一种多工位晶圆匀胶显影机的制作方法
本技术涉及匀胶显影机，具体为一种多工位晶圆匀胶显影机。
背景技术：
1、晶圆匀胶显影机是一种用于半导体加工中的设备，用于将光刻胶涂布在晶圆上，并通过显影过程，在胶涂层上形成所需的图案。
2、根据现有的专利公告号：cn216286155u一种桌面型匀胶显影机，包括控制箱、匀胶腔、一路滴胶手动摆臂、一路显影自动摆臂、蠕动泵、压力罐和触摸屏，所述匀胶腔设置于所述控制箱的上部中央位置，所述一路滴胶手动摆臂与所述一路显影自动摆臂设置于所述控制箱的上表面，所述蠕动泵通过第一管路与所述控制箱连接，用于向所述滴胶手动摆臂提供光刻胶。本实用新型的桌面型匀胶显影机，体积紧凑，可放置于防震桌上，造价较低，有效降低了生产成本，但在使用中暴露出以下缺陷：
3、1、在对基片显影过程中，需要使用到化学溶液，用于去除覆盖在晶圆上的光刻胶，而在显影后，晶圆需要进行清洗和冲洗，以去除胶液残留和杂质，这些清洗和冲洗过程会产生废水，其中含有一定量的污染物，若未处理直接排出易对环境造成影响。
4、2、其次，如参考专利描述在匀胶腔内匀胶工作，虽然通过防溅罩可以放置内部液体溅出，但在对晶圆滴胶及匀胶过程中，部分胶液难免会粘附在匀胶腔内壁，若未及时处理易发生凝固后续工作人员清理较为不便。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种多工位晶圆匀胶显影机，以解决上述背景技术中提出现有的晶圆匀胶显影机在使用过程中的问题。
2、为了实现上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：
3、一种多工位晶圆匀胶显影机，包括匀胶显影机本体，所述匀胶显影机本体的左侧并列安装有胶液箱和显影液箱，所述显影液箱的顶部安装有l状支撑架；
4、收集腔，其开设在所述匀胶显影机本体的内部；
5、滤板和吸附板，其从上至下依次安装在所述收集腔的内部；
6、紫外线消毒灯，其对称安装在所述匀胶显影机本体的内部；
7、电动缸，其等距安装在所述支撑架的底部，且电动缸的输出端均连接有活塞杆；
8、电机二，其均安装在所述活塞杆的前端，所述电机二的输出端均连接有转轴二，且转轴二的前端均安装有l状的刮板。
9、优选的，所述匀胶显影机本体的顶部安装有三组防护罩，所述防护罩的位置与电动缸的位置一一对应，所述匀胶显影机本体的顶部均安装有承载台，且承载台的顶部通过转盘连接有三爪卡盘并均位于防护罩内。
10、优选的，所述胶液箱还包括：
11、抽取泵一，其安装在所述胶液箱的顶部；
12、抽液管一，其连接在所述抽取泵一的抽取端并延伸至胶液箱内；
13、出液管一，其连接在所述抽取泵一的出液端并通过管卡安装于支撑架的表面，且出液管一的底部安装有三组与承载台对应的滴管头。
14、优选的，所述显影液箱还包括：
15、抽取泵二，其安装在所述显影液箱的顶部；
16、抽液管二，其连接在所述抽取泵二的抽取端并延伸至显影液箱的内部；
17、出液管二，其连接在所述抽取泵二的出液端并通过分流管与防护罩相连通。
18、优选的，所述匀胶显影机本体还包括：
19、热风机，其安装在所述匀胶显影机本体的右侧；
20、出风管，其连接在所述热风机的出风端并通过分流管与防护罩相连通。
21、优选的，所述匀胶显影机本体的右侧下方安装有排液口，所述排液口的表面安装有控制阀，所述匀胶显影机本体的内部均设置有多组与收集腔连通的连通口，且连通口上均安装有电磁阀。
22、优选的，所述匀胶显影机本体的内部安装有三组电机一，所述电机一的输出端均连接有转轴一，且转轴一的顶部均与承载台上方的三爪卡盘相连接。
23、本实用新型实施例提供了一种多工位晶圆匀胶显影机，具备以下有益效果：
24、1.通过设置滤板、吸附板以及紫外线消毒灯，废水经过连通口集中排入收集腔内，先经过滤板处进行过滤处理，随后过滤后的废水经过活性炭材质的吸附板，对废水吸附净化，接着紫外线消毒灯发射紫外线对废水消毒处理，最终打开控制阀将液体通过排液口排出，且收集腔底部呈倾斜状，便于快速将内部液体排出，从而减少对环境造成的影响。
25、2.通过设置电动缸、电机二以及刮板，定期启动电动缸，电动缸运行带动通过活塞杆带动电机二下移，至合适位置后刮板即会与防护罩内壁接触，且刮板与防护罩内壁为相同高度，而后电机二运行通过转轴二带动刮板旋转，将防护罩内壁粘附的胶液刮除，以提高清理的便捷性。
技术特征：
1.一种多工位晶圆匀胶显影机，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的多工位晶圆匀胶显影机，其特征在于，所述匀胶显影机本体(1)的顶部安装有三组防护罩(9)，所述防护罩(9)的位置与电动缸(13)的位置一一对应，所述匀胶显影机本体(1)的顶部均安装有承载台(10)，且承载台(10)的顶部通过转盘连接有三爪卡盘并均位于防护罩(9)内。
3.根据权利要求1所述的多工位晶圆匀胶显影机，其特征在于，所述胶液箱(2)还包括：
4.根据权利要求1所述的多工位晶圆匀胶显影机，其特征在于，所述显影液箱(3)还包括：
5.根据权利要求1所述的多工位晶圆匀胶显影机，其特征在于，所述匀胶显影机本体(1)还包括：
6.根据权利要求1所述的多工位晶圆匀胶显影机，其特征在于，所述匀胶显影机本体(1)的右侧下方安装有排液口(16)，所述排液口(16)的表面安装有控制阀，所述匀胶显影机本体(1)的内部均设置有多组与收集腔(27)连通的连通口(19)，且连通口(19)上均安装有电磁阀。
7.根据权利要求1所述的多工位晶圆匀胶显影机，其特征在于，所述匀胶显影机本体(1)的内部安装有三组电机一(17)，所述电机一(17)的输出端均连接有转轴一(18)，且转轴一(18)的顶部均与承载台(10)上方的三爪卡盘相连接。
技术总结
本技术涉及匀胶显影机技术领域，具体涉及一种多工位晶圆匀胶显影机，包括匀胶显影机本体，匀胶显影机本体的左侧并列安装有胶液箱和显影液箱，显影液箱的顶部安装有L状支撑架；收集腔，其开设在匀胶显影机本体的内部；滤板和吸附板，其从上至下依次安装在收集腔的内部。本技术克服了现有技术的不足，通过设置滤板、吸附板以及紫外线消毒灯，废水经过连通口集中排入收集腔内，先经过滤板处进行过滤处理，随后过滤后的废水经过活性炭材质的吸附板，对废水吸附净化，接着紫外线消毒灯发射紫外线对废水消毒处理，最终打开控制阀将液体通过排液口排出，且收集腔底部呈倾斜状，便于快速将内部液体排出，从而减少对环境造成的影响。
技术研发人员：周园
受保护的技术使用者：无锡优联创芯机电设备有限公司
技术研发日：20240119
技术公布日：2024/9/23