一种单晶炉水冷热屏用清洁装置的制作方法
本技术涉及单晶炉清洁，具体涉及一种单晶炉水冷热屏用清洁装置。
背景技术：
1、单晶炉是一种在惰性气体(氩气为主)环境中，用石墨加热器等将多晶硅等多晶材料熔化，然后用直拉法向上直拉生长出晶棒的设备。晶棒可用于制作无错位单晶材料。晶棒在向上生长的过程中，需要进行冷却，使得晶棒结晶成型。冷却过程中使单晶炉水冷热屏的内壁会不断累积增加附着物，为了保证单晶炉的冷却效果，需要清洁装置将附着物清除。
2、现有的清洁装置在清理过程中，附着物或随意向下飘落，无法进行收集，会造成附着物的堆积，拉晶时，影响成晶。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种单晶炉水冷热屏用清洁装置，通过设置驱动电机和伸缩杆使充气环和清洁组件下移进行清洁附着物，同时在内部设置的收集组件，将其打开后位于水冷热屏的底端下方并将其覆盖，解决了现有技术中存在的上述问题。
2、为解决上述技术问题，本实用新型采用了以下方案：
3、一种单晶炉水冷热屏用清洁装置，包括两个弧形板，所述两个弧形板之间设有第一弹簧，所述弧形板的内侧设有伸缩杆，所述伸缩杆的伸缩端下方依次连接充气环和清洁组件，所述伸缩杆的顶端与驱动电机连接，所述充气环的内部设有用于收集附着物的收集组件。
4、优选地，所述弧形板的底部设有u型槽，所述u形成与水冷热屏的顶端卡接，所述弧形板的端部设有第一连接杆，所述第一连接杆与位于中心的第一环形板连接。
5、优选地，所述收集组件包括固定杆和位于固定杆底端的收缩部，所述固定杆的外周开设滑动槽，所述滑动槽内装配有顶部设有把手的拉杆，所述拉杆的底端与收缩部连接。
6、优选地，所述拉杆的底部设有环形的滑动块，所述滑动块的底部设有第二连接杆与收缩部的中部固定连接，所述滑动块与拉杆的外周面连接，所述滑动块与固定杆的外周面存在间隙。
7、优选地，所述清洁组件包括第二环形板和清洁刷，所述充气环的下方设置l型杆与第二环形板的外周面连接，所述清洁刷围绕第二环形板环形阵列。
8、优选地，还包括位于第二环形板外周的基座和活塞杆，所述活塞杆的一端位于基座内，所述活塞杆的另一端与清洁刷连接，所述基座内设有第二弹簧，所述活塞杆位于基座内的端部设有限位板。
9、优选地，所述充气环设有与水冷热屏内壁相对的充气孔，所述充气环与进气管连接。
10、本实用新型具有的有益效果：本实用新型通过设置收集组件，在拉杆、滑动块和第二连接杆的上下活动作用下，使收缩部进行展开或者关闭，展开时进行附着物的收集，避免附着物随意散落而影响后续成晶，同时进行附着物的及时集中收集，提高清洁效果；设置清洁组件，清洁刷向基座内移动时，相邻清洁刷的端部相互错开重叠，清洁无死角，清洁效率高。
技术特征：
1.一种单晶炉水冷热屏用清洁装置，其特征在于，包括两个弧形板(1)，所述两个弧形板(1)之间设有第一弹簧(11)，所述弧形板(1)的内侧设有伸缩杆(7)，所述伸缩杆(7)的伸缩端下方依次连接充气环(2)和清洁组件(3)，所述伸缩杆(7)的顶端与驱动电机(6)连接，所述充气环(2)的内部设有用于收集附着物的收集组件(5)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉水冷热屏用清洁装置，其特征在于，所述弧形板(1)的底部设有u型槽(10)，所述u形成与水冷热屏(4)的顶端卡接，所述弧形板(1)的端部设有第一连接杆(12)，所述第一连接杆(12)与位于中心的第一环形板(13)连接。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉水冷热屏用清洁装置，其特征在于，所述收集组件(5)包括固定杆(50)和位于固定杆(50)底端的收缩部(52)，所述固定杆(50)的外周开设滑动槽(500)，所述滑动槽(500)内装配有顶部设有把手(510)的拉杆(51)，所述拉杆(51)的底端与收缩部(52)连接。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉水冷热屏用清洁装置，其特征在于，所述拉杆(51)的底部设有环形的滑动块(54)，所述滑动块(54)的底部设有第二连接杆(53)与收缩部(52)的中部固定连接，所述滑动块(54)与拉杆(51)的外周面连接，所述滑动块(54)与固定杆(50)的外周面存在间隙。
5.根据权利要求3所述的一种单晶炉水冷热屏用清洁装置，其特征在于，所述清洁组件(3)包括第二环形板(30)和清洁刷(34)，所述充气环(2)的下方设置l型杆(8)与第二环形板(30)的外周面连接，所述清洁刷(34)围绕第二环形板(30)环形阵列。
6.根据权利要求5所述的一种单晶炉水冷热屏用清洁装置，其特征在于，还包括位于第二环形板(30)外周的基座(31)和活塞杆(32)，所述活塞杆(32)的一端位于基座(31)内，所述活塞杆(32)的另一端与清洁刷(34)连接，所述基座(31)内设有第二弹簧(33)，所述活塞杆(32)位于基座(31)内的端部设有限位板(320)。
7.根据权利要求5所述的一种单晶炉水冷热屏用清洁装置，其特征在于，所述充气环(2)设有与水冷热屏(4)内壁相对的充气孔(20)，所述充气环(2)与进气管(21)连接。
技术总结
本技术公开了一种单晶炉水冷热屏用清洁装置，包括两个弧形板，所述两个弧形板之间设有第一弹簧，所述弧形板的内侧设有伸缩杆，所述伸缩杆的伸缩端下方依次连接充气环和清洁组件，所述伸缩杆的顶端与驱动电机连接，所述充气环的内部设有用于收集附着物的收集组件。本技术通过设置收集组件和清洁组件，实现对附着物的及时收集，清洁效率高。
技术研发人员：张晓虹,关树军,洪华,路建华
受保护的技术使用者：乐山市京运通半导体材料有限公司
技术研发日：20240206
技术公布日：2024/9/23