本申请涉及质谱,尤其涉及一种激光检测装置及质谱仪。
背景技术:
1、质谱仪是用于测定未知物质的质量的装置,其原理为通过激光照射混合基质的待测芯片,使待测芯片中分子或原子从它们的原始状态转变为带电离子,这些带电离子随后会被电场加速,并通过飞行时间质量分析器进行分离和检测,基于各带电离子之间的飞行时间差异来区分不同质量数的离子,从而达到质量数检测的目的。
2、因此,激光的光路方向校准和光路聚焦校准在整机装配及调试过程中就显得尤为重要。然而,目前对质谱仪中激光发射装置的激光光路校准的准确性低。
技术实现思路
1、基于此,本申请实施例提供一种激光检测装置及质谱仪。
2、为了解决上述技术问题,本申请实施例提供一种激光检测装置,采用了如下所述的技术方案:
3、一种激光检测装置,应用于质谱仪,包括:
4、基座,形成有用于供激光通过的第一光通道,且具有分别设于所述第一光通道两端的第一表面和第二表面;
5、连接组件,装设于所述第一表面,用于与所述质谱仪连接;
6、检测组件,可拆卸安装于所述第二表面,用于对通过所述第一光通道的激光进行检测。
7、进一步地,所述检测组件包括可拆卸安装于所述第二表面的校准件,所述校准件开设有方向校准孔;
8、所述方向校准孔与所述第一光通道连通,用于对通过所述第一光通道的激光进行校准检测。
9、进一步地,所述检测组件包括光束分析仪以及定位件;
10、所述定位件可拆卸安装于所述第二表面,且与所述第二表面围合形成安装区域;
11、所述光束分析仪装设于所述安装区域。
12、进一步地,所述第二表面形成的有第一安装半槽,所述定位件形成有第二安装半槽;所述安装区域由所述第一安装半槽和所述第二安装半槽围合形成;或,
13、所述定位件开设有安装槽;所述安装区域由所述第一安装槽的内表面和所述第二表面围合形成。
14、进一步地,所述定位件包括定位基板以及至少一个定位侧板;
15、所述定位侧板装设于所述定位基板,且远离所述定位基板的一侧可拆卸安装于所述第二表面;
16、所述定位基板、所述定位侧板以及所述第二表面围合形成所述安装区域。
17、进一步地,所述连接组件包括至少两个支臂;
18、所述支臂装设于所述第一表面,且远离所述第一表面的一侧与所述质谱仪可拆卸连接;
19、相邻的两个所述支臂间隔设置形成用于供激光通过的第二光通道,所述第二光通道与所述第一光通道连通。
20、进一步地,各所述支臂环绕所述第一光通道的中轴线设置。
21、进一步地,所述支臂远离所述第一表面的一侧弯折形成用于与所述质谱仪可拆卸连接的连接部。
22、进一步地,各所述支臂上的所述连接部相互连接。
23、为了解决上述技术问题,本申请实施例还提供一种质谱仪,采用了如下所述的技术方案:
24、一种质谱仪,包括如上所述的激光检测装置。
25、与现有技术相比,本申请实施例主要有以下有益效果:本申请利用激光检测装置上的检测组件对离子源上激光发射装置发射的激光进行检测校准,从而提升对激光光路的准确性;并且,检测组件可拆卸安装于基座上,因此在实际应用中可基于检测需求对激光检测装置上的检测组件进行更换,以实现对激光发射装置的激光光路进行多维度的校准,适用性广。
1.一种激光检测装置,其特征在于,应用于质谱仪,包括:
2.根据权利要求1所述的激光检测装置,其特征在于,所述检测组件包括可拆卸安装于所述第二表面的校准件,所述校准件开设有方向校准孔;
3.根据权利要求1所述的激光检测装置,其特征在于,所述检测组件包括光束分析仪以及定位件;
4.根据权利要求3所述的激光检测装置,其特征在于,所述第二表面形成的有第一安装半槽,所述定位件形成有第二安装半槽;所述安装区域由所述第一安装半槽和所述第二安装半槽围合形成。
5.根据权利要求3所述的激光检测装置,其特征在于,所述定位件包括定位基板以及至少一个定位侧板;
6.根据权利要求1至5中任一项所述的激光检测装置,其特征在于,所述连接组件包括至少两个支臂;
7.根据权利要求6所述的激光检测装置,其特征在于,各所述支臂环绕所述第一光通道的中轴线设置。
8.根据权利要求6所述的激光检测装置,其特征在于,所述支臂远离所述第一表面的一侧弯折形成用于与所述质谱仪可拆卸连接的连接部。
9.根据权利要求8所述的激光检测装置,其特征在于,各所述支臂上的所述连接部相互连接。
10.一种质谱仪,其特征在于,包括如权利要求1至9中任一项所述的激光检测装置。