本技术涉及硅片钻孔,具体为一种硅片钻孔定位装置。
背景技术:
1、硅材钻孔时,需将硅片中心对齐机台中心,使加工过程更加顺利。现有硅片钻孔定位装置,钻孔前需将硅片中心与机台(加工)中心对齐,一般使用3个定位孔定位硅片中心,因硅片大小不同,定位孔角度及p.c.d.延伸不同,使得钻孔定位装置有多种版本(大小,定位孔位置不同),在换线时需要频繁更换定位治具(包含机台治具,且更换机台治具需要重新校准),会增加加工成本,延长制程时间,减少产品的流动。
技术实现思路
1、(一)解决的技术问题
2、针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种硅片钻孔定位装置,解决了现有的硅片钻孔定位装置不能适应于各类版本的硅片钻孔定位,给后续换线带来麻烦,同时降低加工效率的问题。
3、(二)技术方案
4、为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:一种硅片钻孔定位装置,包括:基板;左定位块与右定位块,所述左定位块与右定位块均可拆卸布置在所述基板的左右部;数显角度尺,固定设置在所述基板的几何中心;限位槽,沿着线性布置在所述基板上,所述数显角度尺的一个活动杆通过限位块限位固定在所述限位槽内,所述限位块与所述数显角度尺的一个活动杆固定连接;延伸板,分别滑动连接在所述数显角度尺两个活动杆的一端上,所述延伸板的上设置有定位销。
5、优选的,所述左定位块、右定位块分别通过内六角螺丝固定连接在所述基板上,所述左定位块与所述右定位块之间的中心处于同一条直线上。
6、优选的,所述数显角度尺上的活动杆上分别通过螺纹配合螺纹连接有所述定位销。
7、(三)有益效果
8、本实用新型具备以下有益效果:
9、该硅片钻孔定位装置,通过使用此装置可以有效适应不同种版型的硅片定位,节省各个不同产品的硅片在进行机台初定位时频繁更换治具和基座的时间,省去大量人工工时;也省去了治具存放的空间,有效进行空间利用,增加治具存放的空间。此装置也融合了数显角度尺,可以检视硅片定位角度是否有错。此装置同时可在数显角度尺活动杆尾端自由更换定位销,对应不同产品大小的定位孔。
1.一种硅片钻孔定位装置,其特征在于:包括:
2.根据权利要求1所述的一种硅片钻孔定位装置,其特征在于:所述左定位块、右定位块分别通过内六角螺丝固定连接在所述基板上,所述左定位块与所述右定位块之间的中心处于同一条直线上。
3.根据权利要求1或2所述的一种硅片钻孔定位装置,其特征在于:所述数显角度尺上的活动杆上分别通过螺纹配合螺纹连接有所述定位销。