抛光盘制作自动化设备的制作方法

本技术涉及抛光盘制作，具体为抛光盘制作自动化设备。

背景技术：

1、下一代集成电路晶片要求其直径大于300mill而其表面粗糙度和波纹度均小于几个埃的量级以下，为了获取如此高级别平整的表面，现有技术通过抛光垫和抛光液配合进行磨削，化学机械拋光中加工工艺中，抛光垫的作用起到一定的作用，cmp涉及复杂的摩擦行为，它包括化学反应和机械作用，而含有磨粒和化学反应物的抛光液则在晶片与抛光垫之间流动，而现有生活中抛光垫一般通过人工手动制备。

2、虽然现有生活中通过人工手动制备抛光垫在一定程度上满足了使用者的使用需求，但在使用过程中仍存在一定的缺陷，具体问题如下，人员手动制备抛光垫，导致人员的劳动强度大，且人员体力有限，进而造成了抛光垫生产效率低的问题出现，基于此，本实用新型设计了抛光盘制作自动化设备，以解决上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供抛光盘制作自动化设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：抛光盘制作自动化设备，包括安装架，所述安装架底端中部通过螺钉安装有驱动电机，所述驱动电机输出轴固定连接有转动盘，所述转动盘顶部放置有安装盘，所述安装架顶部固定安装有电动滑轨，所述电动滑轨外侧两端均滑动连接有电动滑块，所述电动滑块底部通过螺钉安装有气缸，所述气缸底部通过螺钉安装有安装板，所述安装板一端通过螺钉安装有底部注胶机械手，所述安装板一端靠近底部注胶机械手一端通过螺钉安装有侧面注胶机械手，另一个所述安装板中部两端均活动安装有导向柱，另一个所述安装板处于导向柱底部位置处通过螺钉安装有导向框，所述导向框内部设置有抛光带。

3、优选的，一个所述导向柱端部固定安装有带动电机，带动电机固定安装于安装板一端。

4、优选的，所述抛光带处于两个导向柱之间，一个所述安装板顶部处于抛光带外侧通过螺钉安装有限位框。

5、优选的，所述转动盘顶端中部固定安装有固定柱，所述固定柱顶端内部固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆端部通过螺钉安装有移动块，所述固定柱内部两端均通过螺钉安装有弹簧伸缩柱，所述弹簧伸缩柱移动端端部通过螺钉安装有移动柱，所述移动柱端部通过螺钉安装有推动块，所述弹簧伸缩柱移动端远离移动柱一端通过螺钉安装有圆弧板。

6、优选的，所述移动块与两个推动块位置处相互对应，所述推动块的一端开设有倾斜角。

7、优选的，所述圆弧板与安装盘内壁相互接触，所述移动柱贯穿弹簧伸缩柱固定端端部。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

9、1、设置有安装架、驱动电机、转动盘、安装盘、电动滑轨、电动滑块、气缸、安装板、底部注胶机械手、注胶机械手、导向柱、导向框和抛光带的使用，实现抛光盘的自动制作无需人员手动操作，降低人员的劳动强度，且通过可调的底部注胶机械手、注胶机械手和导向柱，便于制备不同大小的抛光盘，扩大装置的适用范围。

10、2、设置有固定柱、电动伸缩杆、移动块、弹簧伸缩柱、移动柱、推动块和圆弧板的使用，便于将安装盘固定，保证安装盘在收卷抛光带时的稳定性，进而使得抛光盘制备效果更佳，提高安装盘固定的效率，无需人员手动固定安装盘，降低人员的劳动强度。

技术特征：

1.抛光盘制作自动化设备，包括安装架(1)，其特征在于：所述安装架(1)底端中部通过螺钉安装有驱动电机(2)，所述驱动电机(2)输出轴固定连接有转动盘(3)，所述转动盘(3)顶部放置有安装盘(4)，所述安装架(1)顶部固定安装有电动滑轨(12)，所述电动滑轨(12)外侧两端均滑动连接有电动滑块(13)，所述电动滑块(13)底部通过螺钉安装有气缸(14)，所述气缸(14)底部通过螺钉安装有安装板(15)；

2.根据权利要求1所述的抛光盘制作自动化设备，其特征在于：所述导向柱(18)端部固定安装有带动电机，带动电机固定安装于安装板(15)一端。

3.根据权利要求1所述的抛光盘制作自动化设备，其特征在于：所述抛光带(20)处于两个导向柱(18)之间，所述安装板(15)顶部处于抛光带(20)外侧通过螺钉安装有限位框。

4.根据权利要求1所述的抛光盘制作自动化设备，其特征在于：所述转动盘(3)顶端中部固定安装有固定柱(5)，所述固定柱(5)顶端内部固定安装有电动伸缩杆(6)，所述电动伸缩杆(6)端部通过螺钉安装有移动块(7)，所述固定柱(5)内部两端均通过螺钉安装有弹簧伸缩柱(8)，所述弹簧伸缩柱(8)移动端端部通过螺钉安装有移动柱(9)，所述移动柱(9)端部通过螺钉安装有推动块(10)，所述弹簧伸缩柱(8)移动端远离移动柱(9)一端通过螺钉安装有圆弧板(11)。

5.根据权利要求4所述的抛光盘制作自动化设备，其特征在于：所述移动块(7)与两个推动块(10)位置处相互对应，所述推动块(10)的一端开设有倾斜角。

6.根据权利要求4所述的抛光盘制作自动化设备，其特征在于：所述圆弧板(11)与安装盘(4)内壁相互接触，所述移动柱(9)贯穿弹簧伸缩柱(8)固定端端部。

技术总结
本技术公开了抛光盘制作技术领域的抛光盘制作自动化设备，包括安装架，所述安装架底端中部通过螺钉安装有驱动电机，所述驱动电机输出轴固定连接有转动盘，所述转动盘顶部放置有安装盘，所述安装架顶部固定安装有电动滑轨，所述电动滑轨外侧两端均滑动连接有电动滑块，所述电动滑块底部通过螺钉安装有气缸，与现有技术相比，本技术的有益效果是，设置有安装架、驱动电机、转动盘、安装盘、电动滑轨、电动滑块、气缸、安装板、底部注胶机械手、注胶机械手、导向柱、导向框和抛光带的使用，实现抛光盘的自动制作无需人员手动操作，降低人员的劳动强度，且通过可调的底部注胶机械手、注胶机械手和导向柱，便于制备不同大小的抛光盘。

技术研发人员：阚开乐
受保护的技术使用者：深圳市鑫德普科技有限公司
技术研发日：20231215
技术公布日：2024/9/23