一种气体喷嘴出气均匀性检测装置的制作方法

本技术涉及半导体加工设备，尤其涉及一种气体喷嘴出气均匀性检测装置。

背景技术：

1、半导体行业用喷嘴常有各种不同规格，例如93％、95％、97％、100％、103％、105％、107％，不同规格的喷嘴输出流量不同。在半导体晶圆生产加工中，分气环上需安装32-36个喷嘴，为了使每个喷嘴的输出流量一致以保证镀膜的均匀性，通常需反复打开半导体设备的反应腔，以便根据工艺数据更换不同规格喷嘴，从而将每个喷嘴的输出流量调整至所需范围内，以实现镀膜的均匀性。然而，在喷嘴调试过程中，需要反复开腔，操作繁琐，效率低。

技术实现思路

1、本实用新型的实施例提供了一种气体喷嘴出气均匀性检测装置，以解决半导体晶圆生产加工过程中，分气环上的喷嘴需要反复开腔调试，操作繁琐，效率低的问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型采取了如下技术方案。

3、一种气体喷嘴出气均匀性检测装置，包括手阀、调压阀、第一流量计和第二流量计，手阀、调压阀和第一流量计顺序连接于分气环的进气管路，第二流量计与分气环上的喷嘴连接。

4、可选地，气体喷嘴出气均匀性检测装置还包括过滤器，过滤器设置于手阀与调压阀之间。

5、可选地，气体喷嘴出气均匀性检测装置还包括电磁阀，电磁阀设置于第一流量计与分气环之间。

6、可选地，气体喷嘴出气均匀性检测装置还包括喷嘴连接件，喷嘴与第二流量计通过喷嘴连接件密封连通。

7、可选地，喷嘴连接件内设置有密封环，喷嘴穿设于密封环内。

8、可选地，气体喷嘴出气均匀性检测装置还包括分气环连接件，进气管路通过分气环连接件密封连通分气环。

9、由上述本实用新型的实施例提供的技术方案可以看出，本实用新型实施例提供了一种气体喷嘴出气均匀性检测装置，通过手阀控制进气端的开启和关闭，通过调整调压阀和第一流量计将分气环的进气端的流量调整至固定值，通过第二流量计与喷嘴连通读取分气环的出气端的流量，根据第二流量计的数据更换喷嘴以将分气环上的每个喷嘴的流量调整至一致，调整完成后将分气环安装至机台，从而避免了安装后反复开腔更换喷嘴，实现了缩短调试时间，降低调试成本，提高生产效率；同时也可验证喷嘴的流量百分比的准确性，作为质量检验的手段。

10、本实用新型附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

11、附图说明

12、图1为本实用新型实施例提供的气体喷嘴出气均匀性检测装置的结构示意图；

13、图2为本实用新型实施例提供的喷嘴连接件的结构示意图。

技术特征：

1.一种气体喷嘴出气均匀性检测装置，其特征在于，包括手阀、调压阀、第一流量计和第二流量计，所述手阀、所述调压阀和所述第一流量计顺序连接于分气环的进气管路，所述第二流量计与所述分气环上的喷嘴连接。

2.根据权利要求1所述的气体喷嘴出气均匀性检测装置，其特征在于，还包括过滤器，所述过滤器设置于所述手阀与所述调压阀之间。

3.根据权利要求1所述的气体喷嘴出气均匀性检测装置，其特征在于，还包括电磁阀，所述电磁阀设置于所述第一流量计与所述分气环之间。

4.根据权利要求1所述的气体喷嘴出气均匀性检测装置，其特征在于，还包括喷嘴连接件，所述喷嘴与所述第二流量计通过所述喷嘴连接件密封连通。

5.根据权利要求4所述的气体喷嘴出气均匀性检测装置，其特征在于，所述喷嘴连接件内设置有密封环，所述喷嘴穿设于所述密封环内。

6.根据权利要求4所述的气体喷嘴出气均匀性检测装置，其特征在于，还包括分气环连接件，所述进气管路通过所述分气环连接件密封连通所述分气环。

技术总结
本技术实施例提供了一种气体喷嘴出气均匀性检测装置，包括手阀、调压阀、第一流量计和第二流量计，手阀、调压阀和第一流量计顺序连接于分气环的进气管路，第二流量计与分气环上的喷嘴连接。通过手阀控制进气端的开启和关闭，通过调整调压阀和第一流量计将分气环的进气端的流量调整至固定值，通过第二流量计与喷嘴连通读取分气环的出气端的流量，根据第二流量计的数据更换喷嘴以将分气环上的每个喷嘴的流量调整至一致，调整完成后将分气环安装至机台，从而避免了安装后反复开腔更换喷嘴，实现了缩短调试时间，降低调试成本，提高生产效率。

技术研发人员：苏宇,张建,李伟阳,马宏坤,李士昌,田才忠
受保护的技术使用者：盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
技术研发日：20240223
技术公布日：2024/9/23