弹性波器件的制作方法

本发明涉及适于在移动通信设备等中，用作频率滤波器等用途的弹性波器件的改良。

背景技术：

1、在具有wlp(wafer level package：晶圆级封装)结构的弹性波(surfaceacoustic wave/saw)器件中，存在如下形态：凸块的通过孔在与其孔轴正交的方向的截面中，具备位于与四个直线状部相邻的直线状部之间的角部，具体结构参照专利文献1(日本特开2022-152536号公报)的图8。

2、这种弹性波器件在器件芯片中的功能元件的形成区域上由树脂制的支撑层和顶盖层构成腔室，通过孔被设置为贯通这些腔室。在此，该顶盖层通过弹性波器件的制造过程中的热处理而发生伸缩。因此，如专利文献1的图8所示，若形成通过孔，则可能导致应力集中于上述角部，并在该角部产生裂纹。

技术实现思路

1、本发明所要解决的主要的问题点在于，在弹性波器件中，当上述通过孔成为上述形态时，如何抑制上述角部裂纹的产生。

2、第一个方面，在本实施例中提供了一种弹性波器件，包括器件芯片、功能元件、支撑层和覆盖层，其特征在于，

3、所述功能元件形成于所述器件芯片的一面上；所述支撑层形成于所述器件芯片的一面和所述覆盖形层的中间，用于支撑所述覆盖层；所述功能元件，位于所述器件芯片、所述支撑层和所述覆盖层成的内部空间中；

4、所述器件芯片的外周具有凸块的通过孔，所述通过孔贯通所述支撑层以及所述覆盖层，以使与所述功能元件连接的凸块焊盘位于所述通过孔的孔底位置；

5、在所述覆盖层中，所述通过孔在与其孔轴正交的方向的截面的轮廓包括两个第一直线状部、两个第二直线状部、以及四个角部；所述角部形成于所述第一直线状部与所述第二直线状部之间；

6、在所述覆盖层中的与所述通过孔的所述角部相邻的部分，在仿照所述第一直线状部的假想的直线和仿照所述第二直线状部的假想的直线的交叉部位、或者在所述交叉部位的附近，形成由相对于所述覆盖层从贯通孔或所述覆盖层的外表面侧朝向其内表面侧凹陷的凹部所构成的空腔。

7、在其中的一些实施例中，在与所述器件芯片的一面正交的方向上观察，所述器件芯片呈正方形或长方形的四边形。

8、在其中的一些实施例中，所述第一直线状部与所述四边形的一边部平行；所述第二直线状部与所述四边形的所述一边部正交的另一边部平行。

9、在其中的一些实施例中，所述空腔形成于，所述通过孔中的位于所述弹性波器件的中央部侧的所述角部，与所述中央部之间。

10、在其中的一些实施例中，所述空腔在与所述覆盖层的厚度方向正交的方向的截面轮廓为圆形或椭圆形。

11、在其中的一些实施例中，在通过所述通过孔的所述孔轴和所述交叉部位的假想的直线上，形成两个以上的所述空腔。

12、其中的一些实施例中，所述空腔，在所述覆盖层的厚度方向正交的方向的截面面积，与所述角部与所述空腔之间的距离成反比。

13、在其中的一些实施例中，所述通过孔的所述第一直线状部以及所述第二直线状部，为沿着以所述孔轴为中心的假想的四边形的边；

14、所述角部为沿着与水平面成45度或135度的角度，与所述第一直线状部以及所述第二直线状部相交的假想的线段；

15、所述孔轴与通过孔边缘的距离随着接近所述角部而变大。

16、第二个方面，在本实施例中提供了一种双工器，包括上述第一个方面所述的弹性波器件。

17、第三个方面，在本实施例中提供了一种射频模块，包括上述第二个方面所述的弹性波器件。

18、根据本发明的弹性波器件，如上所述，通过与上述通过孔的角部相邻地形成空腔，能够释放在该空腔中上述顶盖层产生的上述那样的应力，从而抑制在上述角部产生裂纹。

19、本申请的一个或多个实施例的细节在以下附图和描述中提出，以使本申请的其他特征、目的和优点更加简明易懂。

技术特征：

1.一种弹性波器件，包括器件芯片、功能元件、支撑层和覆盖层，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的弹性波器件，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的弹性波器件，其特征在于，

8.根据权利要求1至7中任一项所述的弹性波器件，其特征在于，

9.一种双工器，其特征在于，包括权利要求1至8中任一项所述的弹性波器件。

10.一种射频模块，其特征在于，包括权利要求9中所述的双工器。

技术总结
本申请涉及一种弹性波器件，其中，该弹性波器件包括器件芯片、功能元件、支撑层和覆盖层，器件芯片的外周具有凸块的通过孔，通过孔贯通支撑层以及覆盖层；在覆盖层中，通过孔在与其孔轴正交的方向的截面的轮廓包括两个第一直线状部、两个第二直线状部、以及四个角部；在覆盖层中的与通过孔的角部相邻的部分，在仿照第一直线状部的假想的直线和仿照第二直线状部的假想的直线的交叉部位、或者在交叉部位的附近，形成由相对于覆盖层从贯通孔或覆盖层的外表面侧朝向其内表面侧凹陷的凹部所构成的空腔，通过本申请，可以有效抑制在上述角部产生裂纹的情况。

技术研发人员：中村博文,熊谷浩一,门川裕
受保护的技术使用者：三安日本科技株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23