真空腔体的连接结构的制作方法
本技术涉及真空腔体的，尤其涉及一种真空腔体的连接结构。
背景技术：
1、真空腔体是一个密封的容器，通过真空泵从中抽走空气和其他气体。这样在腔体内部创造了一个低压环境，通常用于科学研究和工业应用，这些过程需要低压条件。
2、真空腔体在使用的过程中，存在以下问题：
3、1、现有的合页采用压铸成型的方式进行制造，然后通过销钉的方式进行连接。在等离子真空腔体中采用此类型的合页进行连接后，由于合页采用压铸成型，使得合页的制造精度低下。直接应用于等离子真空腔体中，无法保证腔盖与腔体之间的平面度，进而会导致腔盖与腔体之间的密封性不高。
4、2、真空腔体由腔盖和腔体组成，而为了使腔体内部实现密封，需要腔盖采用较重的结构，以避免在抽真空的过程中造成腔盖损坏或变形。在后续的使用过程中，操作员需要克服腔盖的重力，以将腔盖打开。反复的开启和关闭容易导致操作员疲惫，并存在安全隐患。
5、3、其次，操作员在取料的过程中，腔体会挡住操作员的视线，导致取料不方便。
6、而专利号为202323287019.2的一种合页，将第一安装件和第二安装件分别固定于等离子真空腔体和腔盖上，然后调节矫正件，以调节所述第一安装件与所述第二安装件的平面度。以调整第一安装件与第二安装件所连接的真空腔体与腔盖的平面度。以避免由于合页而导致等离子真空腔体的腔盖与腔体之间平面度低，造成等离子真空腔体密封性不高的问题。以提高等离子真空腔体对产品加工过程中的质量。
7、但是，仅仅采用合页连接腔盖与腔体后，由于腔盖较重，在长期使用的过程中，腔盖的重力会直接作用于合页，进而导致合页产生变形。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种真空腔体的连接结构，以解决由于腔盖重而导致腔盖难以打开的问题。
2、根据本实用新型的一方面，提供一种真空腔体的连接结构，所述真空腔体的连接结构包括：
3、固定板，固定于腔体上；
4、腔盖，具有侧面、第一安装面和第二安装面，所述第一安装面与所述第二安装面平行设置，所述侧面与所述第一安装面垂直设置；
5、第一支撑组件，一端设于所述固定板上，另一端设于所述第一安装面上；
6、第二支撑组件，一端设于所述固定板上，另一端设于所述第二安装面上；
7、合页组件，一端设于所述固定板上，另一端设于所述侧面上。
8、在本申请的至少一个实施例中，所述第一支撑组件到所述第二支撑组件的方向为第一方向，所述第一方向沿所述腔盖的重力方向设置。
9、在本申请的至少一个实施例中，所述第一支撑组件包括：
10、第一液压固定杆，一端转动连接于所述固定板；
11、第一液压活动杆，一端转动连接于所述腔盖，另一端设于所述第一液压固定杆，所述第一液压活动杆能够相对于所述第一液压固定杆运动，以推动所述腔盖。
12、在本申请的至少一个实施例中，所述第二支撑组件包括：
13、第二液压固定杆，一端转动连接于所述固定板；
14、第二液压活动杆，一端转动连接于所述腔盖，另一端设于所述第二液压固定杆，所述第二液压活动杆能够相对于所述第二液压固定杆运动，以推动所述腔盖。
15、在本申请的至少一个实施例中，所述第一液压固定杆远离所述第一液压活动杆的一端开设有第一转动孔；
16、所述固定板上凸设有第一定位轴，所述第一定位轴贯穿所述第一转动孔；
17、所述第一液压活动杆远离所述第一液压固定杆的一端开设有第二转动孔；
18、所述第一安装面上凸设有第二定位轴，所述第二定位轴贯穿所述第二转动孔。
19、在本申请的至少一个实施例中，所述第二液压固定杆远离所述第二液压活动杆的一端开设有第三转动孔；
20、所述固定板上凸设有第三定位轴，所述第三定位轴贯穿所述第三转动孔；
21、所述第二液压活动杆远离所述第二液压固定杆的一端开设有第四转动孔；
22、所述第二安装面上凸设有第四定位轴，所述第四定位轴贯穿所述第四转动孔。
23、在本申请的至少一个实施例中，所述腔盖远离所述侧面的一侧开设有贯穿孔；
24、所述真空腔体的连接结构还包括：
25、可视件，设于所述贯穿孔内并完全遮挡所述贯穿孔。
26、在本申请的至少一个实施例中，所述合页组件包括：
27、第一安装件，具有抵接面，所述第一安装件设于所述固定板上；
28、第二安装件，设于所述侧面；
29、连接组件，两端分别设于所述第一安装件和所述第二安装件上，所述连接组件开设有至少两个第一安装孔；
30、至少两个矫正件，每个所述矫正件均与所述连接组件螺纹连接，每个所述矫正件均贯穿一个所述第一安装孔，并与所述抵接面抵接。
31、在本申请的至少一个实施例中，所述合页组件为两个，其中一个所述合页组件靠近所述第一支撑组件设置，另一个所述合页组件靠近所述第二支撑组件设置。
32、在本申请的至少一个实施例中，所述固定板远离所述腔盖的一侧设有第一定位板和所述第二定位板；
33、所述第一支撑组件一端可转动连接于所述第一定位板；
34、所述第二支撑组件一端可转动连接于所述第二定位板；
35、所述第一定位板与所述第二定位板平行设置。
36、实施本实用新型实施例，将具有如下有益效果：
37、本实施例中的真空腔体的连接结构，由于腔盖，具有侧面、第一安装面和第二安装面，所述第一安装面与所述第二安装面平行设置，所述侧面与所述第一安装面垂直设置；第一支撑组件，一端设于所述固定板上，另一端设于所述第一安装面上；第二支撑组件，一端设于所述固定板上，另一端设于所述第二安装面上，当操作员开始开启腔盖时，第一支撑组件和第二支撑组件承担起腔盖的重量。腔盖的重量得到有效的分散和平衡。操作员在开启腔盖时，由于腔盖重量得到有效分担，使得操作更加轻松。由于腔盖的重量被第一支撑组件和第二支撑组件分担，操作员在重复操作中不容易感到疲劳，且减少了因重力突然作用导致的安全风险。
技术特征：
1.一种真空腔体的连接结构，其特征在于，所述真空腔体的连接结构包括：
2.根据权利要求1所述的真空腔体的连接结构，其特征在于，所述第一支撑组件到所述第二支撑组件的方向为第一方向，所述第一方向沿所述腔盖的重力方向设置。
3.根据权利要求1所述的真空腔体的连接结构，其特征在于，所述第一支撑组件包括：
4.根据权利要求1所述的真空腔体的连接结构，其特征在于，所述第二支撑组件包括：
5.根据权利要求3所述的真空腔体的连接结构，其特征在于，所述第一液压固定杆远离所述第一液压活动杆的一端开设有第一转动孔；
6.根据权利要求4所述的真空腔体的连接结构，其特征在于，所述第二液压固定杆远离所述第二液压活动杆的一端开设有第三转动孔；
7.根据权利要求1所述的真空腔体的连接结构，其特征在于，所述腔盖远离所述侧面的一侧开设有贯穿孔；
8.根据权利要求1所述的真空腔体的连接结构，其特征在于，所述合页组件包括：
9.根据权利要求1所述的真空腔体的连接结构，其特征在于，所述合页组件为两个，其中一个所述合页组件靠近所述第一支撑组件设置，另一个所述合页组件靠近所述第二支撑组件设置。
10.根据权利要求1所述的真空腔体的连接结构，其特征在于，所述固定板远离所述腔盖的一侧设有第一定位板和第二定位板；
技术总结
本技术涉及一种真空腔体的连接结构，由于腔盖，具有侧面、第一安装面和第二安装面，所述第一安装面与所述第二安装面平行设置，所述侧面与所述第一安装面垂直设置；第一支撑组件，一端设于所述固定板上，另一端设于所述第一安装面上；第二支撑组件，一端设于所述固定板上，另一端设于所述第二安装面上，当操作员开始开启腔盖时，第一支撑组件和第二支撑组件承担起腔盖的重量。腔盖的重量得到有效的分散和平衡。操作员在开启腔盖时，由于腔盖重量得到有效分担，使得操作更加轻松。由于腔盖的重量被第一支撑组件和第二支撑组件分担，操作员在重复操作中不容易感到疲劳，且减少了因重力突然作用导致的安全风险。
技术研发人员：李志强
受保护的技术使用者：易科微电子（深圳）有限公司
技术研发日：20240125
技术公布日：2024/9/23