尾气处理设备监测方法及装置、系统、介质与流程
本发明涉及尾气处理，具体涉及一种尾气处理设备监测方法及装置、系统、介质。
背景技术：
1、电子特气广泛应用于半导体、芯片等高端电子行业，具有较高的经济价值。对于使用后的电子特气尾气，为避免污染环境，往往采用尾气处理设备对处理后直接排放。尾气处理设备可以为工艺设备处理工艺制程的尾气、废气，从而保障生产过程符合环保要求。
2、实际应用中，尾气处理设备处理所处理的尾气达到一定量，设备腔体内会累积粉尘，随着运行时间的增加，累积的粉尘会导致尾气处理设备的处理效率降低，因此对尾气处理装置的定期清理尤为重要。
3、为保障生产的连续性，使工艺设备不停机，目前一台主机台可以使用两台以上尾气处理设备进行尾气处理。其中每台尾气处理设备，可以根据自己身的实际处理能力，自动切换为其它尾气处理设备为工艺设备进行尾气处理，防止两台尾气处理设备同时停机，由此，在相同保养周期内，每台尾气处理设备处理的尾气量会不同，从而造成了不必要的停机保养。
技术实现思路
1、本发明要解决的问题是：避免因尾气处理设备不必要的停机保养而影响生产效率。
2、为解决上述问题，本发明实施例提供了一种尾气处理设备监测方法，其特征在于，至少一个尾气处理设备对第一工艺设备的尾气进行处理；至少一个特气源通过相应的特气阀与所述第一工艺设备连接，以为所述第一工艺设备提供相应的特气；包括：
3、监测各特气源与所述第一工艺设备之间的特气阀是否开启，并生成相应的特气阀状态信号；
4、监测各所述尾气处理设备的旁路阀状态，并生成相应的工作状态信号；
5、基于所述特气阀状态信号及所述工作状态信号，确定是否触发对应计时器对旁路阀门开启的尾气处理设备的尾气处理时间进行计时，以基于计时结果确定是否需要对所述旁路阀开启的尾气处理设备进行停机维护。
6、可选地，所述基于所述特气阀状态信号及所述工作状态信号，确定是否触发对应计时器对旁路阀开启的尾气处理设备的尾气处理时间进行计时，包括：
7、对所述特气阀状态信号及所述工作状态信号进行逻辑运算，在所述特气阀状态信号及所述工作状态信号均为逻辑高电平时，触发对应计时器对旁路阀开启的尾气处理设备的尾气处理时间进行计时，否则不触发对应计时器对旁路阀开启的尾气处理设备的尾气处理时间进行计时。
8、可选地，所述方法还包括：
9、当所述旁路阀开启的尾气处理设备的尾气处理时间达到预设计时阈值时，触发所述第一工艺设备报警。
10、本发明实施例还提供了一种尾气处理设备监测装置，至少一个尾气处理设备对第一工艺设备的尾气进行处理；至少一个特气源通过相应的特气阀与所述第一工艺设备连接，以为所述第一工艺设备提供相应的特气；所述装置包括：
11、特气阀状态监测单元，通过管路与相应特气阀驱动源连接，用于检测所述相应特气阀驱动源是否输出驱动气体来驱动所监测的特气阀，并生成相应的特气阀状态信号；
12、工作状态检测单元，适于监测所述相应尾气处理设备的旁路阀状态，并生成相应的工作状态信号；
13、触发单元，适于基于所述特气阀状态信号及所述工作状态信号，生成相应的计时触发信号；
14、计时单元，适于在接收到所述计时触发信号时，触发对应计时器对旁路阀门开启的尾气处理设备的尾气处理时间进行计时，以基于计时结果确定是否需要对所述旁路阀开启的尾气处理设备进行停机维护。
15、可选地，所述特气源与所述第一工艺设备之间的管路上设置有流量计、第一特气阀及第二特气阀，所述第一特气阀及第二特气阀位于所述流量计的两侧。
16、可选地，所述特气阀状态监测单元包括：第一压力开关、第二压力开关，第三压力开关及第四压力开关；其中：
17、所述第一压力开关及所述第三压力开关，通过管路与第一特气阀驱动源连接；所述第一特气阀驱动源适于驱动所述第一特气阀开启；
18、所述第二压力开关及所述第四压力开关，通过管路与第二特气阀驱动源连接；所述第二特气阀驱动源适于驱动所述第二特气阀开启。
19、可选地，所述工作状态检测单元包括：磁性开关，作为所述尾气处理设备的旁路阀；当所述磁性开关开启时，产生表征所述尾气处理设备未工作的工作状态信号；当所述磁性开关关闭时，产生表征所述尾气处理设备工作的工作状态信号。
20、可选地，所述触发单元，适于对所述特气阀状态信号及所述工作状态信号进行逻辑运算，生成相应的计时触发信号。
21、可选地，所述触发单元包括触发子单元，所述触发子单元与所述尾气处理设备一一对应；所述触发子单元包括：
22、第一与非门电路，与相应特气阀状态监测单元连接，适于对所述相应特气阀状态监测单元的输出执行与非操作；
23、第一非门电路，与所述第一与非门电路连接，适于对所述第一与非门电路的输出取反；
24、第二与非门电路，与所述第一非门电路及相应工作状态检测单元连接，适于对所述第一非门电路及相应工作状态检测单元的输出执行与非操作；
25、第二非门电路，与所述第二与非门电路连接，适于对所述第二与非门电路的输出取反，得到相应的计时触发信号。
26、可选地，所述计时单元包括计时子单元，所述计时子单元与与所述尾气处理设备一一对应。
27、可选地，所述计时单元与所述第一工艺设备的报警模块连接，还适于当所述旁路阀开启的尾气处理设备的尾气处理时间达到预设计时阈值时，触发所述第一工艺设备报警。
28、本发明实施例还提供了一种尾气处理设备监测系统，包括上述任一种的尾气处理设备监测装置。
29、可选地，所述系统还包括：
30、所述第一工艺设备；
31、所述至少一个特气源；
32、所述至少一个尾气处理设备；
33、其中，所述至少一个尾气处理设备通过真空泵与所述第一工艺设备连接。
34、一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行，以实现上述任一种所述方法的步骤。
35、与现有技术相比，本发明实施例的技术方案具有以下优点：
36、应用本发明的方案，通过监测各特气源与所述第一工艺设备之间的特气阀是否开启，以及各所述尾气处理设备的旁路阀状态，并基于监测结果对尾气处理设备的尾气处理时间进行计时，可以更加准确地确定是否需要对尾气处理设备进行停机保养，避免因尾气处理设备不必要的停机保养而影响生产效率。
技术特征：
1.一种尾气处理设备监测方法，其特征在于，至少一个尾气处理设备对第一工艺设备的尾气进行处理；至少一个特气源通过相应的特气阀与所述第一工艺设备连接，以为所述第一工艺设备提供相应的特气；包括：
2.如权利要求1所述的尾气处理设备监测方法，其特征在于，所述基于所述特气阀状态信号及所述工作状态信号，确定是否触发对应计时器对旁路阀开启的尾气处理设备的尾气处理时间进行计时，包括：
3.如权利要求1所述的尾气处理设备监测方法，其特征在于，还包括：
4.一种尾气处理设备监测装置，其特征在于，至少一个尾气处理设备对第一工艺设备的尾气进行处理；至少一个特气源通过相应的特气阀与所述第一工艺设备连接，以为所述第一工艺设备提供相应的特气；所述装置包括：特气阀状态监测单元，通过管路与相应特气阀驱动源连接，用于检测所述相应特气阀驱动源是否输出驱动气体来驱动所监测的特气阀，并生成相应的特气阀状态信号；
5.如权利要求4所述的尾气处理设备监测装置，其特征在于，所述特气源与所述第一工艺设备之间的管路上设置有流量计、第一特气阀及第二特气阀，所述第一特气阀及第二特气阀位于所述流量计的两侧。
6.如权利要求5所述的尾气处理设备监测装置，其特征在于，所述特气阀状态监测单元包括：第一压力开关、第二压力开关，第三压力开关及第四压力开关；其中：
7.如权利要求4所述的尾气处理设备监测装置，其特征在于，所述工作状态检测单元包括：磁性开关，作为所述尾气处理设备的旁路阀；当所述磁性开关开启时，产生表征所述尾气处理设备未工作的工作状态信号；当所述磁性开关关闭时，产生表征所述尾气处理设备工作的工作状态信号。
8.如权利要求4所述的尾气处理设备监测装置，其特征在于，所述触发单元，适于对所述特气阀状态信号及所述工作状态信号进行逻辑运算，生成相应的计时触发信号。
9.如权利要求8所述的尾气处理设备监测装置，其特征在于，所述触发单元包括触发子单元，所述触发子单元与所述尾气处理设备一一对应；所述触发子单元包括：
10.如权利要求9所述的尾气处理设备监测装置，其特征在于，所述计时单元包括计时子单元，所述计时子单元与与所述尾气处理设备一一对应。
11.如权利要求10所述的尾气处理设备监测装置，其特征在于，所述计时单元与所述第一工艺设备的报警模块连接，还适于当所述旁路阀开启的尾气处理设备的尾气处理时间达到预设计时阈值时，触发所述第一工艺设备报警。
12.一种尾气处理设备监测系统，其特征在于，包括权利要求4至11任一项所述的尾气处理设备监测装置。
13.如权利要求12所述的尾气处理设备监测系统，其特征在于，还包括：
14.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行，以实现权利要求1至3任一项所述方法的步骤。
技术总结
一种尾气处理设备监测方法及装置、系统、介质。所述方法：至少一个尾气处理设备对第一工艺设备的尾气进行处理；至少一个特气源通过相应的特气阀与所述第一工艺设备连接，以为所述第一工艺设备提供相应的特气；包括：监测各特气源与所述第一工艺设备之间的特气阀是否开启，并生成相应的特气阀状态信号；监测各所述尾气处理设备的旁路阀状态，并生成相应的工作状态信号；基于所述特气阀状态信号及所述工作状态信号，确定是否触发对应计时器对旁路阀门开启的尾气处理设备的尾气处理时间进行计时，以基于计时结果确定是否需要对所述旁路阀开启的尾气处理设备进行停机维护。采用上述方案，可以避免因尾气处理设备不必要的停机保养而影响生产效率。
技术研发人员：徐亚平
受保护的技术使用者：中芯南方集成电路制造有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23