保持装置、光刻装置以及物品制造方法与流程

本发明涉及保持装置、光刻装置以及物品制造方法。

背景技术：

1、在利用真空吸引力保持物体的保持装置中，例如根据垫等与物体接触的部件(以下有时表述为接触部件)的历时劣化或磨耗，需要更换接触部件。在专利文献1中提出了以下方法：基于由压力传感器检测出的吸附垫的吸附压力的过渡数据，判断吸附垫的磨耗。在专利文献2中提出了以下方法：根据吸附对象物时的吸附部的变形，判定吸附部的劣化的有无。另外，在专利文献3中提出了以下方法：通过比较吸附粘贴介质的吸附部(吸附垫)的压力值与阈值，判断吸附部的破损或磨耗等。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2012－152843号公报

5、专利文献2：日本特开2021－65993号公报

6、专利文献3：日本特开2021－92486号公报

技术实现思路

1、发明所要解决的课题

2、在保持装置中，可基于物体的保持状态的测量结果来进行保持动作的异常判定(即，物体未被正常保持这样的判定)，根据该异常判定的达成，由用户进行接触部件的更换。但是，根据接触部件的材质，在保持装置的运转超过规定期间而中断之后重新进行的场合，在运转的中断前和重新进行后，有时接触部件的特性(例如弹性)会发生变化。在该场合，尽管接触部件的劣化或磨耗的程度比较小且尚能使用该接触部件，但在保持装置的运转重新进行之后却容易达成异常判定，因异常判定导致的保持装置的停止、接触部件的更换的频率会有所增加。

3、因而，本发明的目的在于提供有利于适当进行保持物体的保持装置中的保持动作的异常判定的技术。

4、用于解决课题的方案

5、为了达成上述目的，作为本发明的一个方面的保持装置保持物体，其特征在于，上述保持装置具备：保持部，该保持部利用真空吸引力保持上述物体；测量部，该测量部测量上述保持部对上述物体的保持状态；以及控制部，该控制部控制上述保持部对上述物体的保持动作，并且基于上述测量部的测量结果进行上述保持动作的异常判定，上述保持动作反复多次实施，上述控制部在超过规定期间而未实施上述保持动作之后实施的上述保持动作中，放宽上述异常判定的判定基准。

6、为了达成上述目的，作为本发明的一个方面的保持装置保持物体，其特征在于，上述保持装置具备：保持部，该保持部利用真空吸引力保持上述物体；测量部，该测量部测量上述保持部对上述物体的保持状态；以及控制部，该控制部控制上述保持部对上述物体的保持动作，并且基于上述测量部的测量结果进行上述保持动作的异常判定，上述保持动作反复多次实施，上述控制部在超过规定期间而未实施上述保持动作之后实施的上述保持动作中，不进行上述异常判定。

7、为了达成上述目的，作为本发明的一个方面的保持装置保持物体，其特征在于，上述保持装置具备：保持部，该保持部由具有与真空线路连接的吸引孔的保持面保持上述物体；测量部，该测量部测量上述保持部对上述物体的保持状态；以及控制部，该控制部控制上述保持部对上述物体的保持动作，并且基于上述测量部的测量结果进行上述保持动作的异常判定，上述保持动作多次反复实施，上述控制部在超过规定期间而未实施上述保持动作之后实施的上述保持动作中，控制上述真空线路的真空压力及/或真空流量，以便与在上述规定期间之前实施的上述保持动作相比上述保持部的吸引力增加。

8、以下，根据参照附图说明的优选实施方式将会明了本发明的其他目的或者其他方面。

9、发明的效果

10、根据本发明，例如能提供有利于适当进行保持物体的保持装置中的保持动作的异常判定的技术。

技术特征：

1.一种保持装置，该保持装置保持物体，其特征在于，

2.如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，

3.如权利要求2所述的保持装置，其特征在于，

4.如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，

5.如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，

6.如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，

7.如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，

8.如权利要求7所述的保持装置，其特征在于，

9.如权利要求7所述的保持装置，其特征在于，

10.如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，

11.如权利要求10所述的保持装置，其特征在于，

12.如权利要求10所述的保持装置，其特征在于，

13.一种保持装置，该保持装置保持物体，其特征在于，

14.一种保持装置，该保持装置保持物体，其特征在于，

15.一种光刻装置，该光刻装置在基板上形成图案，其特征在于，

16.一种物品制造方法，其特征在于，

技术总结
本发明提供保持装置、光刻装置以及物品制造方法，提供有利于适当进行保持物体的保持装置中的保持动作的异常判定的技术。保持物体的保持装置具备：保持部，该保持部利用真空吸引力保持上述物体；测量部，该测量部测量上述保持部对上述物体的保持状态；以及控制部，该控制部控制上述保持部对上述物体的保持动作，并且基于上述测量部的测量结果进行上述保持动作的异常判定，上述保持动作反复多次实施，上述控制部在规定期间而未实施上述保持动作之后实施的上述保持动作中，放宽上述异常判定的判定基准。

技术研发人员：石川勇
受保护的技术使用者：佳能株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23