气箱风量补偿装置和半导体设备的制作方法

xiaoxiao1月前  33


本发明涉及半导体,具体而言,涉及一种气箱风量补偿装置和半导体设备。


背景技术:

1、目前,半导体设备中的气箱,其两侧的侧面通常配置有电箱等结构,前面板由于sem i标准以及美观无法设置通风装置,而后面板处存在板状结构,会阻碍气体的流通,故存在气箱四周无可进风的位置,会出现进风量不足的问题。由于其存在进风量不足的情况,进而导致气箱内的气路存在吹扫不到位或吹扫不均匀的问题,从而导致气箱结构不符合sem i标准。


技术实现思路

1、本发明的目的包括,例如,提供了一种气箱风量补偿装置和半导体设备,其结构简单,安装方便,能够基于现有的气箱结构进行升级改造,从而能够在不改变现有气箱的结构设计的基础上进行补风,由此能够在降低结构成本的同时,增加气箱内的进风量,并能够避免出现箱内的气路存在吹扫不到位或吹扫不均匀的问题,从而能够使得气箱符合sem i标准。

2、本发明的实施例可以这样实现:

3、第一方面,本发明提供一种气箱风量补偿装置,气箱风量补偿装置包括排风组件以及导风组件;

4、排风组件包括位于气箱内的排风管,排风管的一端连接于气箱的一侧面,排风管开设有多个排气口,多个排气口沿排风管的轴线方向间隔设置,且多个排气口均用于朝向气箱的出气口方向导风;

5、导风组件与排风管连通,且用于与外部气源连通,以将外部气源输送的气流传送至排风管。

6、在可选的实施方式中,排风组件还包括活动风管以及转动电机,活动风管可转动地设置于排风管内,且与排风管同轴;转动电机与排风管连接,且与活动风管传动连接;

7、活动风管配置有多个导风孔组,且每个导风孔组均对应一个排气口,每个导风孔组均包括多个绕活动风管的轴线设置的导风孔;

8、其中,转动电机用于驱动活动风管相对于排风管转动,以使得其中一个或多个排气口与对应的导风孔组的一个导风孔连通。

9、在可选的实施方式中,排风组件与气箱可活动地连接,以沿靠近出气口的方向或远离出气口的方向运动。

10、在可选的实施方式中,气箱连接排风管的相对的两个侧壁,至少其中一个侧壁设置有滑轨以及滑动电机;

11、滑轨沿侧壁的延伸方向设置,滑动电机与排风管连接且与滑轨滑动配合,滑动电机用于驱动排风管相对于滑轨滑动。

12、在可选的实施方式中,导风组件包括伸缩风管以及导气接头;

13、伸缩风管沿滑轨的延伸方向设置于气箱的侧壁,且与其中一个滑轨同侧,伸缩风管的一端与导风组件连通,伸缩风管的另一端通过导气接头与活动风管连通。

14、在可选的实施方式中,其中一个滑轨与气箱的侧壁之间间隔并形成活动通道,活动通道的延伸方向与滑轨的延伸方向平行,伸缩风管沿排风管的活动方向可滑动的设置于活动通道内。

15、在可选的实施方式中,伸缩风管包括多个导风段以及多个导向管,多个导风段沿活动通道的延伸方向依次设置,且任意两个相邻的导风段均通过导向管连通,且导向管与活动通道可滑动地配合。

16、在可选的实施方式中,导风段包括波纹风管。

17、在可选的实施方式中,气箱内阵列式设置有多个气体检测器。

18、第二方面,本发明提供一种半导体设备,半导体设备包括上述的气箱风量补偿装置。

19、本发明实施例的有益效果包括:

20、该气箱风量补偿装置包括排风组件以及导风组件;排风组件包括位于气箱内的排风管,排风管的两端分别连接于气箱相对的两侧,排风管开设有多个排气口,多个排气口沿排风管的轴线方向间隔设置,且多个排气口均用于朝向气箱的出气口方向导风;导风组件与排风管连通,且用于与外部气源连通,以将外部气源输送的气流传送至排风管。气箱风量补偿装置结构简单,安装方便,能够基于现有的气箱结构进行升级改造,从而能够在不改变现有气箱的结构设计的基础上进行补风,由此能够在降低结构成本的同时,增加气箱内的进风量,并能够避免出现箱内的气路存在吹扫不到位或吹扫不均匀的问题,从而能够使得气箱符合sem i标准。



技术特征:

1.一种气箱风量补偿装置,其特征在于:

2.根据权利要求1所述的气箱风量补偿装置,其特征在于:

3.根据权利要求2所述的气箱风量补偿装置,其特征在于:

4.根据权利要求3所述的气箱风量补偿装置,其特征在于:

5.根据权利要求4所述的气箱风量补偿装置,其特征在于:

6.根据权利要求5所述的气箱风量补偿装置,其特征在于:

7.根据权利要求6所述的气箱风量补偿装置,其特征在于:

8.根据权利要求7所述的气箱风量补偿装置,其特征在于:

9.根据权利要求1-8中任意一项所述的气箱风量补偿装置,其特征在于:

10.一种半导体设备,其特征在于:


技术总结
本发明涉及半导体技术领域,具体而言,涉及一种气箱风量补偿装置和半导体设备。气箱风量补偿装置包括排风组件以及导风组件;排风组件包括位于气箱内的排风管,排风管的一端连接于气箱的一侧面,排风管开设有多个排气口,多个排气口沿排风管的轴线方向间隔设置,且多个排气口均用于朝向气箱的出气口方向导风;导风组件与排风管连通,且用于与外部气源连通,以将外部气源输送的气流传送至排风管。气箱风量补偿装置结构简单,安装方便,能够基于现有的气箱结构进行升级改造,从而能够在不改变现有气箱的结构设计的基础上进行补风,由此能够在降低结构成本的同时,增加气箱内的进风量。

技术研发人员:钱一萍,智顺华,张宝戈,阮昊
受保护的技术使用者:江苏微导纳米科技股份有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/9/23

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