具有多个调制器区段的光调制器的光学模块及其方法与流程

本揭露涉及一种光学模块及用于形成光学模块的方法。

背景技术：

1、在高频率或高数据速率下，由于长距离的高能量损耗，电传输(electricaltransmission)即将达到其极限。因此，依赖于长距离传输的电子芯片正转向光学传输。此种电子芯片可例如包括开关芯片或系统芯片(system-on-chip，soc)芯片。此种soc芯片可例如包括应用专用集成电路(application-specific integrated circuit，asic)芯片、中央处理器(central processing unit，cpu)芯片、图形处理单元(graphics processingunit，gpu)芯片等等。

技术实现思路

1、本揭露提供一种光学模块，包括：光调制器，包括环状波导，且还包括沿所述环状波导彼此间隔开的第一调制器区段与第二调制器区段；以及驱动器电路，单独地电性耦合至所述第一调制器区段及所述第二调制器区段；其中所述第二调制器区段沿所述环状波导的长度是所述第一调制器区段沿所述环状波导的长度的两倍。

2、本揭露提供一种光学模块，包括：半导体层，具有在闭合路径中延伸的环状波导；以及第一光调制器与第二光调制器，沿所述环状波导间隔开且分别包括所述环状波导中的第一pn接面及第二pn接面；其中所述第一光调制器通过所述环状波导的未经掺杂区而与所述第二光调制器分隔开，且所述第二光调制器的功率因子是所述第一光调制器的功率因子的两倍。

3、本揭露提供一种用于形成光学模块的方法，包括：对半导体层进行图案化以在所述半导体层中形成环状波导；对所述半导体层进行掺杂以形成沿所述环状波导彼此间隔开的第一调制器与第二调制器，其中所述第一调制器及所述第二调制器分别具有所述环状波导中的第一pn接面及第二pn接面；沉积出覆盖所述半导体层以及所述第一调制器及所述第二调制器的介电层；以及形成穿过所述介电层分别延伸至所述第一调制器及所述第二调制器的接触通孔；其中所述第二pn接面沿所述环状波导的长度是所述第一pn接面的长度的两倍，且其中所述环状波导在所述第一pn接面与所述第二pn接面之间未经掺杂。

技术特征：

1.一种光学模块，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光学模块，其中所述驱动器电路被配置成使用第一不归零信号对所述第一调制器区段进行驱动，且还使用第二不归零信号对所述第二调制器区段进行驱动。

3.根据权利要求1所述的光学模块，其中所述光调制器被配置成产生光学脉冲幅度调制信号。

4.根据权利要求1所述的光学模块，其中所述环状波导是圆环状的。

5.根据权利要求1所述的光学模块，其中，还包括：

6.根据权利要求1所述的光学模块，其中，还包括：

7.一种光学模块，其特征在于，包括：

8.根据权利要求7所述的光学模块，其中，还包括：

9.一种用于形成光学模块的方法，其特征在于，包括：

10.根据权利要求9所述的方法，其中，还包括：

技术总结
本发明提供一种包括用于脉冲幅度调制(PAM)的光调制器装置(OMD)的光学模块，其中OMD包括多个调制器区段。第一调制器区段与第二调制器区段沿环状波导彼此间隔开。此外，第二调制器区段的长度是第一调制器区段的长度的两倍。因此，第二调制器区段的功率因子是第一调制器区段的功率因子的两倍。在使用OMD期间，通过单独的不归零(NRZ)电性信号对第一调制器区段及第二调制器区段进行驱动。NRZ电性信号由驱动器产生，所述驱动器产生NRZ电性信号以对第一调制器区段及第二调制器区段的操作进行协调来产生PAM光学信号。

技术研发人员：陈建宏,林志昌
受保护的技术使用者：台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23