吸附装置及巨量转移设备的制作方法

本技术涉及显示，特别涉及一种吸附装置及巨量转移设备。

背景技术：

1、微米发光二极管(micro light emitting diode，micro led)显示面板以自发光的微米量级的发光二极管(light emitting diode，led)为发光单元，将其组装到驱动面板上形成高密度led阵列的显示技术。

2、相关技术中，由于micro led的尺寸小，集成度高以及自发光等特点，其在显示方面与液晶(liquid crystal display，lcd)显示面板以及有机发光二极管(organic light-emitting diode，oled)显示面板相比在亮度，分辨率，对比度，能耗，使用寿命，响应速度和热稳定性等方面具有更大的优势。

3、但是，micro led显示面板中micro led的高精度是实现微显示技术的关键，目前的制备设备制造得到的micro led难以满足高精度的要求，micro led显示面板的显示效果较差。

技术实现思路

1、本技术提供了一种吸附装置及巨量转移设备，可以解决相关技术中显示面板的显示效果较差的问题。所述技术方案如下：

2、一方面，提供了一种吸附装置，所述吸附装置用于吸附第一基板，所述第一基板包括第一衬底以及位于所述第一衬底的第一面的多个发光单元；所述吸附装置包括：

3、安装板；

4、吸盘组件，所述吸盘组件位于所述安装板的一侧，且所述吸盘组件和所述安装板连接，所述吸盘组件远离所述安装板的一侧用于吸附所述第一衬底的第二面；

5、压电陶瓷电机，所述压电陶瓷电机位于所述安装板和所述吸盘组件之间，且所述压电陶瓷电机和所述安装板以及所述吸盘组件连接，所述压电陶瓷电机用于驱动所述吸盘组件以带动所述第一基板沿第一方向和/或第二方向移动，所述第一方向和所述第二方向垂直，且均平行于所述吸盘组件的吸附面；

6、弧形电机，所述弧形电机位于所述安装板远离所述压电陶瓷电机的一侧，且所述弧形电机和所述安装板连接，所述弧形电机用于驱动所述吸盘组件以带动所述第一基板沿第三方向转动，所述第三方向平行于所述吸盘组件的吸附面，且所述第三方向为圆周方向；

7、以及，多个激光传感器，所述多个激光传感器位于所述弧形电机远离所述安装板的一侧，且每个所述激光传感器与所述安装板连接，所述多个激光传感器用于检测所述第一基板和第二基板之间的距离以及平行度，所述第二基板包括第二衬底以及位于所述第二衬底的一侧的多个像素电路，所述第一基板上的所述多个发光单元用于转印至所述第二基板中所述多个像素电路远离所述第二衬底的一侧。

8、可选的，所述安装板具有第一通孔，所述吸盘组件具有第二通孔，且所述吸盘组件的第二通孔在所述安装板上的正投影与所述第一通孔至少部分重叠。

9、可选的，所述第二通孔在所述安装板上的正投影位于所述第一通孔内。

10、可选的，所述第一通孔的形状为圆形，所述第二通孔的形状为矩形。

11、可选的，所述吸附装置还包括：

12、回转支承，所述回转支承位于所述安装板的和所述弧形电机之间，且所述回转支承用于承担所述第一基板移动或转动时的应力。

13、可选的，所述吸附装置还包括：

14、第一连接板，所述第一连接板位于所述吸盘组件和所述压电陶瓷电机之间，用于连接所述吸盘组件和所述压电陶瓷电机；

15、第二连接板，所述第二连接板位于所述压电陶瓷电机和回转支承之间，用于连接所述压电陶瓷电机和所述回转支承；

16、第三连接板，所述第三连接板位于所述弧形电机远离所述安装板的一侧，用于连接所述弧形电机和所述回转支承。

17、可选的，所述弧形电机包括：具有间隙且能够相对转动的定子和转子；

18、其中，所述转子和所述回转支承以及所述第三连接板连接，所述定子和所述安装板连接，所述转子相对于所述定子转动，以使得所述回转支承相对于所述安装板转动，进而使得所述压电陶瓷电机带动所述吸盘组件吸附的所述第一基板沿所述第三方向转动。

19、可选的，所述吸附装置还包括：光栅尺和光栅读数头；

20、所述光栅尺固定于所述第三连接板的外壁，所述光栅读数头和所述安装板连接，用于读取所述光栅尺上的数值。

21、可选的，所述吸盘组件包括：吸盘连接件和吸盘密封件；

22、所述吸盘连接件和所述压电陶瓷电机连接，所述吸盘密封件和所述吸盘连接件连接，且所述吸盘密封件远离所述吸盘连接件的一侧用于吸附所述第一衬底的第二面；

23、其中，所述吸盘连接件和所述吸盘密封件之间具有空腔，吸附设备用于吸出所述空腔内的空气以使得所述吸盘密封件吸附所述第一衬底的第二面。

24、可选的，所述吸附装置还包括：封装板；

25、所述封装板位于所述压电陶瓷电机和所述吸盘组件之间，用于封装所述安装板靠近所述吸盘组件的一侧。

26、另一方面，提供了一种巨量转移设备，所述巨量转移设备包括：

27、气浮平台，所述气浮平台包括承载台和固定龙门，所述固定龙门和所述承载台垂直设置；

28、待转移装置，所述待转移装置和所述承载台固定连接，且所述待转移装置远离所述承载台的一面用于吸附第二基板的第二衬底的第二面，所述第二基板还包括位于所述第二衬底的第一面的多个像素电路；

29、以及如权利要求1至10任一所述的吸附装置，所述吸附装置和所述固定龙门连接，且和所述待转移装置相对设置。

30、可选的，所述巨量转移设备还包括：

31、第四连接板，所述第四连接板和所述待转移装置连接；

32、第一直线电机，所述第一直线电机和所述第四连接板连接，用于驱动所述第四连接板带动所述待转移装置沿第四方向移动；

33、以及第二直线电机，所述第二直线电机和所述第四连接板连接，用于驱动所述第四连接板带动所述待转移装置沿第五方向移动，所述第五方向和所述第四方向相交，且均平行于所述承载台的承载面。

34、可选的，所述巨量转移设备还包括：激光器；

35、所述激光器位于所述吸附装置远离所述待转移装置的一侧，用于发射激光，以融化所述吸附装置吸附的第一基板中的第一衬底和多个发光单元之间的涂胶，进而将所述多个发光单元转印至所述第二基板中所述多个像素电路远离所述第二衬底的一侧。

36、可选的，所述巨量转移设备还包括：上料装置，转运装置以及下料装置；

37、所述上料装置中用于存储多个所述第二基板，所述转运装置用于将所述上料装置中的第二基板转运至所述待转移装置上，并将转印完成后的第二基板转运至所述下料装置，所述下料装置中用于存储多个转印完成后的第二基板。

38、可选的，所述巨量转移设备还包括：封装装置；

39、所述封装装置为中空结构，所述气浮平台，所述待转移装置以及所述吸附装置均位于所述中空结构内。

40、本技术提供的技术方案带来的有益效果至少包括：

41、本技术提供了一种吸附装置及巨量转移设备，该吸附装置中的压电陶瓷电机能够驱动吸附组件以带动吸附组件吸附的第一基板在直线方向上移动，进而实现对第一基板的位置的定位。并且，吸附装置中的弧形电机能够驱动吸附组件以带动吸附组件吸附的第一基板在圆周方向上移动，进而实现对第一基板的角度的定位。由此，在位置定位以及角度定位完成后，即可将第一基板的多个发光单元转印至第二基板上，以和第二基板的像素电路连接。由于压电陶瓷电机以及弧形电机的精度都较高，因此可以使得第一基板的位置精度和角度精度均较高，进而使得第一基板的发光单元的转印精度较高。由此，可使得第二基板上的转印完成的发光单元的精度较高，提高显示面板的显示效果。

技术特征：

1.一种吸附装置，其特征在于，所述吸附装置(1)用于吸附第一基板(a)，所述第一基板(a)包括第一衬底以及位于所述第一衬底的第一面的多个发光单元；所述吸附装置(1)包括：

2.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述安装板(101)具有第一通孔(a)，所述吸盘组件(102)具有第二通孔(102a)，且所述吸盘组件(102)的第二通孔(102a)在所述安装板(101)上的正投影与所述第一通孔(a)至少部分重叠。

3.根据权利要求2所述的吸附装置，其特征在于，所述第二通孔102a在所述安装板(101)上的正投影位于所述第一通孔(a)内。

4.根据权利要求2所述的吸附装置，其特征在于，所述第一通孔(a)的形状为圆形，所述第二通孔(102a)的形状为矩形。

5.根据权利要求1至4任一所述的吸附装置，其特征在于，所述吸附装置(1)还包括：

6.根据权利要求5所述的吸附装置，其特征在于，所述吸附装置(1)还包括：

7.根据权利要求6所述的吸附装置，其特征在于，所述弧形电机(104)包括：具有间隙且能够相对转动的定子(1021)和转子(1022)；

8.根据权利要求7所述的吸附装置，其特征在于，所述吸附装置(1)还包括：光栅尺(110)和光栅读数头(111)；

9.根据权利要求1至4任一所述的吸附装置，其特征在于，所述吸盘组件(102)包括：吸盘连接件(1021)和吸盘密封件(1022)；

10.根据权利要求1至4任一所述的吸附装置，其特征在于，所述吸附装置(1)还包括：封装板(112)；

11.一种巨量转移设备，其特征在于，所述巨量转移设备包括：

12.根据权利要求11所述的巨量转移设备，其特征在于，所述巨量转移设备还包括：

13.根据权利要求11所述的巨量转移设备，其特征在于，所述巨量转移设备还包括：激光器(7)；

14.根据权利要求11至13任一所述的巨量转移设备，其特征在于，所述巨量转移设备还包括：上料装置(8)，转运装置(9)以及下料装置(10)；

15.根据权利要求11至13任一所述的巨量转移设备，其特征在于，所述巨量转移设备还包括：封装装置；

技术总结
本申请公开了一种吸附装置及巨量转移设备，涉及显示技术领域。该吸附装置中的压电陶瓷电机能够驱动吸附组件以带动吸附组件吸附的第一基板在直线方向上移动，进而实现对第一基板的位置的定位。并且，吸附装置中的弧形电机能够驱动吸附组件以带动吸附组件吸附的第一基板在圆周方向上移动，进而实现对第一基板的角度的定位。在位置定位以及角度定位完成后，即可将第一基板的多个发光单元转印至第二基板上，以和第二基板的像素电路连接。由于压电陶瓷电机以及弧形电机的精度都较高，因此可以使得第一基板的位置精度和角度精度均较高，进而使得第一基板的发光单元的转印精度较高，提高显示面板的显示效果。

技术研发人员：陈仲林,闫俊伟,裴光辉,王成飞,周韧,袁广才,谷新,张笑,安金鑫,李海旭,任泽
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23