天车用半自动升降限位机构与提升工装的制作方法

xiaoxiao13天前  20


本技术的实施例涉及天车运输领域,特别涉及一种天车用半自动升降限位机构与提升工装。


背景技术:

1、随着我国半导体技术的不断深入,系统集成商需要不断提高生产效率和降低成本来适应技术的发展。天车搬运系统(oht)是半导体制造厂中一种重要的自动搬运系统,通过它可以提高物料运输效率、降低人力成本、降低车间空间占用率以及相应的减少产品污染率,以求在根本上改善整体生产流程。目前主要使用天车实现晶圆点对点搬运,而将天车安全提升到天车轨道中为一大难题。

2、早期的提升工装为了保证天车提升过程中的安全稳定,会在地面设计牢固的导向框架,但其结构冗余耗费大量设计生产及安装成本,已逐渐被淘汰。目前较为先进的设计是利用皮带卷扬的方式提升天车,将地面固定机构全部取消,将驱动电机放置在房顶,一个驱动电机控制多个卷扬轮,卷扬轮伸出四根皮带分别固定在提升机的四个角,电机旋转控制皮带带动提升机缓慢上升,小车车轮本身自带刹车系统,依靠小车车轮与提升轨道之间的摩擦力提供防滑阻力,但当提升机未处于完全水平状态时,小车有沿着倾斜方向滑动的风险从而造成坠落。


技术实现思路

1、为弥补现有技术天车在提升的过程中,仅依靠天车的车轮本身的刹车系统无法将天车完全固定在吊装导轨上,可能会引发天车坠落的不足,本实用新型的实施例提供一种天车用半自动升降限位机构与提升工装,使限位模组能将天车固定在吊装导轨上,避免小车在抬升过程中受到重力影响发生倾斜。

2、为了解决上述技术问题,本实用新型的实施例提供以下技术方案。

3、在第一方面中,本实用新型的实施例提供一种天车用半自动升降限位机构,其包括:活动导轨、限位模组与驱动装置。活动导轨上设置有凹槽,凹槽的纵向轴线与活动导轨的纵向轴线成一夹角。限位模组沿着水平方向设置在凹槽内,并能沿着凹槽滑动,限位模组能在第一位置和第二位置之间切换,当限位模组处于第一位置时,限位模组抵接天车的车轮,限制车轮的滑动,且当限位模组处于第二位置时,限位模组不限制车轮的滑动。驱动装置用于使限位模组在第一位置和第二位置之间切换。

4、此外在第一方面中,驱动装置包括手动驱动装置和自动化驱动装置,手动驱动装置用于当天车在下方时驱动限位模组;自动化驱动装置用于当天车在上方时驱动限位模组。

5、此外在第一方面中,限位模组包括:推拉板、定位销与限位块。推拉板设置在凹槽内并沿着凹槽滑动,限位块设置在推拉板靠近天车的一端,用以抵靠天车的车轮以限制天车的运动;定位销竖直设置在推拉板上,用于插入自动化驱动装置,以使活动导轨与天轨对接。

6、此外在第一方面中,限位模组还包括:安装基座,第一滑轨与滑块。安装基座设置在凹槽内,第一滑轨沿着平行垂直于活动导轨的方向设置在安装基座上,滑块设置在第一滑轨上并沿着第一滑轨运动,推拉板固定在滑块上并伴随着滑块运动。

7、此外在第一方面中,自动化驱动装置包括:定位销插座与传动组件。定位销插座设置有腔体,用以定位销插入腔体,传动组件与定位销插座连接,以驱动定位销插座沿着推拉板滑动的纵向轴线方向运动。

8、此外在第一方面中,定位销插座底部设置有喇叭状入口,喇叭状入口与腔体相连通。

9、此外在第一方面中,定位销采用阶梯式圆柱设置,定位销的顶部为圆柱锥。

10、此外在第一方面中,传动组件包括:驱动件、齿轮与齿条。齿轮套设在驱动件的输出轴上,齿轮与齿条相互啮合,用以带动齿条沿着平行于推拉板滑动的纵向轴线方向运动,定位销插座与齿条连接,并伴随齿条共同运动。

11、此外在第一方面中,传动组件还包括顶部安装架、滑槽、检测片、第一传感器与第二传感器。顶部安装架设置在房顶上,滑槽与顶部安装架连接,齿条设置在滑槽内并沿着滑槽滑动,检测片与齿条连接并伴随齿条运动,第一传感器与第二传感器分别设置在顶部安装架的同侧,第一传感器与第二传感器均用于检测检测片,并根据检测片的位置确定定位销插座的位置。

12、在另一方面,本实用新型的实施例还提供一种提升工装,其包括上述的天车用半自动升降限位机构,此外提升工装还包括主控模块,主控模块通信与自动化驱动装置连接,以控制自动化驱动装置的启停。

13、与现有技术相比,本实用新型的实施例的有益效果在于:

14、通过设置有半自动升降限位机构,以使天车在伴随活动导轨抬升的过程中,通过限位模组与天车的接触,以避免当活动导轨由于设置区域倾斜或受到重力影响发生倾斜时天车由活动导轨上滑落,保证了天车的正常使用安全。并且自动化驱动装置能对于抬升至屋顶天轨处的活动导轨进行定位,使活动导轨与天轨顺利接轨,同时自动化驱动装置能解除限位模组对于天车的锁定,在屋顶处人工无法操作的位置实现对于天车的自动解锁,使天车能顺利的在天轨上运行。



技术特征:

1.一种天车用半自动升降限位机构,其特征在于,其包括:

2.如权利要求1所述的天车用半自动升降限位机构,其特征在于,所述驱动装置包括手动驱动装置和自动化驱动装置,所述手动驱动装置用于当天车在下方时驱动所述限位模组;所述自动化驱动装置用于当天车在上方时驱动所述限位模组。

3.如权利要求2所述的天车用半自动升降限位机构,其特征在于,所述限位模组包括:推拉板、定位销与限位块;

4.如权利要求3所述的天车用半自动升降限位机构,其特征在于,所述限位模组还包括:安装基座,第一滑轨与滑块;

5.如权利要求3所述的天车用半自动升降限位机构,其特征在于,所述自动化驱动装置包括:定位销插座与传动组件;

6.如权利要求5所述的天车用半自动升降限位机构,其特征在于,所述定位销插座底部设置有喇叭状入口,所述喇叭状入口与所述腔体相连通。

7.如权利要求6所述的天车用半自动升降限位机构,其特征在于,所述定位销采用阶梯式圆柱设置,所述定位销的顶部为圆柱锥。

8.如权利要求5所述的天车用半自动升降限位机构,其特征在于,所述传动组件包括:驱动件、齿轮与齿条;

9.如权利要求8所述的天车用半自动升降限位机构,其特征在于,所述传动组件还包括顶部安装架、滑槽、检测片、第一传感器与第二传感器;

10.一种提升工装,其特征在于,其包括如权利要求2-9中任意一项所述的天车用半自动升降限位机构,所述提升工装还包括主控模块,所述主控模块与所述自动化驱动装置通信连接,以控制所述自动化驱动装置的启停。


技术总结
本技术的实施例涉及一种天车用半自动升降限位机构,其包括:活动导轨、限位模组与驱动装置。活动导轨上设置有凹槽,凹槽的纵向轴线与活动导轨的纵向轴线成一夹角。限位模组沿着水平方向设置在凹槽内,并能沿着凹槽滑动,限位模组能在第一位置和第二位置之间切换,当限位模组处于第一位置时,限位模组抵接天车的车轮,限制车轮的滑动,且当限位模组处于第二位置时,限位模组不限制车轮的滑动。驱动装置用于使限位模组在第一位置和第二位置之间切换。通过限位模组与天车的车轮的抵接,使得车轮无法进行转动,以避免当活动导轨由于设置区域倾斜或受到重力影响发生倾斜时天车由活动导轨上滑落。

技术研发人员:赵萌,小野出
受保护的技术使用者:尊芯(上海)半导体科技有限公司
技术研发日:20240124
技术公布日:2024/9/23

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