一种硅片加热装置的制作方法

本技术涉及硅片加热，更具体地说，涉及一种硅片加热装置。

背景技术：

1、硅材加工成型时，需固定工件与加工中心的相对位置，脆材在进行加工时，会尽可能避免装夹，因此当装夹或一般方式无法起到良好作用时，会采用蜡来胶结工件，使加工位置处于有利状态。现有的硅材加工中，缺少可连续用于快速实现硅材加热，实现硅材与其他基材胶结的装置。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种硅片加热装置，用以解决上述背景技术中存在的技术问题。

2、本实用新型技术方案提供一种硅片加热装置，包括主体框架、设置在所述主体框架的隔热组件、设置在所述隔热组件上的加热组件和位于所述加热组件上方的导热组件；

3、所述隔热组件包括隔热支架和位于所述隔热支架下方的散热板，所述导热组件通过支撑架与所述散热板连接，所述支撑架穿过所述隔热支架，且两端分别连接所述散热板和导热组件，所述导热组件与所述加热组件接触。

4、在一个优选地实施例中，所述主体框架包括支撑座、设置在所述支撑座上的后挡板、位于所述后挡板两侧的侧挡板和与所述后挡板相对设置的前限位板。

5、在一个优选地实施例中，所述加热组件包括设置在所述隔热支架上的电磁炉。

6、在一个优选地实施例中，所述导热组件包括设置在所述电磁炉上的导热板一和位于所述导热板一上方的导热板二，所述导热板二与所述散热板通过支撑架连接。

7、在一个优选地实施例中，所述电磁炉一侧与所述前限位板相抵，另一侧通过限位杆限位，所述限位杆穿过所述后挡板设置，所述限位杆端部设置有挡块，所述挡块与所述电磁炉抵压接触，所述限位杆通过螺栓固定在所述后挡板上。

8、在一个优选地实施例中，所述隔热支架为玻纤支架，且呈网格状。

9、本实用新型技术方案的有益效果是：

10、本方案可以安全快速实现硅片与基材的胶结，隔热支架为玻纤支架，具有耐高温的特性，同时采用网格设计，可以留出足够的散热空间，隔热支架的设置使得导热组件不与主体框架接触；导热组件上的多余热量可以通过支撑架传导至散热板上散出。通过设置隔热支架和散热板，保证在硅片加热过程中主体框架不会发烫，便于操作，避免烫伤。

技术特征：

1.一种硅片加热装置，其特征在于：包括主体框架、设置在所述主体框架的隔热组件、设置在所述隔热组件上的加热组件和位于所述加热组件上方的导热组件；

2.根据权利要求1所述的一种硅片加热装置，其特征在于：所述主体框架包括支撑座、设置在所述支撑座上的后挡板、位于所述后挡板两侧的侧挡板和与所述后挡板相对设置的前限位板。

3.根据权利要求2所述的一种硅片加热装置，其特征在于：所述加热组件包括设置在所述隔热支架上的电磁炉。

4.根据权利要求3所述的一种硅片加热装置，其特征在于：所述导热组件包括设置在所述电磁炉上的导热板一和位于所述导热板一上方的导热板二，所述导热板二与所述散热板通过支撑架连接。

5.根据权利要求3所述的一种硅片加热装置，其特征在于：所述电磁炉一侧与所述前限位板相抵，另一侧通过限位杆限位，所述限位杆穿过所述后挡板设置，所述限位杆端部设置有挡块，所述挡块与所述电磁炉抵压接触，所述限位杆通过螺栓固定在所述后挡板上。

6.根据权利要求1所述的一种硅片加热装置，其特征在于：所述隔热支架为玻纤支架，且呈网格状。

技术总结
本技术公开了一种硅片加热装置，涉及硅片加热技术领域，包括主体框架、设置在所述主体框架的隔热组件、设置在所述隔热组件上的加热组件和位于所述加热组件上方的导热组件。所述隔热组件包括隔热支架和位于所述隔热支架下方的散热板，所述导热组件通过支撑架与所述散热板连接，所述支撑架穿过所述隔热支架，且两端分别连接所述散热板和导热组件。隔热支架为玻纤支架，具有耐高温的特性，同时采用网格设计，可以留出足够的散热空间，隔热支架的设置使得导热组件不与主体框架接触；导热组件上的多余热量可以通过支撑架传导至散热板上散出。通过设置隔热支架和散热板，保证在硅片加热过程中主体框架不会发烫，便于操作，避免烫伤。

技术研发人员：郑人豪
受保护的技术使用者：合盟精密工业（合肥）有限公司
技术研发日：20240119
技术公布日：2024/9/23