一种新型射频离子源多层栅网的制作方法

本技术涉及射频离子源，尤其涉及一种新型射频离子源多层栅网。

背景技术：

1、离子源是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置，它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备不可缺少的部件。

2、射频离子源是一种常用离子源，其主要是通过射频电离产生等离子体，再通过栅网电场加速，使正离子加速产生离子束；射频离子源通过射频电离气体，具有连续工作时间长，没有耗材以及发热量小的特点。

3、现有技术中，射频离子源通常使用多层栅网，可以提高离子源的效率和稳定性，同时多层栅网可以减少离子束的散射和能量损失，还可以提高离子的提取效率，但是在进行安装时，多个栅网往往安装较为不便，通常需要对单个栅网进行单独安装，较为费时费力。

技术实现思路

1、本实用新型克服了现有技术的不足，提供一种新型射频离子源多层栅网。

2、为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：一种新型射频离子源多层栅网，包括：固定环，设置在所述固定环内侧的若干栅网本体，以及设置在所述固定环内侧的连接组件；

3、所述连接组件包括：开设在所述固定环内侧的若干连接槽，开设在所述连接槽内部一侧的若干定位槽，以及开设在所述固定环顶部和若干定位槽表面的若干螺纹孔；所述栅网本体的侧面固定有若干固定块，所述固定块的表面开设有定位孔，所述螺纹孔和所述定位孔的内侧螺纹连接有连接螺钉。

4、本实用新型一个较佳实施例中，所述连接槽贯通至所述固定环的顶部，若干所述连接槽呈圆周阵列的方式均匀开设在所述固定环的内侧。

5、本实用新型一个较佳实施例中，在竖直方向上，若干所述定位槽呈线性阵列的方式均匀开设在所述固定环的内侧，在平面方向上，若干所述定位槽呈圆周阵列的方式均匀开设在所述固定环的内侧。

6、本实用新型一个较佳实施例中，若干所述固定块呈圆周阵列的方式均匀固定在所述栅网本体的侧面，若干所述固定块的数量与若干所述连接槽的数量一致。

7、本实用新型一个较佳实施例中，位于所述固定环顶部的所述螺纹孔和位于所述定位槽表面的所述螺纹孔同轴设置。

8、本实用新型一个较佳实施例中，所述定位孔的直径与所述螺纹孔的直径大小相同。

9、本实用新型一个较佳实施例中，所述固定块的宽度与所述连接槽的宽度大小相同。

10、本实用新型一个较佳实施例中，所述栅网本体的直径与所述固定环内侧的直径大小相同，所述螺纹孔的圆心与所述固定环的圆心之间的距离与所述定位孔的圆心与所述栅网本体之间的距离大小相同。

11、本实用新型一个较佳实施例中，所述固定环的侧面固定有若干连接块，所述连接块的表面开设有连接孔。

12、本实用新型一个较佳实施例中，若干所述连接块呈圆周阵列的方式均匀分布在所述固定环的侧面。

13、本实用新型解决了背景技术中存在的缺陷，本实用新型具备以下有益效果：

14、(1)本实用新型提供了一种新型射频离子源多层栅网，通过在固定环的内侧设置连接组件，在向固定环的内侧安装多层栅网本体时，通过连接槽和定位槽的配合，可以将若干栅网本体侧面的若干固定块，一一对应定位在若干定位槽的内侧，通过螺纹孔、定位孔和连接螺钉的配合，可以一次性将若干栅网本体同时安装固定，进而无需对单个栅网本体进行单独安装，从而省时省力提高了实用性。

15、(2)本实用新型中，在对若干栅网本体同时安装在固定环内侧时，通过连接槽和固定块的配合，将栅网本体侧面的固定块位于连接槽内侧后，仅需转动栅网本体，将固定块转动至定位槽内，若干栅网本体侧面的若干固定块均转动至对应的若干定位槽内部后，通过连接螺钉的配合即可完成安装，操作简单便捷，增加拆卸或安装的便捷性，进一步提高实用性。

技术特征：

1.一种新型射频离子源多层栅网，其特征在于，包括：固定环(1)，设置在所述固定环(1)内侧的若干栅网本体(2)，以及设置在所述固定环(1)内侧的连接组件；

2.根据权利要求1所述的一种新型射频离子源多层栅网，其特征在于：所述连接槽(3)贯通至所述固定环(1)的顶部，若干所述连接槽(3)呈圆周阵列的方式均匀开设在所述固定环(1)的内侧。

3.根据权利要求1所述的一种新型射频离子源多层栅网，其特征在于：在竖直方向上，若干所述定位槽(31)呈线性阵列的方式均匀开设在所述固定环(1)的内侧，在平面方向上，若干所述定位槽(31)呈圆周阵列的方式均匀开设在所述固定环(1)的内侧。

4.根据权利要求1所述的一种新型射频离子源多层栅网，其特征在于：若干所述固定块(33)呈圆周阵列的方式均匀固定在所述栅网本体(2)的侧面，若干所述固定块(33)的数量与若干所述连接槽(3)的数量一致。

5.根据权利要求1所述的一种新型射频离子源多层栅网，其特征在于：位于所述固定环(1)顶部的所述螺纹孔(32)和位于所述定位槽(31)表面的所述螺纹孔(32)同轴设置。

6.根据权利要求1所述的一种新型射频离子源多层栅网，其特征在于：所述定位孔(34)的直径与所述螺纹孔(32)的直径大小相同。

7.根据权利要求1所述的一种新型射频离子源多层栅网，其特征在于：所述固定块(33)的宽度与所述连接槽(3)的宽度大小相同。

8.根据权利要求1所述的一种新型射频离子源多层栅网，其特征在于：所述栅网本体(2)的直径与所述固定环(1)内侧的直径大小相同，所述螺纹孔(32)的圆心与所述固定环(1)的圆心之间的距离与所述定位孔(34)的圆心与所述栅网本体(2)之间的距离大小相同。

9.根据权利要求1所述的一种新型射频离子源多层栅网，其特征在于：所述固定环(1)的侧面固定有若干连接块(4)，所述连接块(4)的表面开设有连接孔(41)。

10.根据权利要求9所述的一种新型射频离子源多层栅网，其特征在于：若干所述连接块(4)呈圆周阵列的方式均匀分布在所述固定环(1)的侧面。

技术总结
本技术公开了一种新型射频离子源多层栅网，包括：固定环，设置在所述固定环内侧的若干栅网本体，以及设置在所述固定环内侧的连接组件；所述连接组件包括：开设在所述固定环内侧的若干连接槽，开设在所述连接槽内部一侧的若干定位槽，以及开设在所述固定环顶部和若干定位槽表面的若干螺纹孔；所述栅网本体的侧面固定有若干固定块，在向固定环的内侧安装多层栅网本体时，通过连接槽和定位槽的配合，可以将若干栅网本体侧面的若干固定块，一一对应定位在若干定位槽的内侧，通过螺纹孔、定位孔和连接螺钉的配合，可以一次性将若干栅网本体同时安装固定，进而无需对单个栅网本体进行单独安装，从而省时省力提高了实用性。

技术研发人员：董所涛,陈靖玉
受保护的技术使用者：苏州臻泰真空技术有限公司
技术研发日：20240201
技术公布日：2024/9/23