一种带有温控的静电吸盘的制作方法

本技术属于静电吸盘，具体涉及一种带有温控的静电吸盘。

背景技术：

1、静电卡盘所使用的静电吸附技术是一种替代传统机械夹持、真空吸附方式的优势技术，在半导体、面板显示、光学等领域中有着广泛应用。

2、现有的静电吸盘虽然内部设置有加热丝进行温度加热，但是加热丝是连续的，也就是说不能够根据实际情况进行不同区域的加热温控调节，使用上存在一定的局限性，且在使用完毕后不便于快速排出内部的热量。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种带有温控的静电吸盘，以解决上述背景技术中提出的现有的静电吸盘虽然内部设置有加热丝进行温度加热，但是加热丝是连续的，也就是说不能够根据实际情况进行不同区域的加热温控调节，使用上存在一定的局限性，且在使用完毕后不便于快速排出内部的热量的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种带有温控的静电吸盘，包括静电吸盘主体，所述静电吸盘主体的内部设置有温控机构，所述温控机构包括固定在静电吸盘主体内壁的若干个电动推杆，所述电动推杆的活塞杆端部固定安装有安装板，所述安装板的下表面固定安装有加热板，所述静电吸盘主体的左右两侧面分别开设有进风口和排风口，所述静电吸盘主体左右两侧面正对进风口和排风口的位置处均插设有滤尘网，所述静电吸盘主体侧面螺纹安装有若干个固定螺栓，所述滤尘网侧面开设有若干个供固定螺栓拧入的固定螺纹槽，且排风口的内壁固定安装有散热扇，且进风口的内壁设置有清理机构，所述清理机构包括活动设置在进风口内的滑动板以及可拆卸安装在滑动板侧面的清洁刷，所述清洁刷与进风口内的滤尘网配合使用。

3、采用上述方案，通过设置温控机构，利用电动推杆配合安装板和加热板使用，多个温控机构单独控制，可以根据实际使用需要选择合适的加温区域，且可以通过电动推杆的伸缩实现加热板的位置调节，且配合导热铜板可以快速传导热量，提升使用便捷度，通过设置散热扇配合清理机构和滤尘网使用，使用完毕后散热扇可以加速气体的流通，提升冷却降温效率，且利用清理机构可以对进风口的滤尘网进行清理，避免网孔堵塞影响气体流通。

4、上述方案中，需要说明的是，所述加热板、散热扇以及电动滑轨均与外接电源电性连接。

5、作为一种优选的实施方式，所述静电吸盘主体下表面开设有若干个条形孔，且条形孔内固定安装有与加热板配合使用的导热铜板。

6、采用上述方案，条形孔配合导热铜板使用，导热铜板可以保证加热板工作产生的热量快速传导出来，提升加热效率。

7、作为一种优选的实施方式，所述安装板的侧面固定安装有导块，所述导块上滑动安装有导杆，所述导杆固定安装在静电吸盘主体的内壁。

8、采用上述方案，利用导块配合导杆使用，使得安装部带动加热板上下运动时稳定性更好，不易出现倾斜晃动的现象。

9、作为一种优选的实施方式，所述静电吸盘主体上进风口的内壁以及排风口的内壁均固定安装有若干个对位卡块，所述滤尘网的表面开设有若干个供对位卡块卡入的对位卡槽。

10、采用上述方案，利用对位卡块卡入到对位卡槽内，可以对滤尘网的安装进行限位，起到了很好的支撑效果。

11、作为一种优选的实施方式，所述静电吸盘主体上进风口的内壁固定安装有若干个电动滑轨，所述滑动板滑动安装在若干个电动滑轨的外表面。

12、采用上述方案，利用电动滑轨配合滑动板使用，可以保证滑动板稳定的水平运动，进而保证清洁刷的运动。

13、作为一种优选的实施方式，所述清洁刷的侧面固定安装有若干个固定块，所述固定块上插设有固定销，所述滑动板表面开设有供固定销插入的固定槽。

14、采用上述方案，利用固定块配合固定销使用，可以对清洁刷进行便捷式拆装操作，方便后续维护。

15、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

16、该带有温控的静电吸盘通过设置温控机构，利用电动推杆配合安装板和加热板使用，多个温控机构单独控制，可以根据实际使用需要选择合适的加温区域，且可以通过电动推杆的伸缩实现加热板的位置调节，且配合导热铜板可以快速传导热量，提升使用便捷度；

17、该带有温控的静电吸盘通过设置散热扇配合清理机构和滤尘网使用，使用完毕后散热扇可以加速气体的流通，提升冷却降温效率，且利用清理机构可以对进风口的滤尘网进行清理，避免网孔堵塞影响气体流通。

技术特征：

1.一种带有温控的静电吸盘，其特征在于：包括静电吸盘主体(1)，所述静电吸盘主体(1)的内部设置有温控机构(2)，所述温控机构(2)包括固定在静电吸盘主体(1)内壁的若干个电动推杆(3)，所述电动推杆(3)的活塞杆端部固定安装有安装板(4)，所述安装板(4)的下表面固定安装有加热板(5)，所述静电吸盘主体(1)的左右两侧面分别开设有进风口和排风口，所述静电吸盘主体(1)左右两侧面正对进风口和排风口的位置处均插设有滤尘网(7)，所述静电吸盘主体(1)侧面螺纹安装有若干个固定螺栓(8)，所述滤尘网(7)侧面开设有若干个供固定螺栓(8)拧入的固定螺纹槽，且排风口的内壁固定安装有散热扇(9)，且进风口的内壁设置有清理机构(10)，所述清理机构(10)包括活动设置在进风口内的滑动板(11)以及可拆卸安装在滑动板(11)侧面的清洁刷(12)，所述清洁刷(12)与进风口内的滤尘网(7)配合使用。

2.根据权利要求1所述的带有温控的静电吸盘，其特征在于：所述静电吸盘主体(1)下表面开设有若干个条形孔，且条形孔内固定安装有与加热板(5)配合使用的导热铜板(6)。

3.根据权利要求1所述的带有温控的静电吸盘，其特征在于：所述安装板(4)的侧面固定安装有导块(13)，所述导块(13)上滑动安装有导杆(14)，所述导杆(14)固定安装在静电吸盘主体(1)的内壁。

4.根据权利要求1所述的带有温控的静电吸盘，其特征在于：所述静电吸盘主体(1)上进风口的内壁以及排风口的内壁均固定安装有若干个对位卡块(15)，所述滤尘网(7)的表面开设有若干个供对位卡块(15)卡入的对位卡槽。

5.根据权利要求1所述的带有温控的静电吸盘，其特征在于：所述静电吸盘主体(1)上进风口的内壁固定安装有若干个电动滑轨(16)，所述滑动板(11)滑动安装在若干个电动滑轨(16)的外表面。

6.根据权利要求1所述的带有温控的静电吸盘，其特征在于：所述清洁刷(12)的侧面固定安装有若干个固定块(17)，所述固定块(17)上插设有固定销(18)，所述滑动板(11)表面开设有供固定销(18)插入的固定槽。

技术总结
本技术公开了一种带有温控的静电吸盘，属于静电吸盘技术领域，包括静电吸盘主体，所述静电吸盘主体的内部设置有温控机构，所述温控机构包括固定在静电吸盘主体内壁的若干个电动推杆，所述电动推杆的活塞杆端部固定安装有安装板，所述安装板的下表面固定安装有加热板，所述静电吸盘主体的左右两侧面分别开设有进风口和排风口，所述静电吸盘主体左右两侧面正对进风口和排风口的位置处均插设有滤尘网；通过设置温控机构，利用电动推杆配合安装板和加热板使用，多个温控机构单独控制，可以根据实际使用需要选择合适的加温区域，且可以通过电动推杆的伸缩实现加热板的位置调节，且配合导热铜板可以快速传导热量，提升使用便捷度。

技术研发人员：肖明
受保护的技术使用者：无锡互创芯微半导体科技有限公司
技术研发日：20240311
技术公布日：2024/9/23