技术使用者：浙江求是半导体设备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23