一种自制光刻板的固定夹具的制作方法

本技术涉及光刻板夹具，具体为一种自制光刻板的固定夹具。

背景技术：

1、目前微纳光学工领域中通常采用激光直写的方式制作相位型衍射光刻板，由于采用激光直写的方式制作相位型衍射光刻板的价格昂贵，出于需经常制作各种周期的衍射光栅光刻板来说，采用全息的方式自制相位型光刻板代替激光直写光刻板非常有必要，因此需要一种能固定自制的圆形光刻板的夹具。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种自制光刻板的固定夹具，以解决上述技术问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种自制光刻板的固定夹具，包括基板，基板中部设有孔部，所述基板位于孔部的两侧滑动设有滑座，所述滑座靠近孔部的一端设有光刻板托板以及用于固定光刻板的固定组件，基板上还设有驱动滑座沿孔部径向滑动的调节组件。

3、优选的，所述基板上设有滑槽，所述滑座通过与滑槽的配合沿孔部径向滑动设置于基座上，固定组件包括设置于光刻板托板上的定位辊。

4、优选的，所述滑槽的两侧内壁设有防脱槽，所述滑座的两侧设有与防脱槽形成滑动连接的防脱块。

5、优选的，定位辊对称设置于光刻板托板的两侧。

6、优选的，固定组件还包括滑动设置于滑座顶端的滑杆、以及螺纹连接于滑杆上的压紧螺栓。

7、优选的，所述基座靠近孔部的一端顶部设有供滑杆滑动的杆槽，所述杆槽的两侧设有限位槽，所述滑杆的两侧设有与限位槽形成滑动连接的限位块，所述基座上设有供压紧螺栓滑动的避让槽。

8、优选的，调节组件包括调节螺栓，所述调节螺栓转动设置于基座上，调节螺栓一端插入滑座内且与滑座形成螺纹连接。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

10、本实用新型的固定家具可用于夹持固定不同大小的自制相位型光刻板，保证自制光刻板曝光过程的稳定。

技术特征：

1.一种自制光刻板的固定夹具，其特征在于：包括基板（1），基板（1）中部设有孔部（2），所述基板（1）位于孔部（2）的两侧滑动设有滑座（3），所述滑座（3）靠近孔部（2）的一端设有光刻板托板（4）以及用于固定光刻板的固定组件，基板（1）上还设有驱动滑座（3）沿孔部（2）径向滑动的调节组件。

2.根据权利要求1所述的一种自制光刻板的固定夹具，其特征在于：所述基板（1）上设有滑槽（5），所述滑座（3）通过与滑槽（5）的配合沿孔部（2）径向滑动设置于基座上，固定组件包括设置于光刻板托板（4）上的定位辊（6）。

3.根据权利要求2所述的一种自制光刻板的固定夹具，其特征在于：所述滑槽（5）的两侧内壁设有防脱槽（7），所述滑座（3）的两侧设有与防脱槽（7）形成滑动连接的防脱块（8）。

4.根据权利要求2所述的一种自制光刻板的固定夹具，其特征在于：定位辊（6）对称设置于光刻板托板（4）的两侧。

5.根据权利要求2所述的一种自制光刻板的固定夹具，其特征在于：固定组件还包括滑动设置于滑座（3）顶端的滑杆（9）、以及螺纹连接于滑杆（9）上的压紧螺栓（10）。

6.根据权利要求5所述的一种自制光刻板的固定夹具，其特征在于：所述基座靠近孔部（2）的一端顶部设有供滑杆（9）滑动的杆槽（11），所述杆槽（11）的两侧设有限位槽（12），所述滑杆（9）的两侧设有与限位槽（12）形成滑动连接的限位块，所述基座上设有供压紧螺栓（10）滑动的避让槽（13）。

7.根据权利要求1所述的一种自制光刻板的固定夹具，其特征在于：调节组件包括调节螺栓（14），所述调节螺栓（14）转动设置于基座上，调节螺栓（14）一端插入滑座（3）内且与滑座（3）形成螺纹连接。

技术总结
本技术公开了一种自制光刻板的固定夹具，包括基板，基板中部设有孔部，所述基板位于孔部的两侧滑动设有滑座，所述滑座靠近孔部的一端设有光刻板托板以及用于固定光刻板的固定组件，基板上还设有驱动滑座沿孔部径向滑动的调节组件，本技术的固定家具可用于夹持固定不同大小的自制相位型光刻板，保证自制光刻板曝光过程的稳定。

技术研发人员：陈彪,方志辉,李广伟
受保护的技术使用者：福建睿创光电科技有限公司
技术研发日：20240228
技术公布日：2024/9/23