一种单晶毛棒检测装置的制作方法

本发明涉及半导体制造，特别涉及一种单晶毛棒检测装置。

背景技术：

1、近年来，随着半导体行业快速发展，单晶毛棒生产也得到了较快发展。单晶毛棒拉制完成后需要对晶棒基本信息(长度、重量、直径等)进行汇总记录，便于拉晶工序更好的掌握晶棒信息及炉台状况，同时便于下一个工序有效加工晶棒。

2、申请号为cn202311459327.0的专利提供一种一种单晶硅晶棒测量系统及方法，实现了对单晶硅晶棒的自动化测量，不用再进行手工测量，检测精度大大提高，且检测更加便利，但是，上述专利存在在测量完成后没有对单晶毛棒进行质量评估，并且为单独的测量过程，影响后续对单晶毛棒的操作，自动化测量效率不高的问题。

技术实现思路

1、本发明提供一种单晶毛棒检测装置，用以解决背景技术中提出的问题。

2、一种单晶毛棒检测装置，包括：

3、测量模块，用于对单晶毛棒依次进行长度，直径和晶线状态的测量，得到测量参数；

4、质量评估模块，用于基于测量参数对单晶毛棒进行自动化检测评估，确定单晶毛棒的质量信息，并基于质量信息对单晶毛棒进行标记；

5、系统集成模块，用于将测量模块，质量评估模块与自动化生产线进行集成，在测量评估完成后自动对单晶毛棒进行后续操作。

6、优选的，所述测量模块包括：

7、长度测量单元，用于利用激光测距仪器对单晶毛棒进行激光扫描，根据激光扫描结果，得到单晶毛棒的长度测量参数；

8、直径测量单元，用于基于高精度卡尺和测微仪对单晶毛棒进行直径测量，得到直径测量参数；

9、晶线状态检测单元，用于基于光学显微镜和扫描仪对单晶毛棒进行晶粒的大小，形状和排列的检测，得到晶线状态测量参数。

10、优选的，所述测量模块，还包括：

11、驱动单元，用于基于单晶毛棒在长度测量单元和直径测量单元的测量时间和传送带结构，设定在长度测量单元和直径测量单元之间的第一驱动装置对单晶毛棒进行驱动；

12、所述驱动单元，还用于基于单晶毛棒在直径测量单元和晶线状态检测单元的测量时间和传送带结构，设定在直径测量单元和晶线状态检测单元之间的第二驱动装置对单晶毛棒进行驱动。

13、优选的，所述测量模块，还包括：

14、定位单元，用于基于长度测量单元，直径测量单元和晶线状态检测单元的仪器测量特征，设定单晶毛棒的测量位置；

15、触发单元，用于当检测到单晶毛棒到达测量位置时，触发长度测量单元，直径测量单元和晶线状态检测单元进行测量工作。

16、优选的，所述质量评估模块，包括：

17、参数采集单元，用于采集单晶毛棒的测量参数，并基于评估参数标准，对测量参数进行标准化，得到标准测量参数；

18、比较单元，用于将标准测量参数与预设标准质量参数范围进行比较，得到每个参数类型的标准测量参数的偏差值；

19、影响确定单元，用于为参数类型设定类型权重，为偏差值设定数值权重，基于类型权重和数值权重，确定标准测量参数对单晶毛棒质量的影响值；

20、评估单元，用于基于所有标准测量参数对单晶毛棒质量的影响值，确定对单晶毛棒的质量评估值；

21、标记单元，用于基于单晶毛棒的质量评估值，对单晶毛棒进行标记。

22、优选的，所述比较单元，包括：

23、长度比较单元，用于将标准长度测量参数与预设标准长度测量参数范围进行比较，确定长度偏差值；

24、直径比较单元，用于将标准直径测量参数与预设标准直径测量参数范围进行比较，确定直径偏差值；

25、状态比较单元，用于将标准晶线状态测量参数与预设标准晶线状态测量参数范围进行比较，确定状态偏差值。

26、优选的，所述评估单元，包括：

27、判断单元，用于判断标准测量参数对单晶毛棒质量的影响值是否大于参数类型对应的预设影响值；

28、若是，确定满足的参数类型的个数，并将个数与预设评估值的乘积作为质量评估值；

29、否则，将所有影响值进行相加作为质量评估值。

30、优选的，所述标记单元，包括：

31、第一标记单元，用于当所述质量评估值大于第一预设评估值时，确定所述单晶毛棒合格，对单晶毛棒做合格标记；

32、第二标记单元，用于当所述质量评估值小于第一预设评估值且大于第二预设评估值时，判断影响值是否大于参数类型对应的预设影响值；

33、若是，确定所述单晶毛棒不合格，且对单晶毛棒做移除标记；

34、否则，确定所述单晶毛棒不合格，且对单晶毛棒做可二次修正标记；

35、第三标记单元，用于当所述质量评估值小于第二预设评估值时，确定所述单晶毛棒不合格，且对单晶毛棒做移除标记。

36、优选的，所述系统集成模块，包括：

37、任务确定单元，用于基于测量模块和质量评估模块在自动化生产线中的位置与功能，以及自动化生产线的整体生产流程，建立集成任务；

38、信息确定单元，用于按照功能类型对所述集成任务进行划分，得到多个子集成任务，并基于每个子集成任务对应的硬件功能，获取实现硬件功能所需的视觉信息和控制信息；

39、环境集成单元，用于基于子集成任务，配置基础集成文件，基于视觉信息和控制信息配置动态集成文件，利用所述基础集成文件和动态集成文件搭建适用于集成任务的集成环境；

40、逻辑确定单元，用于基于测量模块，质量评估模块与自动化生产线的生产流程和驱动装置，确定硬件运行逻辑；

41、系统集成单元，用于基于所述集成环境，对所述硬件运行逻辑进行转换，得到集成逻辑，按照所述集成逻辑在所述集成环境中进行自动化集成，得到集成系统；

42、自动化操作单元，基于所述集成系统，对测量评估完成后的对单晶毛棒自动进行后续操作。

43、优选的，所述逻辑确定单元，包括：

44、顺序确定单元，用于确定驱动装置在生产流程中流程节点和驱动控制信号，并按照流程节点的顺序，建立对驱动装置的逻辑确定顺序；

45、逻辑分析单元，用于基于所述逻辑确定顺序，依次确定对驱动装置的运行逻辑，并且先确定的运行逻辑作为后确定的运行逻辑的逻辑依据；

46、整合单元，用于对全部的驱动装置的运行逻辑进行整合和整体调整，得到硬件运行逻辑。

47、与现有技术相比，本发明取得了以下有益效果：

48、通过对单晶毛棒依次进行长度，直径和晶线状态的测量，得到测量参数，实现对单晶毛棒的参数检测，通过基于测量参数对单晶毛棒进行自动化检测评估，确定单晶毛棒的质量信息，并基于质量信息对单晶毛棒进行标记，是现在检测后对单晶毛棒的质量评估，为单晶毛棒的后续处理提供基础，最后，将测量模块，质量评估模块与自动化生产线进行集成，在测量评估完成后自动对单晶毛棒进行后续操作，实现在检测单晶毛棒测量参数过程中，不干扰单晶毛棒的生产流程，实现自动化高效准确测量。

49、本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在本技术文件中所特别指出的结构来实现和获得。

50、下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。

技术特征：

1.一种单晶毛棒检测装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种单晶毛棒检测装置，其特征在于，所述测量模块包括：

3.根据权利要求2所述的一种单晶毛棒检测装置，其特征在于，所述测量模块，还包括：

4.根据权利要求2所述的一种单晶毛棒检测装置，其特征在于，所述测量模块，还包括：

5.根据权利要求1所述的一种单晶毛棒检测装置，其特征在于，所述质量评估模块，包括：

6.根据权利要求5所述的一种单晶毛棒检测装置，其特征在于，所述比较单元，包括：

7.根据权利要求5所述的一种单晶毛棒检测装置，其特征在于，所述评估单元，包括：

8.根据权利要求7所述的一种单晶毛棒检测装置，其特征在于，所述标记单元，包括：

9.根据权利要求1所述的一种单晶毛棒检测装置，其特征在于，所述系统集成模块，包括：

10.根据权利要求9所述的一种单晶毛棒检测装置，其特征在于，所述逻辑确定单元，包括：

技术总结
本发明提供了一种单晶毛棒检测装置，通过对单晶毛棒依次进行长度，直径和晶线状态的测量，得到测量参数，实现对单晶毛棒的参数检测，通过基于测量参数对单晶毛棒进行自动化检测评估，确定单晶毛棒的质量信息，并基于质量信息对单晶毛棒进行标记，是现在检测后对单晶毛棒的质量评估，为单晶毛棒的后续处理提供基础，最后，将测量模块，质量评估模块与自动化生产线进行集成，在测量评估完成后自动对单晶毛棒进行后续操作，实现在检测单晶毛棒测量参数过程中，不干扰单晶毛棒的生产流程，实现自动化高效准确测量。

技术研发人员：谭鑫,潘浩,刘健,方向兵
受保护的技术使用者：曲靖阳光新能源股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23