具有扩散管安装结构的基板载具的制作方法
本发明涉及一种基板(晶圆)载具，尤其是一种前开式晶圆传送盒更特别是一种具有扩散管安装结构的基板载具。
背景技术：
1、目前现有的具有扩散管的基板载具，包含一容器壳体，容器壳体内设置有多个扩散管、多个支撑架及多个组装式管夹。其中，组装式管夹以可拆卸的方式组装至容器壳体，而扩散管经由已组装的管夹固持于容器壳体中。容器壳体形成晶圆存放空间。通过晶圆存放空间内设置多个扩散管靠近该壳体后方处，使气体经由该扩散管能均匀扩散进入晶圆存放空间。
2、然而，现有用于固持扩散管的组装式管夹，其组装的零件过多，导致组装耗时且成本高。此外，因组装式管夹易有掉落风险，且组装式管夹所设置的位置容易与机械手臂干涉，而影响到存放的晶圆。再者，现有的组装式管夹与扩散管的接触面积过多，易摩擦产生大量粉尘。
技术实现思路
1、有鉴于前述问题，本发明提供一种一体式安装结构，将扩散管固定于壳体内侧，来简化组装过程，以减少组装工时与成本。此外，借由减少一体式安装结构的夹持部分与扩散管之间接触面积，来减少粉尘的产生。
2、本发明目的在于提供一种基板载具，包括：一壳体，界定一晶圆存放空间；及至少一安装结构，一体成型于该壳体的一内壁，用于固持至少一扩散管，使至少一该扩散管设置于一机械手臂前端的操作范围之外。
3、在一具体实施例中，该安装结构包括一第一夹持臂、一第二夹持臂及一抵持部，该第一夹持臂与该第二夹持臂夹持该扩散管，该抵持部抵持所述扩散管。
4、在一具体实施例中，该第一夹持臂或该第二夹持臂具有弹性。
5、在一具体实施例中，该第一夹持臂或该第二夹持臂包括自该内壁延伸的一支持部及自该支持部延伸的一夹持部，该支持部的厚度大于该夹持部。
6、在一具体实施例中，该第一夹持臂与该第二夹持臂界定一上开口及一下开口，该上开口小于该下开口。
7、在一具体实施例中，该第一夹持臂与该第二夹持臂界定一上方内直径和一下方内直径，该上方内直径小于该下方内直径。
8、在一具体实施例中，该扩散管的一直径小于该第一夹持臂与第二夹持臂界定的下方内直径。
9、在一具体实施例中，该第一夹持臂与该扩散管的接触面积、以及该第二夹持臂与该扩散管的接触面积分别小于该抵持部与该扩散管的接触面积。
10、在一具体实施例中，该扩散管的横截面为圆形或椭圆形。
11、在一具体实施例中，该第一夹持臂、该第二夹持臂、该抵持部及该扩散管界定至少一排水口。
12、本发明另一目的在于一种基板载具，包括：一壳体，界定一晶圆存放空间；以及至少一安装结构，包括一第一夹持臂、及一第二夹持臂，该第一夹持臂及该第二夹持臂自该壳体的一内壁一体成型地延伸，该第一夹持臂及该第二夹持臂用于夹持至少一扩散管。
13、在一具体实施例中，该安装结构进一步包括一抵持部，设置于该第一夹持臂及该第二夹持臂之间。
14、在一具体实施例中，该第一夹持臂与该扩散管的接触面积，以及该第二夹持臂与该扩散管的接触面积小于该抵持部与该扩散管的接触面积。
15、在一具体实施例中，该第一夹持臂、该第二夹持臂及该扩散管界定至少一排水口。
16、在一具体实施例中，该第一夹持臂与第二夹持臂界定一上方内直径和一下方内直径，该上方内直径小于该下方内直径。
17、在一具体实施例中，该扩散管的一直径小于该第一夹持臂与第二夹持臂界定的下方内直径。
18、在一具体实施例中，该第一夹持臂与第二夹持臂的上端直接接触至少一该扩散管，该第一夹持臂的下端与第二夹持臂的下端分别与至少一该扩散管之间有一间隙。
19、在一具体实施例中，该第一夹持臂或该第二夹持臂进一步包括自该内壁延伸的一支持部及自该支持部延伸的一夹持部，该支持部的机械强度大于该夹持部。
20、在一具体实施例中，该夹持部具有弹性，该支持部的厚度大于该夹持部。
21、在一具体实施例中，该安装结构设置于一机械手臂前端的操作范围之外。
技术特征：
1.一种具有扩散管安装结构的基板载具，其特征在于，该基板载具包括：
2.如权利要求1所述的具有扩散管安装结构的基板载具，其特征在于，该安装结构包括一第一夹持臂、一第二夹持臂及一抵持部，该第一夹持臂与该第二夹持臂夹持该扩散管，该抵持部抵持所述扩散管。
3.如权利要求2所述的具有扩散管安装结构的基板载具，其特征在于，该第一夹持臂或该第二夹持臂具有弹性。
4.如权利要求2所述的具有扩散管安装结构的基板载具，其特征在于，该第一夹持臂或该第二夹持臂包括自该内壁延伸的一支持部及自该支持部延伸的一夹持部，该支持部的厚度大于该夹持部。
5.如权利要求2所述的具有扩散管安装结构的基板载具，其特征在于，该第一夹持臂与该第二夹持臂界定一上开口及一下开口，该上开口小于该下开口。
6.如权利要求5所述的具有扩散管安装结构的基板载具，其特征在于，该第一夹持臂与该第二夹持臂界定有一上方内直径和一下方内直径，该上方内直径小于该下方内直径。
7.如权利要求6所述的具有扩散管安装结构的基板载具，其特征在于，该扩散管的一直径小于该第一夹持臂与第二夹持臂界定的下方内直径。
8.如权利要求2所述的具有扩散管安装结构的基板载具，其特征在于，该第一夹持臂与该扩散管的接触面积、以及该第二夹持臂与该扩散管的接触面积分别小于该抵持部与该扩散管的接触面积。
9.如权利要求1所述的具有扩散管安装结构的基板载具，其特征在于，该扩散管的横截面为圆形或椭圆形。
10.如权利要求1所述的具有扩散管安装结构的基板载具，其特征在于，该第一夹持臂、该第二夹持臂、该抵持部及该扩散管界定至少一排水口。
11.一种具有扩散管安装结构的基板载具，其特征在于，该基板载具包括：
12.如权利要求11所述的具有扩散管安装结构的基板载具，其特征在于，该安装结构包括一抵持部，该抵持部设置于该第一夹持臂及该第二夹持臂之间。
13.如权利要求12所述的具有扩散管安装结构的基板载具，其特征在于，该第一夹持臂与该扩散管的接触面积、以及该第二夹持臂与该扩散管的接触面积分别小于该抵持部与该扩散管的接触面积。
14.如权利要求11所述的具有扩散管安装结构的基板载具，其特征在于，该第一夹持臂、该第二夹持臂及该扩散管界定至少一排水口。
15.如权利要求11所述的具有扩散管安装结构的基板载具，其特征在于，该第一夹持臂与第二夹持臂界定有一上方内直径和一下方内直径，该上方内直径小于该下方内直径。
16.如权利要求15所述的具有扩散管安装结构的基板载具，其特征在于，该扩散管的一直径小于该第一夹持臂与第二夹持臂界定的下方内直径。
17.如权利要求11所述的具有扩散管安装结构的基板载具，其特征在于，该第一夹持臂的上端与第二夹持臂的上端直接接触至少一该扩散管，该第一夹持臂的下端与第二夹持臂的下端分别与至少一该扩散管之间有一间隙。
18.如权利要求11所述的具有扩散管安装结构的基板载具，其特征在于，该第一夹持臂或该第二夹持臂包括自该内壁延伸的一支持部及自该支持部延伸的一夹持部，该支持部的机械强度大于该夹持部。
19.如权利要求18所述的具有扩散管安装结构的基板载具，其特征在于，该夹持部具有弹性，该支持部的厚度大于该夹持部。
20.如权利要求11所述的具有扩散管安装结构的基板载具，其特征在于，该安装结构设置于一机械手臂前端的操作范围之外。
技术总结
本发明提供一种具有扩散管安装结构的基板载具，包括：一壳体，界定一晶圆存放空间；及至少一安装结构，一体成型于该壳体的一内壁，用于固持至少一扩散管，使至少一该扩散管设置于一机械手臂前端的操作范围之外。本发明的基板载具简化了基板载具安装扩散管的结构，且避免扩散管与机器手臂干涉。
技术研发人员：邱铭乾,庄家和,沈恩年,李国华,吕俊明
受保护的技术使用者：家登精密工业股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23