门阀清洁机构及镀膜设备的制作方法

本技术涉及门阀清洁，尤其涉及一种门阀清洁机构及镀膜设备。

背景技术：

1、在卧式或立式镀膜机上，其腔体与腔体之间常设置有拍板阀，以用来隔离工艺腔与非工艺腔，使工艺腔的压力氛围保持稳定。在实际生产中，腔室内会有碎片(硅片或者玻璃片)产生，这样一来，拍板阀密封面或密封圈会经常粘到碎片，从而导致门阀不能关严，产生漏气，而漏气之后只能打开腔室进行清洁，但打开真空腔室会耗费大量的生产时间，影响生产效率。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种门阀清洁机构及镀膜设备，以解决现有技术中拍板阀密封面或密封圈因沾到碎片而产生漏气的技术问题。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案在于：

3、第一方面，本实用新型提供的门阀清洁机构设置于真空腔室内，并处于门阀下方，包括：清洁毛刷、毛刷支架以及直线驱动组件；

4、所述清洁毛刷设置于所述毛刷支架；

5、所述直线驱动组件与所述毛刷支架传动连接，以驱动所述毛刷支架在所述真空腔室的两相对侧壁之间作直线移动，使所述清洁毛刷扫过所述门阀的密封面。

6、进一步的，所述门阀清洁机构还包括底座；

7、所述底座固定连接于所述真空腔室的两相对侧壁之间；

8、所述毛刷支架与所述底座滑动配合，且滑动路径与所述真空腔室设置所述门阀的侧壁相对。

9、进一步的，所述直线驱动组件包括丝杠、安装座和旋转驱动器；

10、所述安装座与所述底座通过滑动结构滑动配合，且滑动路径与所述真空腔室设置所述门阀的侧壁相对，所述安装座还与所述丝杠螺纹配合，且所述丝杠的延伸方向与所述安装座的滑动方向一致；

11、所述毛刷支架固定连接于所述安装座；

12、所述旋转驱动器的输出端与所述丝杠连接，以带动所述丝杠转动。

13、进一步的，所述丝杠与所述底座转动配合，且转动轴线与所述丝杠的轴线重合。

14、进一步的，所述底座上设有两个间隔分布的轴承，所述丝杠穿设于两所述轴承。

15、进一步的，所述门阀清洁机构还包括碎片刮刀，所述碎片刮刀固定连接于所述安装座。

16、进一步的，所述滑动结构包括导轨和滑动块；

17、所述导轨设置于所述底座，所述滑动块嵌设于所述导轨，并可沿所述导轨的延伸方向滑动。

18、进一步的，所述导轨设有两条，两条所述导轨平行分布；

19、所述滑动块设有两组，两组所述滑动块分设于两条所述导轨。

20、进一步的，所述安装座包括一体成型的固定部和两个支腿部；

21、两个所述支腿部关于所述固定部对称分布，并分别与两组所述滑动块固定连接。

22、第二方面，本实用新型提供的一种镀膜设备包括所述的门阀清洁机构。

23、综合上述技术方案，本实用新型提供的门阀清洁机构所能实现的技术效果在于：

24、在该门阀清洁机构中，直线驱动组件启动，毛刷支架即对应移动，并同步带动清洁毛刷作直线移动，而移动中的清洁毛刷即扫过门阀的密封面，实现对门阀密封面的清洁。由此可以看出，相较于现有技术，采用该门阀清洁机构，可以在不打开腔室的情况下对门阀进行清洁，以将碎片从门阀密封面扫落，使门阀能够关严，节省了门阀清洁时间，保证了生产效率。

25、本实用新型提供的一种镀膜设备的有益效果为：

26、本实用新型提供的镀膜设备包括门阀清洁机构，由此，该镀膜设备所达到的技术优势及效果同样包括上述门阀清洁机构所达到的技术优势及效果，此处不再赘述。

技术特征：

1.一种门阀清洁机构，其特征在于，设置于真空腔室(100)内，并处于门阀(200)下方，包括：清洁毛刷、毛刷支架(300)以及直线驱动组件(400)；

2.根据权利要求1所述的门阀清洁机构，其特征在于，所述门阀清洁机构还包括底座(500)；

3.根据权利要求2所述的门阀清洁机构，其特征在于，所述直线驱动组件(400)包括丝杠(410)、安装座(420)和旋转驱动器；

4.根据权利要求3所述的门阀清洁机构，其特征在于，所述丝杠(410)与所述底座(500)转动配合，且转动轴线与所述丝杠(410)的轴线重合。

5.根据权利要求4所述的门阀清洁机构，其特征在于，所述底座(500)上设有两个间隔分布的轴承(600)，所述丝杠(410)穿设于两所述轴承(600)。

6.根据权利要求3所述的门阀清洁机构，其特征在于，所述门阀清洁机构还包括碎片刮刀(700)，所述碎片刮刀(700)固定连接于所述安装座(420)。

7.根据权利要求3所述的门阀清洁机构，其特征在于，所述滑动结构包括导轨(800)和滑动块(900)；

8.根据权利要求7所述的门阀清洁机构，其特征在于，所述导轨(800)设有两条，两条所述导轨(800)平行分布；

9.根据权利要求8所述的门阀清洁机构，其特征在于，所述安装座(420)包括一体成型的固定部(421)和两个支腿部(422)；

10.一种镀膜设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的门阀清洁机构。

技术总结
本技术涉及门阀清洁技术领域，尤其涉及一种门阀清洁机构及镀膜设备，旨在解决现有技术中拍板阀密封面或密封圈因沾到碎片而产生漏气的技术问题。该门阀清洁机构设置于真空腔室内，并处于门阀下方，包括：清洁毛刷、毛刷支架以及直线驱动组件；清洁毛刷设置于毛刷支架；直线驱动组件与毛刷支架传动连接，以驱动毛刷支架在真空腔室的两相对侧壁之间作直线移动，使清洁毛刷扫过门阀的密封面。该镀膜设备包括门阀清洁机构。采用该门阀清洁机构，可以在不打开腔室的情况下对门阀进行清洁，以将碎片从门阀密封面扫落，使门阀能够关严，节省了门阀清洁时间，保证了生产效率。

技术研发人员：朱德盼,凡伟伟,王星辰,宋想想,曹俊峰,杨光文,郑旭东
受保护的技术使用者：苏州迈为科技股份有限公司
技术研发日：20231214
技术公布日：2024/9/23