一种集成电路用电子级五氯乙硅烷生产系统的制作方法

本发明涉及五氯乙硅烷制备领域，尤其涉及一种集成电路用电子级五氯乙硅烷生产系统。

背景技术：

1、五氯乙硅烷作为制备有机硅化合物的重要原料，是集成电路关键工艺必不可少的前驱体材料，这种化合物不仅能够作为硅源参与多种化学反应，而且还是制备高纯度硅材料的关键前驱体材料，在先进半导体存储器和逻辑芯片制造中被广泛应用。

2、目前，对于制造五氯乙硅烷的方法鲜少公开，八嶋裕之等人在申请号为：cn201580051998.0、名称为：五氯乙硅烷的制造方法以及采用该方法制造的五氯乙硅烷的专利中公开了利用气化后的四氯化硅和氢气等原料在高温下反应来制备五氯乙硅烷的方法，但是，其制备的五氯乙硅烷纯度较低，只能达到90%，纯度有限，而制备高端集成电路所需的五氯乙硅烷的纯度需要达到99.9%以上，因此，其纯度有限无法满足高端集成电路所需材料的纯度要求。

技术实现思路

1、为了解决上述问题，本发明的目的在于提供一种集成电路用电子级五氯乙硅烷生产系统。

2、本发明由如下技术方案实施：

3、一种集成电路用电子级五氯乙硅烷生产系统，其包括二氯二氢硅储罐、甲醇储罐、氯化氢储罐、反应釜、冷凝装置、分离塔、提纯塔以及产品储罐；

4、所述二氯二氢硅储罐与所述反应釜上部的进料口连通，所述甲醇储罐与所述反应釜中部的进料口连通，所述氯化氢储罐与所述反应釜底部的进气口连通，所述反应釜顶部的气相出口通过管线与所述冷凝装置的进口连通，所述冷凝装置的冷凝液出口通过管线与所述分离塔的进料口连通，所述分离塔底部的塔釜液出口通过管线与所述提纯塔的进料口连通，所述提纯塔底部的塔釜液出口通过管线与产品储罐的进口连通。

5、进一步的，其还包括分离塔塔顶冷凝器和提纯塔塔顶冷凝器；

6、所述分离塔顶部的气相出口通过管线与所述分离塔塔顶冷凝器的进口连通，所述分离塔塔顶冷凝器的冷凝液出口通过管线与所述分离塔顶部的进液口连通；

7、所述提纯塔顶部的气相出口通过管线与所述提纯塔塔顶冷凝器的进气口连通，所述提纯塔塔顶冷凝器的冷凝液出口通过管线与所述提纯塔顶部的进液口连通。

8、进一步的，其还包括分离塔塔釜再沸器和提纯塔塔釜再沸器；

9、所述分离塔的底部的塔釜液出口通过管线与所述分离塔塔釜再沸器的进口连通，所述分离塔塔釜再沸器的出口通过管线与所述分离塔中部的进液口连通；

10、所述提纯塔的底部的塔釜液出口通过管线与所述提纯塔塔釜再沸器的进口连通，所述提纯塔塔釜再沸器的出口通过管线与所述提纯塔中部的进液口连通。

11、进一步的，所述冷凝装置、所述分离塔塔顶冷凝器以及所述提纯塔塔顶冷凝器的不凝气出口均通过管线与末级冷凝器的进口连通，所述末级冷凝器的冷凝液出口通过管线与氯硅烷储罐的进口连通。

12、进一步的，所述分离塔塔顶冷凝器的冷凝液出口和所述提纯塔塔顶冷凝器的冷凝液出口分别通过管线与所述氯硅烷储罐的进口连通。

13、进一步的，所述冷凝装置包括空气冷却器、循环水冷却器以及水冷却器；

14、所述反应釜顶部的气相出口通过管线与所述空气冷却器的进口连通，所述空气冷却器的出口通过管线与所述循环水冷却器的进口连通，所述循环水冷却器的出口通过管线与所述水冷却器的进口连通，所述水冷却器的液相出口通过管线与所述分离塔的进料口连通，所述水冷却器的气相出口通过管线与所述末级冷凝器的进口连通。

15、本发明的优点：本发明通过向反应釜内加入二氯二氢硅、甲醇、氯化氢制备五氯乙硅烷，得到的五氯乙硅烷纯度可高达99.99%，达到制备高端集成电路对五氯乙硅烷的要求，可为高端集成电路的发展和应用提供有力保障；可以简化五氯乙硅烷的生产工艺，大大降低五氯乙硅烷生产成本，并能解决目前只能从国外进口的问题。

技术特征：

1.一种集成电路用电子级五氯乙硅烷生产系统，其特征在于，其包括二氯二氢硅储罐、甲醇储罐、氯化氢储罐、反应釜、冷凝装置、分离塔、提纯塔以及产品储罐；

2.根据权利要求1所述的一种集成电路用电子级五氯乙硅烷生产系统，其特征在于，其还包括分离塔塔顶冷凝器和提纯塔塔顶冷凝器；

3.根据权利要求2所述的一种集成电路用电子级五氯乙硅烷生产系统，其特征在于，其还包括分离塔塔釜再沸器和提纯塔塔釜再沸器；

4.根据权利要求2所述的一种集成电路用电子级五氯乙硅烷生产系统，其特征在于，所述冷凝装置、所述分离塔塔顶冷凝器以及所述提纯塔塔顶冷凝器的不凝气出口均通过管线与末级冷凝器的进口连通，所述末级冷凝器的冷凝液出口通过管线与氯硅烷储罐的进口连通。

5.根据权利要求4所述的一种集成电路用电子级五氯乙硅烷生产系统，其特征在于，所述分离塔塔顶冷凝器的冷凝液出口和所述提纯塔塔顶冷凝器的冷凝液出口分别通过管线与所述氯硅烷储罐的进口连通。

6.根据权利要求1-5任一所述的一种集成电路用电子级五氯乙硅烷生产系统，其特征在于，所述冷凝装置包括空气冷却器、循环水冷却器以及水冷却器；

技术总结
本发明公开了一种集成电路用电子级五氯乙硅烷生产系统，包括二氯二氢硅储罐、甲醇储罐、氯化氢储罐、反应釜、冷凝装置、分离塔、提纯塔以及产品储罐；二氯二氢硅储罐与反应釜上部的进料口连通，甲醇储罐与反应釜中部的进料口连通，氯化氢储罐与反应釜底部的进气口连通，反应釜顶部的气相出口通过管线与冷凝装置的进口连通，冷凝装置的冷凝液出口通过管线与分离塔的进料口连通，分离塔底部的塔釜液出口通过管线与提纯塔的进料口连通，提纯塔底部的塔釜液出口通过管线与产品储罐的进口连通。优点：得到的五氯乙硅烷纯度可高达99.99%，达到制备高端集成电路对五氯乙硅烷的要求；可以大大降低五氯乙硅烷生产成本，并能解决目前只能从国外进口的问题。

技术研发人员：王少帅,于跃,魏富增,张泽玉,马英英,杨亮
受保护的技术使用者：内蒙古大全半导体有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23