一种镀膜实验用真空镀膜设备的制作方法
本技术涉及导电薄膜生产，具体地说，是涉及一种镀膜实验用真空镀膜设备。
背景技术：
1、导电薄膜一种是在pet、pp等基材的顶面、底面均镀上铜层或者铝层的高分子材料，也被称之为三明治结构，也被称为复合薄膜集流体，是一类具有多种良好性能的材料，广泛运用于锂离子电池中，在锂离子电池中主要作为电池集流体使用。
2、为了形成一定厚度规格的镀层薄膜，在批量镀膜之前，需要制作镀膜测试样品，通过对镀膜的膜厚测试来对真空镀膜工艺参数进行调整，进而调整镀膜工艺，减少镀膜成品的不良率。
3、在样品的制作中，需要考虑诸多因素，例如蒸发源与薄膜之间的距离和镀膜时长，对膜层厚度影响很大。因此，需要改变蒸发源与薄膜的间距和镀膜时长进行镀膜，以得到不同厚度的薄膜来制作镀膜测试样品。然而，利用现有的真空镀膜设备进行制作上述不同参数的镀膜测试样品，每次只能制作一种规格的镀膜测试样品，以对应同一参数，每次制作完成后，再根据测试得到的厚度数据改变参数，再进行下一次镀膜，以此反复得到所需的工艺参数，无法同时改变蒸发源与薄膜之间的距离和镀膜时长进行制作镀膜测试样品。
4、以上缺陷，亟需解决。
技术实现思路
1、为了解决利用现有的真空镀膜设备无法同时改变蒸发源与薄膜之间的距离和镀膜时长进行制作镀膜测试样品问题，本实用新型提供一种镀膜实验用真空镀膜设备。
2、本实用新型技术方案如下所述：
3、一种镀膜实验用真空镀膜设备，包括真空镀膜壳体，所述真空镀膜壳体内部设有蒸发组件，所述蒸发组件的上方设有薄膜载体组件，所述薄膜载体组件包括测试台，且所述测试台上设有至少三个用于贴附所述薄膜的测试面；
4、所述蒸发组件的底部设有升降组件，所述升降组件带动所述蒸发组件靠近或者远离所述测试台，以调整所述蒸发组件与所述测试面之间的距离。
5、根据上述方案的本实用新型，所述真空镀膜壳体包括镀膜室、移动设置在所述镀膜室一侧的移动密封室，所述移动密封室靠近所述镀膜室，使得两者之间形成用于镀膜的密封腔，所述蒸发组件设置在所述镀膜室内部。
6、根据上述方案的本实用新型，每个所述测试面的相交处均设有t形槽，每个所述t形槽均插接有测试面挡板。
7、根据上述方案的本实用新型，所述测试台内部设有用于对薄膜进行冷却的冷却液管道。
8、根据上述方案的本实用新型，所述升降组件包括安装台、升降气缸、升降台，所述升降气缸设置在所述安装台的顶部，且所述升降气缸的输出端与所述升降台连接，所述蒸发组件设置在所述升降台的顶部。
9、进一步的，所述升降台的底部设有导向柱，所述安装台的顶部设有导向筒，所述导向柱与所述导向筒插接。
10、根据上述方案的本实用新型，所述蒸发组件包括蒸发槽、多个并排设置在所述蒸发槽顶部的蒸发舟，所述蒸发槽的底部与所述升降组件的升降端连接，且所述蒸发槽与其中一个所述薄膜载体组件的测试面平行。
11、进一步的，所述蒸发组件还包括蒸发挡板，所述蒸发挡板通过挡板移动机构活动设置在所述蒸发槽的上方。
12、根据上述方案的本实用新型，所述挡板移动机构包括两个支撑座、两个齿条、两个齿轮、传动杆和电机带轮组，两个所述支撑座对称设置在所述蒸发挡板的两侧，两个所述齿条对称设置在所述蒸发挡板的底部两侧，所述传动杆设置在两个所述齿条的一侧，两个所述齿轮分别设置在所述传动杆的两端，且每个所述齿轮均与对应的所述齿条啮合，所述电机带轮组与所述传动杆的一端连接，用于带动所述传动杆转动。
13、进一步的，每个所述支撑座上设有移动槽，所述蒸发挡板的两侧滑动设置在所述移动槽上。
14、根据上述方案的本实用新型，其有益效果在于：
15、上述镀膜实验用真空镀膜设备中，蒸发组件的上方设有薄膜载体组件，薄膜载体组件包括测试台，且测试台上设有至少三个用于贴附薄膜的测试面，蒸发组件的底部设有升降组件，升降组件带动蒸发组件靠近或者远离测试台，调整蒸发组件与测试面之间的距离，可以同时改变蒸发组件与薄膜之间的距离和镀膜时长进行制作镀膜测试样品，得到不同厚度的镀膜测试样品，从而对镀膜测试样品的膜厚进行测验测试来对真空镀膜工艺参数进行调整，进而调整镀膜工艺，减少镀膜成品的不良率。
技术特征：
1.一种镀膜实验用真空镀膜设备，其特征在于，包括真空镀膜壳体，所述真空镀膜壳体内部设有蒸发组件，所述蒸发组件的上方设有薄膜载体组件，所述薄膜载体组件包括测试台，且所述测试台上设有至少三个用于贴附所述薄膜的测试面；
2.根据权利要求1所述的镀膜实验用真空镀膜设备，其特征在于，所述真空镀膜壳体包括镀膜室、移动设置在所述镀膜室一侧的移动密封室，所述移动密封室靠近所述镀膜室，使得两者之间形成用于镀膜的密封腔，所述蒸发组件设置在所述镀膜室内部。
3.根据权利要求1所述的镀膜实验用真空镀膜设备，其特征在于，每个所述测试面的相交处均设有t形槽，每个所述t形槽均插接有测试面挡板。
4.根据权利要求1所述的镀膜实验用真空镀膜设备，其特征在于，所述测试台内部设有用于对薄膜进行冷却的冷却液管道。
5.根据权利要求1所述的镀膜实验用真空镀膜设备，其特征在于，所述升降组件包括安装台、升降气缸、升降台，所述升降气缸设置在所述安装台的顶部，且所述升降气缸的输出端与所述升降台连接，所述蒸发组件设置在所述升降台的顶部。
6.根据权利要求5所述的镀膜实验用真空镀膜设备，其特征在于，所述升降台的底部设有导向柱，所述安装台的顶部设有导向筒，所述导向柱与所述导向筒插接。
7.根据权利要求1所述的镀膜实验用真空镀膜设备，其特征在于，所述蒸发组件包括蒸发槽、多个并排设置在所述蒸发槽顶部的蒸发舟，所述蒸发槽的底部与所述升降组件的升降端连接，且所述蒸发槽与其中一个所述测试面平行。
8.根据权利要求7所述的镀膜实验用真空镀膜设备，其特征在于，所述蒸发组件还包括蒸发挡板，所述蒸发挡板通过挡板移动机构活动设置在所述蒸发槽的上方。
9.根据权利要求8所述的镀膜实验用真空镀膜设备，其特征在于，所述挡板移动机构包括两个支撑座、两个齿条、两个齿轮、传动杆和电机带轮组，两个所述支撑座对称设置在所述蒸发挡板的两侧，两个所述齿条对称设置在所述蒸发挡板的底部两侧，所述传动杆设置在两个所述齿条的一侧，两个所述齿轮分别设置在所述传动杆的两端，且每个所述齿轮均与对应的所述齿条啮合，所述电机带轮组与所述传动杆的一端连接，用于带动所述传动杆转动。
10.根据权利要求9所述的镀膜实验用真空镀膜设备，其特征在于，每个所述支撑座上设有移动槽，所述蒸发挡板的两侧滑动设置在所述移动槽上。
技术总结
本技术公开了导电薄膜生产领域中的一种镀膜实验用真空镀膜设备，包括真空镀膜壳体，真空镀膜壳体内部设有蒸发组件，蒸发组件的上方设有薄膜载体组件，薄膜载体组件包括测试台，且测试台上设有至少三个用于贴附薄膜的测试面；蒸发组件的底部设有升降组件，升降组件带动蒸发组件靠近或者远离测试台，以调整蒸发组件与测试面之间的距离。解决了利用现有的真空镀膜设备无法同时改变蒸发源与薄膜之间的距离和镀膜时长进行制作镀膜测试样品问题，其可以同时改变蒸发组件与薄膜之间的距离和镀膜时长进行制作镀膜测试样品，得到不同厚度的镀膜测试样品，从而对镀膜测试样品的膜厚进行测验测试来对真空镀膜工艺参数进行调整，减少镀膜成品的不良率。
技术研发人员：臧世伟
受保护的技术使用者：深圳金美新材料科技有限公司
技术研发日：20231109
技术公布日：2024/9/23