卷绕式镀膜系统的制作方法
本技术涉及真空镀膜，尤其涉及一种卷绕式镀膜系统。
背景技术：
1、薄膜类电器(如薄膜电容器)内的金属化薄膜是通过金属经加热汽化、蒸发并沉积在介质薄膜上，经过进一步处理得到的复合材料，该过程通常在真空镀膜系统内进行，相关技术在镀膜过程中，镀膜鼓上施加直流电压，使介质薄膜贴附于镀膜鼓表面，对介质薄膜进行冷却降温，在介质薄膜的镀膜厚度较薄时，过高的直流电压容易击穿介质薄膜，导致薄膜出现漏电流现象，漏电流瞬间引起直流电源输出电压不稳定，影响金属化薄膜的质量。
技术实现思路
1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种卷绕式镀膜系统，能够克服薄膜的漏电流问题，提高镀膜质量。
2、根据本实用新型实施例中的卷绕式镀膜系统，包括：
3、镀膜鼓，供介质薄膜绕设并冷却介质薄膜；
4、镀膜装置，朝向所述镀膜鼓设置，并被配置为向贴附于所述镀膜鼓表面的介质薄膜镀膜；
5、收放机构，用于收放介质薄膜，使介质薄膜沿预设轨迹移动；
6、电子枪，在介质薄膜的移动路径上位于所述镀膜装置的上游，并配置为在介质薄膜表面产生静电荷。
7、根据本实用新型实施例的卷绕式镀膜系统，至少具有如下有益效果：
8、电子枪能够在介质薄膜表面产生静电荷，介质薄膜在移动至镀膜鼓、镀膜装置所在位置前，其表面已产生静电荷，在经过镀膜鼓时，介质薄膜在静电吸附作用下贴附于镀膜鼓的表面，使介质薄膜与镀膜鼓之间具有较高的附着力，增强介质薄膜与镀膜鼓之间的热传递，使介质薄膜具有较佳的冷却效果，并能克服介质薄膜冷却过程中因电场击穿造成的漏电流问题，提高介质薄膜的镀膜效果。
9、根据本实用新型的一些实施例，所述卷绕式镀膜系统还包括离子源前处理模块与离子源后处理模块，在介质薄膜的移动路径上，所述离子源前处理模块位于所述镀膜装置的上游，并配置为利用等离子体激活介质薄膜的表面，所述离子源后处理模块位于所述镀膜装置的下游，并配置为中和介质薄膜表面的电荷。
10、根据本实用新型的一些实施例，所述离子源后处理模块设置有两个，并分别位于介质薄膜相对的两侧。
11、根据本实用新型的一些实施例，所述收放机构包括放卷辊、收卷辊与多个导辊，所述放卷辊缠绕并释放介质薄膜，所述收卷辊用于缠绕并收紧介质薄膜，定义所述镀膜鼓距离所述镀膜装置最近的点为最低点，至少其中两个所述导辊分别位于所述镀膜鼓径向的两侧，并且至少其中一个所述导辊与所述镀膜鼓最低点之间的距离大于所述镀膜鼓的半径。
12、根据本实用新型的一些实施例，所述收放机构包括多个导辊，所述导辊用于绕设介质薄膜，在介质薄膜的移动路径上，所述离子源前处理模块的上游与下游至少分别设置有一个所述导辊，所述离子源后处理模块的上游与下游至少分别设置有一个所述导辊，所述导辊用于展平介质薄膜。
13、根据本实用新型的一些实施例，所述镀膜装置包括沿介质薄膜的移动路径排布的第一蒸发源、第二蒸发源与第三蒸发源，所述第一蒸发源与所述第三蒸发源配置为向介质薄膜镀制同种镀层，所述第一蒸发源与所述第二蒸发源配置为向介质薄膜镀制不同类型的镀层。
14、根据本实用新型的一些实施例，所述卷绕式镀膜系统还包括厚度检测模块，在介质薄膜的移动路径上，所述厚度检测模块位于所述镀膜装置的下游，所述厚度检测模块配置为检测介质薄膜的镀层厚度。
15、根据本实用新型的一些实施例，所述卷绕式镀膜系统还包括安全膜印刷模块，所述安全膜印刷模块配置为向介质薄膜表面生成安全膜，在介质薄膜的移动路径上，所述安全膜印刷模块位于所述镀膜装置的上游以及所述离子源前处理模块的下游。
16、根据本实用新型的一些实施例，所述卷绕式镀膜系统还包括保护油模块，所述保护油模块配置为向介质薄膜蒸发油层，在介质薄膜的移动路径上，所述保护油模块位于所述镀膜装置的下游以及所述离子源后处理模块的上游。
17、根据本实用新型的一些实施例，所述卷绕式镀膜系统还包括油屏蔽模块，所述油屏蔽模块配置为在介质薄膜的预设区域形成屏蔽层，在介质薄膜的移动路径上，所述油屏蔽模块位于所述镀膜装置的上游以及所述离子源前处理模块的下游。
18、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
技术特征：
1.卷绕式镀膜系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的卷绕式镀膜系统，其特征在于，所述卷绕式镀膜系统还包括离子源前处理模块与离子源后处理模块，在介质薄膜的移动路径上，所述离子源前处理模块位于所述镀膜装置的上游，并配置为利用等离子体激活介质薄膜的表面，所述离子源后处理模块位于所述镀膜装置的下游，并配置为中和介质薄膜表面的电荷。
3.根据权利要求2所述的卷绕式镀膜系统，其特征在于，所述离子源后处理模块设置有两个，并分别位于介质薄膜相对的两侧。
4.根据权利要求1所述的卷绕式镀膜系统，其特征在于，所述收放机构包括放卷辊、收卷辊与多个导辊，所述放卷辊缠绕并释放介质薄膜，所述收卷辊用于缠绕并收紧介质薄膜，定义所述镀膜鼓距离所述镀膜装置最近的点为最低点，至少其中两个所述导辊分别位于所述镀膜鼓径向的两侧，并且至少其中一个所述导辊与所述镀膜鼓最低点之间的距离大于所述镀膜鼓的半径。
5.根据权利要求2所述的卷绕式镀膜系统，其特征在于，所述收放机构包括多个导辊，所述导辊用于绕设介质薄膜，在介质薄膜的移动路径上，所述离子源前处理模块的上游与下游至少分别设置有一个所述导辊，所述离子源后处理模块的上游与下游至少分别设置有一个所述导辊，所述导辊用于展平介质薄膜。
6.根据权利要求1所述的卷绕式镀膜系统，其特征在于，所述镀膜装置包括依次向介质薄膜蒸发镀层的第一蒸发源、第二蒸发源与第三蒸发源，所述第一蒸发源与所述第三蒸发源配置为向介质薄膜镀制同种镀层，所述第一蒸发源与所述第二蒸发源配置为向介质薄膜镀制不同类型的镀层。
7.根据权利要求1所述的卷绕式镀膜系统，其特征在于，所述卷绕式镀膜系统还包括厚度检测模块，在介质薄膜的移动路径上，所述厚度检测模块位于所述镀膜装置的下游，所述厚度检测模块配置为检测介质薄膜的镀层厚度。
8.根据权利要求2所述的卷绕式镀膜系统，其特征在于，所述卷绕式镀膜系统还包括安全膜印刷模块，所述安全膜印刷模块配置为向介质薄膜表面生成安全膜，在介质薄膜的移动路径上，所述安全膜印刷模块位于所述镀膜装置的上游以及所述离子源前处理模块的下游。
9.根据权利要求2所述的卷绕式镀膜系统，其特征在于，所述卷绕式镀膜系统还包括保护油模块，所述保护油模块配置为向介质薄膜蒸发油层，在介质薄膜的移动路径上，所述保护油模块位于所述镀膜装置的下游以及所述离子源后处理模块的上游。
10.根据权利要求2所述的卷绕式镀膜系统，其特征在于，所述卷绕式镀膜系统还包括油屏蔽模块，所述油屏蔽模块配置为在介质薄膜的预设区域形成屏蔽层，在介质薄膜的移动路径上，所述油屏蔽模块位于所述镀膜装置的上游以及所述离子源前处理模块的下游。
技术总结
本技术公开了一种卷绕式镀膜系统，包括镀膜鼓、镀膜装置、收放机构及电子枪，镀膜鼓供介质薄膜绕设并冷却介质薄膜，镀膜装置向贴附于镀膜鼓表面的介质薄膜镀膜，收放机构使介质薄膜沿预设轨迹移动，电子枪在介质薄膜的移动路径上位于镀膜装置的上游，并在介质薄膜表面产生静电荷。介质薄膜在移动至镀膜鼓、镀膜装置所在位置前，其表面已产生静电荷，在经过镀膜鼓时，介质薄膜在静电吸附作用下贴附于镀膜鼓的表面，使介质薄膜与镀膜鼓之间具有较高的附着力，增强介质薄膜与镀膜鼓之间的热传递，使介质薄膜具有较佳的冷却效果，并能克服介质薄膜冷却过程中因电场击穿造成的漏电流问题，提高介质薄膜的镀膜效果。
技术研发人员：余仲,向清山,何文娟,安详乐
受保护的技术使用者：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
技术研发日：20231218
技术公布日：2024/9/23