声表面波谐振器及声表面波滤波器的制作方法

本申请涉及通信领域，特别是涉及一种声表面波谐振器及声表面波滤波器。

背景技术：

1、随着通信技术发展，产品终端对各类器件的性能提出了严格的要求，滤波器是通信系统的关键器件；随着技术发展，滤波器种类也越来越多，从lcr滤波器到腔体滤波器，从ltcc陶瓷滤波器到声表面波滤波器，滤波器的技术不断发展；自从进入lte时代以来，声表面波滤波器在通信系统中的作用愈发重要。同时随着通信技术的发展，对滤波器的各项要求也越来越高。特别是随着第五代移动通信技术(5th-generation，5g)到来，滤波器行业面临重大挑战和机遇。

2、基于单晶压电钽酸锂衬底的声表面波器件已广泛应用于射频滤波器，受限于单晶压电材料的q值和高频率温度系数，已难满足射频前端芯片的要求。仍然采用传统设计的声表面波谐振器和射频滤波器在实际应用中会出现很强的横向模式波纹，通带杂波严重，导致整体器件性能的恶化。

技术实现思路

1、基于此，有必要提供一种抑制声表面波中的横向模式波纹，提高电气性能的声表面波谐振器及声表面波滤波器。

2、一种声表面波谐振器，包括：

3、衬底层；

4、电极层，所述电极层位于所述衬底层上；所述电极层包括叉指式换能器；

5、所述叉指式换能器包括：第一汇流条和交替排布连接至所述第一汇流条的第一电极指和第一虚设电极指；第二汇流条和交替排布连接至所述第二汇流条的第二电极指和第二虚设电极指；所述第一电极指与所述第二虚设电极指相对设置，所述第一电极指与所述第二虚设电极之间具有第一间隙；所述第二电极指与所述第一虚设电极指相对设置，所述第二电极指与所述第一虚设电极之间具有第二间隙；

6、其中，各所述第一间隙沿第一方向排布，各所述第二间隙沿第二方向排布，所述第一方向和第三方向之间的角度与所述第二方向和所述第三方向之间的角度不同；在与所述衬底层的平面平行的方向上，所述第三方向与所述第一电极指的长度方向垂直。

7、在其中一个实施例中，所述第三方向与所述第一电极指的长度方向分隔形成第一象限、第二象限、第三象限及第四象限；所述第一象限与所述第二象限呈中心对称关系，所述第三象限与所述第四象限呈中心对称关系；

8、所述第一方向及所述第二方向均位于所述第一象限、所述第二象限、所述第三象限或第四象限；

9、或，所述第一方向位于所述第一象限、所述第二象限、所述第三象限及第四象限中的其中一个，所述第二方向位于除所述第一方向所在象限的另一象限；

10、或，所述第一方向及所述第二方向之一与所述第三方向平行，所述第一方向及所述第二方向另一具有夹角。

11、在其中一个实施例中，所述第一电极指及所述第一虚设电极指与所述第一汇流条倾斜设置或垂直设置；

12、和/或，所述第二电极指及所述第二虚设电极指与所述第二汇流条倾斜设置或垂直设置。

13、在其中一个实施例中，所述第一汇流条、所述第一电极指、所述第一虚设电极指、所述第二汇流条、所述第二电极指和所述第二虚设电极指共同形成连接片，所述连接片包括多个，多个所述连接片依次连接、且按照设定形状分布。

14、在其中一个实施例中，每一所述连接片上的所述第一方向和第三方向之间的角度、所述第二方向和所述第三方向之间的角度均不同。

15、在其中一个实施例中，所述连接片包括两个，两个所述连接片上的所述第一汇流条相互连接，两个所述连接片上的所述第二汇流条相互连接；所述设定形状为折线型。

16、在其中一个实施例中，所述设定形状包括一字型分布、折线型或多边形。

17、在其中一个实施例中，所述第一方向和第三方向之间的角度为α，所述第二方向和所述第三方向之间的角度为β，α与β的绝对值的差值范围为0.2°～3°。

18、在其中一个实施例中，所述第一电极指靠近所述第二虚设电极指的一端设置有第一增厚部，所述第二电极指靠近所述第一虚设电极指的一端设置有第二增厚部；所述第一虚设电极指靠近所述第二电极的一端设置有第三增厚部，所述第二虚设电极指靠近所述第一电极指的一端设置有第四增厚部。

19、本申请还提供了一种声表面波滤波器，包括上述的声表面波谐振器。

20、上述方案中，通过将第一方向和第三方向之间的角度与第二方向和第三方向之间的角度设置为不同，可以阻挡声表面波中横向能量泄露，抑制声表面波中的横向模式波纹，提高电气性能。

技术特征：

1.一种声表面波谐振器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第三方向与所述第一电极指的长度方向分隔形成第一象限、第二象限、第三象限及第四象限；所述第一象限与所述第二象限呈中心对称关系，所述第三象限与所述第四象限呈中心对称关系；

3.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一电极指及所述第一虚设电极指与所述第一汇流条倾斜设置或垂直设置；

4.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一汇流条、所述第一电极指、所述第一虚设电极指、所述第二汇流条、所述第二电极指和所述第二虚设电极指共同形成连接片，所述连接片包括多个，多个所述连接片依次连接、且按照设定形状分布。

5.根据权利要求4所述的声表面波谐振器，其特征在于，每一所述连接片上的所述第一方向和第三方向之间的角度、所述第二方向和所述第三方向之间的角度均不同。

6.根据权利要求4所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述连接片包括两个，两个所述连接片上的所述第一汇流条相互连接，两个所述连接片上的所述第二汇流条相互连接；所述设定形状为折线型。

7.根据权利要求4所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述设定形状包括一字型分布、折线型或多边形。

8.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一方向和第三方向之间的角度为α，所述第二方向和所述第三方向之间的角度为β，α与β的绝对值的差值范围为0.2°～3°。

9.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一电极指靠近所述第二虚设电极指的一端设置有第一增厚部，所述第二电极指靠近所述第一虚设电极指的一端设置有第二增厚部；所述第一虚设电极指靠近所述第二电极的一端设置有第三增厚部，所述第二虚设电极指靠近所述第一电极指的一端设置有第四增厚部。

10.一种声表面波滤波器，其特征在于，包括权利要求1～9任一项所述的声表面波谐振器。

技术总结
本申请涉及一种声表面波谐振器及声表面波滤波器，包括叉指式换能器，叉指式换能器包括：第一汇流条和交替排布连接至第一汇流条的第一电极指和第一虚设电极指；第二汇流条和交替排布连接至第二汇流条的第二电极指和第二虚设电极指；第一电极指与第二虚设电极之间具有第一间隙；第二电极指与第一虚设电极之间具有第二间隙；各第一间隙沿第一方向排布，各第二间隙沿第二方向排布，第一方向和第三方向之间的角度与第二方向和第三方向之间的角度不同。本申请通过将第一方向和第三方向之间的角度与第二方向和第三方向之间的角度设置为不同，可以阻挡声表面波中横向能量泄露，抑制声表面波中的横向模式波纹，提高电气性能。

技术研发人员：宋崇希,吴文杰,姚远,姚艳龙,张宁,王放
受保护的技术使用者：江苏卓胜微电子股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23