环状层叠体、密封件以及制造方法与流程

本发明涉及一种环状层叠体，还涉及一种包括环状层叠体的密封件以及环状层叠体的制造方法。

背景技术：

1、在专利文献1(日本特开2006－214584号公报)中，提出了用于半导体制造装置的真空闸阀的金属密封垫。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2006－214584号公报

技术实现思路

1、发明所要解决的问题

2、在将金属密封垫用于真空装置的情况下，为了确保密闭性，使压缩压力较高来将凸缘彼此紧固。金属密封垫与弹性体密封垫相比能实现高的密闭性，但另一方面，会损伤凸缘面，因此有时无法反复使用凸缘和金属密封垫。就半导体制造装置而言，通常凸缘面大多为铝制，因此从凸缘面会损伤的方面考虑，有时在半导体制造装置的主要部分无法使用金属密封垫。

3、此外，在半导体制造装置中主要使用的由氟橡胶(fkm)、全氟弹性体(ffkm)构成的弹性体密封垫不会损伤凸缘面，但要求更高的密闭性。

4、而且，在用过氧化物系交联剂使交联性全氟弹性体(ffkm)交联而得到交联物，利用该交联物被覆金属密封垫而成的密封件中，高温下的耐自由基性较低，由交联物形成的被覆部分熔融，有时无法确保密闭性。

5、本发明的目的在于，提供一种能用作在高温下发挥高耐自由基性的密封件的环状层叠体及其制造方法。

6、本发明的另一目的在于，提供一种能用作如下密封件的环状层叠体及其制造方法：在基材为金属密封垫的密封件中，在高温下发挥高耐自由基性，并且在低的压缩压力下得到高密闭性的密封件。

7、用于解决问题的方案

8、本发明提供以下的环状层叠体、密封件、制造方法以及组合物。

9、[1]一种环状层叠体，其包括基材和与所述基材相接而层叠的橡胶覆膜，所述橡胶覆膜包含如下组合物的交联物，所述组合物包含交联性全氟弹性体(ffkm)、交联剂以及溶剂，所述橡胶覆膜的厚度为1μm以上且500μm以下，所述交联剂包含选自由下述通式(1)所示的双(氨基苯酚)化合物、下述通式(2)所示的双(氨基苯硫酚)以及下述通式(3)所示的四胺化合物构成的组中的至少一种。

10、

11、〔在式(1)～(3)中，a为so2、o、c＝o、碳原子数1～6的亚烷基、碳原子数1～10的全氟亚烷基、或使两个苯环直接键合的碳－碳键。在式(1)和(2)中，位于同一苯环上的nh2基与oh基或sh基相互邻接，且nh2基、和oh基或sh基相对于基团a位于间位或对位。〕

12、[2]根据[1]所述的环状层叠体，其中，所述基材为金属密封垫。

13、[3]根据[1]所述的环状层叠体，其中，所述基材为弹性体密封垫。

14、[4]根据[1]～[3]中任一项所述的环状层叠体，其中，所述橡胶覆膜的厚度为10μm以上且200μm以下。

15、[5]根据[1]～[4]中任一项所述的环状层叠体，其中，所述交联性全氟弹性体(ffkm)含有源自含腈基的全氟乙烯基醚的结构单元。

16、[6]一种密封件，其包括如[1]～[5]中任一项所述的环状层叠体。

17、[7]一种环状层叠体的制造方法，其为如[1]所述的环状层叠体的制造方法，包括：涂布工序，将包含交联性全氟弹性体(ffkm)、交联剂以及溶剂的组合物涂布于基材上；以及交联工序，使所述组合物交联。

18、[8]根据[7]所述的环状层叠体的制造方法，其中，在所述涂布工序中，通过喷涂喷雾或浸渍将所述组合物涂布于所述基材上。

19、[9]一种组合物，其包含交联性全氟弹性体(ffkm)、交联剂以及溶剂，所述交联剂包含选自由下述通式(1)所示的双(氨基苯酚)化合物、下述通式(2)所示的双(氨基苯硫酚)以及下述通式(3)所示的四胺化合物构成的组中的至少一种。

20、

21、〔在式(1)～(3)中，a为so2、o、c＝o、碳原子数1～6的亚烷基、碳原子数1～10的全氟亚烷基、或使两个苯环直接键合的碳－碳键。在式(1)和(2)中，位于同一苯环上的nh2基与oh基或sh基相互邻接，且nh2基、和oh基或sh基相对于基团a位于间位或对位。〕

22、发明效果

23、根据本发明，能提供一种能用作在高温下发挥高耐自由基性的密封件的环状层叠体及其制造方法。此外，根据本发明，能提供一种能用作如下密封件的环状层叠体及其制造方法：在基材为金属密封垫的密封件中，在高温下发挥高耐自由基性，并且在低的压缩压力下得到高密闭性的密封件。

技术特征：

1.一种环状层叠体，其包括基材和与所述基材相接而层叠的橡胶覆膜，

2.根据权利要求1所述的环状层叠体，其中，

3.根据权利要求1所述的环状层叠体，其中，

4.根据权利要求1～3中任一项所述的环状层叠体，其中，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的环状层叠体，其中，

6.一种密封件，其包括如权利要求1～5中任一项所述的环状层叠体。

7.一种环状层叠体的制造方法，其为如权利要求1所述的环状层叠体的制造方法，包括：

8.根据权利要求7所述的环状层叠体的制造方法，其中，

9.一种组合物，其包含交联性全氟弹性体ffkm、交联剂以及溶剂，所述交联剂包含选自由下述通式(1)所示的双(氨基苯酚)化合物、下述通式(2)所示的双(氨基苯硫酚)以及下述通式(3)所示的四胺化合物构成的组中的至少一种，

技术总结
本发明涉及一种环状层叠体，其包括基材和与基材相接而层叠的橡胶覆膜，橡胶覆膜包含如下组合物的交联物，所述组合物包含交联性全氟弹性体(FFKM)、包含通式(1)～(3)所示的化合物中的至少一种的交联剂以及溶剂，橡胶覆膜的厚度为1μm以上且500μm以下。根据本发明，提供一种即使在低的压缩压力下密闭性也良好，能用作在高温下发挥高耐自由基性的密封件的环状层叠体及其制造方法。

技术研发人员：大塚未贵,野口仁志,大住直树
受保护的技术使用者：株式会社华尔卡
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23