一种重复利用靶材组件的喷砂终止线车削方法与流程
本发明属于溅射靶材，涉及一种喷砂终止线车削方法，尤其涉及一种重复利用靶材组件的喷砂终止线车削方法。
背景技术：
1、在溅射靶材的机加工过程中，靶材的特定区域需要进行喷砂处理以提升其表面性能。为了确保喷砂处理仅在特定区域内进行，避免对其他区域造成不必要的损伤，技术人员采用了一种特殊的工艺步骤——使用电工胶带来界定喷砂的范围，这种用来确定特定区域的喷砂两侧界限称为喷砂终止线。
2、然而，由于背板在多次使用后可能出现高达0.3mm以上的平面扭曲变形，这导致车削过程中胶带的切割不均匀，例如出现一些区域已被车削，而其他区域则完全没有被触及的现象。
3、为了解决这一问题，操作人员在车削后需要手动使用刀具沿着已车削出的喷砂线路径，对未被车削到的胶带进行手工切割。但手工操作的不稳定性会导致切割出的胶带线呈现椭圆形或不完整的圆形，这直接影响了喷砂区域的边缘质量，使得喷砂区域的轮廓不完整，圆度不足，若在此基础上直接喷砂的话，会造成所喷出来的喷砂区域边缘喷砂越界。这种不规范的喷砂边缘会导致溅射过程中的产品异常，进而无法满足客户的质量要求，最终可能引起客户的投诉，降低市场竞争力。
4、由此可见，如何改进现有的工艺流程，保证喷砂终止线的精确性和一致性，避免频繁出现产品质量问题，提升客户满意度和产品的市场竞争力，成为了目前本领域技术人员迫切需要解决的问题。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种重复利用靶材组件的喷砂终止线车削方法，利用胶带的柔性层叠特性，针对背板变形问题，通过层叠胶带来垫高喷砂终止线区域，从而保证了喷砂终止线的精确性和一致性，避免了频繁出现产品质量问题，提升了客户满意度和产品的市场竞争力，有利于大规模推广应用。
2、为达到此发明目的，本发明采用以下技术方案：
3、本发明提供一种重复利用靶材组件的喷砂终止线车削方法，所述喷砂终止线车削方法包括以下步骤：
4、(1)确定喷砂终止线的区域，并测量靶材组件中背板的变形量；
5、(2)在喷砂终止线的区域内粘贴至少1层胶带，记为垫高胶带，并保证所述垫高胶带的总厚度大于背板的变形量；
6、(3)在步骤(2)所述垫高胶带的表面再粘贴1层用于车削的胶带，记为车削胶带；
7、(4)开始车削处理，并在车削完成后抽出垫高胶带，仅保留车削胶带；
8、(5)将车削胶带按压紧实后形成喷砂终止线。
9、本发明利用胶带的柔性层叠特性，通过层叠胶带来垫高喷砂终止线区域，有效补偿了背板的变形量，从而保证了喷砂终止线的精确性和一致性，防止了手工修正的不稳定性，避免了频繁出现产品质量问题，提升了客户满意度和产品的市场竞争力，有利于大规模推广应用。
10、本发明中，步骤(2)所述垫高胶带为至少1层，例如可以是1层、2层、3层、4层或5层，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
11、优选地，步骤(1)所述喷砂终止线的区域位于背板边缘与靶材侧面边缘。
12、优选地，步骤(1)所述背板的变形量≥0.3mm，例如可以是0.3mm、0.35mm、0.4mm、0.45mm、0.5mm、0.55mm、0.6mm、0.65mm、0.7mm、0.75mm、0.8mm、0.85mm、0.9mm、0.95mm或1mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
13、优选地，步骤(1)所述背板的变形量采用三坐标测量机或平面度测量仪进行测量。
14、优选地，步骤(2)所述垫高胶带和步骤(3)所述车削胶带分别独立地包括聚酯胶带、聚酰亚胺胶带、聚四氟乙烯胶带、丙烯酸胶带、聚乙烯胶带或聚氯乙烯胶带中的任意一种。
15、优选地，步骤(2)所述垫高胶带和步骤(3)所述车削胶带的单层厚度分别独立地为0.1-0.2mm，例如可以是0.1mm、0.11mm、0.12mm、0.13mm、0.14mm、0.15mm、0.16mm、0.17mm、0.18mm、0.19mm或0.2mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
16、优选地，步骤(2)所述垫高胶带的总厚度与背板的变形量之间的差值为0.02-0.1mm，例如可以是0.02mm、0.03mm、0.04mm、0.05mm、0.06mm、0.07mm、0.08mm、0.09mm或0.1mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
17、优选地，步骤(4)所述车削处理采用的刀具材质包括硬质合金、陶瓷、立方氮化硼或金刚石中的任意一种。
18、优选地，步骤(4)所述车削处理的速度为100-500m/min，例如可以是100m/min、150m/min、200m/min、250m/min、300m/min、350m/min、400m/min、450m/min或500m/min，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
19、优选地，步骤(4)所述车削处理的进给量为0.1-0.5mm/r，例如可以是0.1mm/r、0.15mm/r、0.2mm/r、0.25mm/r、0.3mm/r、0.35mm/r、0.4mm/r、0.45mm/r或0.5mm/r，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
20、优选地，步骤(4)所述车削处理伴随着冷却处理。
21、作为本发明优选的技术方案，所述喷砂终止线车削方法包括以下步骤：
22、(1)在背板边缘与靶材侧面边缘确定喷砂终止线的区域，并采用三坐标测量机或平面度测量仪测量靶材组件中背板的变形量≥0.3mm；
23、(2)在喷砂终止线的区域内粘贴至少1层胶带，记为垫高胶带，并保证所述垫高胶带的总厚度大于背板的变形量，且两者之间的差值为0.02-0.1mm；
24、(3)在步骤(2)所述垫高胶带的表面再粘贴1层用于车削的胶带，记为车削胶带；
25、(4)开始车削处理，采用的刀具材质包括硬质合金、陶瓷、立方氮化硼或金刚石中的任意一种，控制车削处理的速度为100-500m/min，进给量为0.1-0.5mm/r，同时伴随着冷却处理，在车削完成后抽出垫高胶带，仅保留车削胶带；
26、(5)将车削胶带按压紧实后形成喷砂终止线。
27、其中，步骤(2)所述垫高胶带和步骤(3)所述车削胶带分别独立地包括聚酯胶带、聚酰亚胺胶带、聚四氟乙烯胶带、丙烯酸胶带、聚乙烯胶带或聚氯乙烯胶带中的任意一种，且单层厚度分别独立地为0.1-0.2mm。
28、本发明所述的数值范围不仅包括上述例举的点值，还包括没有例举出的上述数值范围之间的任意的点值，限于篇幅及出于简明的考虑，本发明不再穷尽列举所述范围包括的具体点值。
29、相对于现有技术，本发明具有以下有益效果：
30、本发明利用胶带的柔性层叠特性，通过层叠胶带来垫高喷砂终止线区域，有效补偿了背板的变形量，从而保证了喷砂终止线的精确性和一致性，防止了手工修正的不稳定性，避免了频繁出现产品质量问题，提升了客户满意度和产品的市场竞争力，有利于大规模推广应用。
技术特征：
1.一种重复利用靶材组件的喷砂终止线车削方法，其特征在于，所述喷砂终止线车削方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的喷砂终止线车削方法，其特征在于，步骤(1)所述喷砂终止线的区域位于背板边缘与靶材侧面边缘。
3.根据权利要求1或2所述的喷砂终止线车削方法，其特征在于，步骤(1)所述背板的变形量≥0.3mm。
4.根据权利要求1-3任一项所述的喷砂终止线车削方法，其特征在于，步骤(1)所述背板的变形量采用三坐标测量机或平面度测量仪进行测量。
5.根据权利要求1-4任一项所述的喷砂终止线车削方法，其特征在于，步骤(2)所述垫高胶带和步骤(3)所述车削胶带分别独立地包括聚酯胶带、聚酰亚胺胶带、聚四氟乙烯胶带、丙烯酸胶带、聚乙烯胶带或聚氯乙烯胶带中的任意一种。
6.根据权利要求1-5任一项所述的喷砂终止线车削方法，其特征在于，步骤(2)所述垫高胶带和步骤(3)所述车削胶带的单层厚度分别独立地为0.1-0.2mm。
7.根据权利要求1-6任一项所述的喷砂终止线车削方法，其特征在于，步骤(2)所述垫高胶带的总厚度与背板的变形量之间的差值为0.02-0.1mm。
8.根据权利要求1-7任一项所述的喷砂终止线车削方法，其特征在于，步骤(4)所述车削处理采用的刀具材质包括硬质合金、陶瓷、立方氮化硼或金刚石中的任意一种。
9.根据权利要求1-8任一项所述的喷砂终止线车削方法，其特征在于，步骤(4)所述车削处理的速度为100-500m/min；
10.根据权利要求1-9任一项所述的喷砂终止线车削方法，其特征在于，所述喷砂终止线车削方法包括以下步骤：
技术总结
本发明提供一种重复利用靶材组件的喷砂终止线车削方法，包括：(1)确定喷砂终止线的区域，测量靶材组件中背板的变形量；(2)在喷砂终止线的区域内粘贴至少1层胶带，记为垫高胶带，保证所述垫高胶带的总厚度大于背板的变形量；(3)在步骤(2)所述垫高胶带的表面再粘贴1层用于车削的胶带，记为车削胶带；(4)开始车削处理，在车削完成后抽出垫高胶带，仅保留车削胶带；(5)将车削胶带按压紧实后形成喷砂终止线。本发明利用胶带的柔性层叠特性，针对背板变形问题，通过层叠胶带来垫高喷砂终止线区域，从而保证了喷砂终止线的精确性和一致性，避免了频繁出现产品质量问题，提升了客户满意度和产品的市场竞争力，有利于大规模推广应用。
技术研发人员：姚力军,边逸军,沈铁城,徐礼升
受保护的技术使用者：宁波江丰电子材料股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23