一种柱形工件真空表面处理夹持装置的制作方法

本技术涉及真空镀膜，尤其涉及一种柱形工件真空表面处理夹持装置。

背景技术：

1、真空镀膜是以真空技术为基础利用物理或化学方法，在真空中把金属、合金化合物进行蒸发或溅射，使其被涂覆的物体（称基板、基片或集体）上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜，而真空镀膜设备用加热板则为真空镀膜器中为极重要的部分。

2、目前，真空镀膜存在工件镀层不均匀，工件上出现阴阳面的现象，大大降低了产品质量，废品率较高。

3、因此，提供一种柱形工件真空表面处理夹持装置，采用行星轮系结构，保证了工件镀层均匀，避免工件出现阴阳面的现象。

技术实现思路

1、因此，本实用新型目的是提供一种柱形工件真空表面处理夹持装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种柱形工件真空表面处理夹持装置，其包括转件盘，转件盘的上方设置有支撑座，支撑座的内部设置有驱动轴，驱动轴的底端贯穿转件盘，驱动轴的底端上设置有驱动齿轮；驱动轴的顶端设置有第一连接套，第一连接套的上方设置有转轴，转轴的顶端设置有第二连接套，第二连接套的上方设置有连接轴，连接轴的另一端设置有上太阳轮；转轴的顶端设置有上固定盘，转轴的底端设置有下固定盘，上固定盘和下固定盘之间设置有多个夹持组件，夹持组件的两端贯穿上固定盘和下固定盘，并在上固定盘和下固定盘两端的外侧均设置有行星轮，顶部多个行星轮的内部啮合有上太阳轮，底部多个行星轮的内部啮合有下太阳轮。

3、作为本实用新型所述一种柱形工件真空表面处理夹持装置的一种优选方案，其中：夹持组件的两端对向设置有上轴承座和下轴承座，上轴承座与下轴承座结构完全相同，上轴承座和下轴承座为中空结构；上轴承座的内部设置有轴承组，上轴承座的一端中心处设置有从动轴，从动轴与轴承组转动连接；从动轴的底部设置有调节柱，调节柱的底部设置有压紧柱。

4、作为本实用新型所述一种柱形工件真空表面处理夹持装置的一种优选方案，其中：下轴承座的内部设置有轴承组，下轴承座的一端中心处设置有从动轴，从动轴与轴承组转动连接；从动轴的顶端设置有伸缩杆，伸缩杆的另一端设置有放置圆台，放置圆台的底端直径大于伸缩杆的直径，放置圆台的底面边缘处设置有高温弹簧，高温弹簧的另一端固定在从动轴的顶面；压紧柱与放置圆台的圆心相互对应。

5、作为本实用新型所述一种柱形工件真空表面处理夹持装置的一种优选方案，其中：支撑座的顶端设置有固定座，固定座的顶部设置有固定轮，固定轮的顶部设置有下太阳轮；固定座、固定轮和下太阳轮的圆心垂直对应，且圆心处均设置有通孔，通孔的直径大于固定座的直径。

6、作为本实用新型所述一种柱形工件真空表面处理夹持装置的一种优选方案，其中：上太阳轮的底面圆心处设置有顶轴承，顶轴承的底面与上太阳轮的底面齐平，顶轴承与连接轴转动连接。

7、作为本实用新型所述一种柱形工件真空表面处理夹持装置的一种优选方案，其中：固定座的底部一侧设置有支撑板；上太阳轮的顶部对称设置有两个固定销孔，固定销孔的顶部设置固定板，固定板的另一端与支撑板的另一端通过连杆连接。

8、作为本实用新型所述一种柱形工件真空表面处理夹持装置的一种优选方案，其中：上太阳轮与下太阳轮的规格相同。

9、作为本实用新型所述一种柱形工件真空表面处理夹持装置的一种优选方案，其中：压紧柱的端面和放置圆台的端面为浅沉孔结构。

10、作为本实用新型所述一种柱形工件真空表面处理夹持装置的一种优选方案，其中：支撑座的内部两端均设置有高温轴承，驱动轴与高温轴承转动连接。

11、本实用新型的有益效果：

12、1.本实用新型提供一种柱形工件真空表面处理夹持装置，通过在转轴是设置上固定盘和下固定盘，上固定盘和下固定盘之间设置夹持装置，在转轴转动时，带动夹持装置两端行星轮进行旋转。

13、2.本实用新型提供一种柱形工件真空表面处理夹持装置，通过设置固定的上太阳轮和下太阳轮，使上固定盘和下固定盘旋转时，使行星轮围绕上太阳轮和下太阳轮进行公转，进而带动夹持组件进行自转。

技术特征：

1.一种柱形工件真空表面处理夹持装置，包括转件盘（1），其特征在于：转件盘（1）的上方设置有支撑座（11），支撑座（11）的内部设置有驱动轴（2），驱动轴（2）的底端贯穿转件盘（1），驱动轴（2）的底端上设置有驱动齿轮（22）；驱动轴（2）的顶端设置有第一连接套（23），第一连接套（23）的上方设置有转轴（24），转轴（24）的顶端设置有第二连接套（25），第二连接套（25）的上方设置有连接轴（26），连接轴（26）的另一端设置有上太阳轮（31）；转轴（24）的顶端设置有上固定盘（3），转轴（24）的底端设置有下固定盘（4），上固定盘（3）和下固定盘（4）之间设置有多个夹持组件，夹持组件的两端贯穿上固定盘（3）和下固定盘（4），并在上固定盘（3）和下固定盘（4）两端的外侧均设置有行星轮（52），顶部多个行星轮（52）的内部啮合有上太阳轮（31），底部多个行星轮（52）的内部啮合有下太阳轮（41）。

2.根据权利要求1所述的一种柱形工件真空表面处理夹持装置，其特征在于：所述夹持组件的两端对向设置有上轴承座（32）和下轴承座（42），上轴承座（32）与下轴承座（42）结构完全相同，上轴承座（32）和下轴承座（42）为中空结构；上轴承座（32）的内部设置有轴承组（5），上轴承座（32）的一端中心处设置有从动轴（51），从动轴（51）与轴承组（5）转动连接；从动轴（51）的底部设置有调节柱（34），调节柱（34）的底部设置有压紧柱（33）。

3.根据权利要求2所述的一种柱形工件真空表面处理夹持装置，其特征在于：所述下轴承座（42）的内部设置有轴承组（5），下轴承座（42）的一端中心处设置有从动轴（51），从动轴（51）与轴承组（5）转动连接；从动轴（51）的顶端设置有伸缩杆（44），伸缩杆（44）的另一端设置有放置圆台（45），放置圆台（45）的底端直径大于伸缩杆（44）的直径，放置圆台（45）的底面边缘处设置有高温弹簧（43），高温弹簧（43）的另一端固定在从动轴（51）的顶面；压紧柱（33）与放置圆台（45）的圆心相互对应。

4.根据权利要求1所述的一种柱形工件真空表面处理夹持装置，其特征在于：所述支撑座（11）的顶端设置有固定座（12），固定座（12）的顶部设置有固定轮（16），固定轮（16）的顶部设置有下太阳轮（41）；固定座（12）、固定轮（16）和下太阳轮（41）的圆心垂直对应，且圆心处均设置有通孔，通孔的直径大于固定座（12）的直径。

5.根据权利要求1所述的一种柱形工件真空表面处理夹持装置，其特征在于：所述上太阳轮（31）的底面圆心处设置有顶轴承（27），顶轴承（27）的底面与上太阳轮（31）的底面齐平，顶轴承（27）与连接轴（26）转动连接。

6.根据权利要求4所述的一种柱形工件真空表面处理夹持装置，其特征在于：所述固定座（12）的底部一侧设置有支撑板（15）；上太阳轮（31）的顶部对称设置有两个固定销孔（35），固定销孔（35）的顶部设置固定板（14），固定板（14）的另一端与支撑板（15）的另一端通过连杆（13）连接。

7.根据权利要求1所述的一种柱形工件真空表面处理夹持装置，其特征在于：所述上太阳轮（31）与下太阳轮（41）的规格相同。

8.根据权利要求2所述的一种柱形工件真空表面处理夹持装置，其特征在于：所述压紧柱（33）的端面和放置圆台（45）的端面为浅沉孔结构。

9.根据权利要求1所述的一种柱形工件真空表面处理夹持装置，其特征在于：所述支撑座（11）的内部两端均设置有高温轴承（21），驱动轴（2）与高温轴承（21）转动连接。

技术总结
本技术公开了一种柱形工件真空表面处理夹持装置，涉及真空镀膜技术领域，包括转件盘，转件盘的上方设置有支撑座，支撑座的内部设置有驱动轴，驱动轴的底端贯穿转件盘，驱动轴的底端上设置有驱动齿轮；驱动轴的顶端设置有第一连接套，第一连接套的上方设置有转轴，转轴的顶端设置有第二连接套，第二连接套的上方设置有连接轴，连接轴的另一端设置有上太阳轮；转轴的顶端设置有上固定盘，转轴的底端设置有下固定盘，上固定盘和下固定盘之间设置有多个夹持组件，夹持组件的两端贯穿上固定盘和下固定盘，并在上固定盘和下固定盘两端的外侧均设置有行星轮，顶部多个行星轮的内部啮合有上太阳轮，底部多个行星轮的内部啮合有下太阳轮。

技术研发人员：王桂岳,王科峰,赵松强,王同泉
受保护的技术使用者：龙口市比特真空技术有限公司
技术研发日：20240226
技术公布日：2024/9/23